公开(公告)号：CN102893400A

公开(公告)日：2013-01-23

申请号：CN201180023800.X

申请日：2011-02-17

Applicant: 松下电器产业株式会社

Inventor： 森三佳 ,  冲野彻 ,  石井基范 ,  斋藤繁 ,  大竹悠介 ,  藤原一夫 ,  岛田恭博 ,  广濑裕

IPC: H01L27/14 ,  H01L27/146 ,  H04N5/374

CPC classification number: H01L31/02325 ,  H01L27/1462 ,  H01L27/14621 ,  H01L27/14623 ,  H01L27/1463 ,  H01L27/1464 ,  H01L27/14687 ,  H01L31/18

Abstract: 一种固体摄像装置（10），多个像素被排列成二维状，该固体摄像装置具备硅层（101）；多个光电二极管（111），在硅层（101）内与多个像素对应地形成，通过将入射的光进行光电变换而生成信号电荷；以及多个滤色器（122a～122c），在硅层（101）的上方与多个像素对应地形成；多个滤色器（122a～122c）分别在作为相邻的滤色器之间的区域、并且是硅层（101）侧的区域的区域中，形成有折射率比滤色器（122a～122c）低的凸部（121），多个滤色器（122a～122c）分别在凸部（121）的上方与相邻的滤色器接触。

公开(公告)号：CN102105985A

公开(公告)日：2011-06-22

申请号：CN200980127511.7

申请日：2009-07-16

Applicant: 松下电器产业株式会社

Inventor： 斋藤繁 ,  田中圭介 ,  岁清公明 ,  广濑裕 ,  石井基范

IPC: H01L27/14 ,  G02B3/08 ,  G02B5/20

CPC classification number: G02B3/0056 ,  G02B3/0087 ,  G02B3/08 ,  H01L27/14621 ,  H01L27/14625 ,  H01L27/14627 ,  H01L27/14629 ,  H01L27/14632 ,  H01L27/14685

Abstract: 一种固体摄像元件，在斜向入射时，减低因向波导路内入射的光的角度增加导致的聚光损失及混色增加，在灵敏度提高方面具备有效的结构，其特征为，具备：Si基板(6)；多个单位像素，配置于Si基板(6)上；布线层(4)，形成于多个单位像素上；光波导区域(401)，形成于单位像素中包含的光电变换区域上，并且穿透布线层(4)；以及聚光元件(501)，形成于光波导区域(401)上；聚光元件(501)是具有有效折射率分布的折射率分布型微透镜。

公开(公告)号：CN102893400B

公开(公告)日：2015-04-22

申请号：CN201180023800.X

申请日：2011-02-17

Applicant: 松下电器产业株式会社

Inventor： 森三佳 ,  冲野彻 ,  石井基范 ,  斋藤繁 ,  大竹悠介 ,  藤原一夫 ,  岛田恭博 ,  广濑裕

IPC: H01L27/14 ,  H01L27/146 ,  H04N5/374

CPC classification number: H01L31/02325 ,  H01L27/1462 ,  H01L27/14621 ,  H01L27/14623 ,  H01L27/1463 ,  H01L27/1464 ,  H01L27/14687 ,  H01L31/18

Abstract: 一种固体摄像装置（10），多个像素被排列成二维状，该固体摄像装置具备硅层（101）；多个光电二极管（111），在硅层（101）内与多个像素对应地形成，通过将入射的光进行光电变换而生成信号电荷；以及多个滤色器（122a～122c），在硅层（101）的上方与多个像素对应地形成；多个滤色器（122a～122c）分别在作为相邻的滤色器之间的区域、并且是硅层（101）侧的区域的区域中，形成有折射率比滤色器（122a～122c）低的凸部（121），多个滤色器（122a～122c）分别在凸部（121）的上方与相邻的滤色器接触。

公开(公告)号：CN102105985B

公开(公告)日：2013-02-13

申请号：CN200980127511.7

申请日：2009-07-16

Applicant: 松下电器产业株式会社

Inventor： 斋藤繁 ,  田中圭介 ,  岁清公明 ,  广濑裕 ,  石井基范

IPC: H01L27/14 ,  G02B3/08 ,  G02B5/20

CPC classification number: G02B3/0056 ,  G02B3/0087 ,  G02B3/08 ,  H01L27/14621 ,  H01L27/14625 ,  H01L27/14627 ,  H01L27/14629 ,  H01L27/14632 ,  H01L27/14685

Abstract: 一种固体摄像元件，在斜向入射时，减低因向波导路内入射的光的角度增加导致的聚光损失及混色增加，在灵敏度提高方面具备有效的结构，其特征为，具备：Si基板(6)；多个单位像素，配置于Si基板(6)上；布线层(4)，形成于多个单位像素上；光波导区域(401)，形成于单位像素中包含的光电变换区域上，并且穿透布线层(4)；以及聚光元件(501)，形成于光波导区域(401)上；聚光元件(501)是具有有效折射率分布的折射率分布型微透镜。

公开(公告)号：CN103620782A

公开(公告)日：2014-03-05

申请号：CN201280031195.5

申请日：2012-06-26

Applicant: 松下电器产业株式会社

Inventor： 薄田学 ,  斋藤繁 ,  田中圭介 ,  小野泽和利

IPC: H01L27/14 ,  H04N5/369

CPC classification number: H01L27/14625 ,  H01L27/14621 ,  H04N5/3572

Abstract: 在本发明的固体摄像元件，单位像素（3）的聚光元件（11）具有以射入单位像素（3）的受光元件（14）的光的波长以下的线宽被分离的、以相对于聚光元件（11）的受光面垂直方向的轴为中心的同心结构的多个光透过膜（33），并具有由多个光透过膜（33）的组合所控制的有效折射率分布，同心结构的多个光透过膜（33）的外缘的形状在受光面上为，与同心结构的中心最近的光透过膜（33）呈正圆、与同心结构的中心远离的光透过膜（33）呈椭圆，椭圆的长轴相对于短轴的比率为，越是与同心结构的中心远离的光透过膜（33）的外缘的形状比率越高，多个单位像素（3）各自的椭圆的长轴方向，在受光面上与连接多个单位像素各自的同心结构的中心和固体摄像元件的中心的矢量相正交。