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公开(公告)号:CN102893400A
公开(公告)日:2013-01-23
申请号:CN201180023800.X
申请日:2011-02-17
Applicant: 松下电器产业株式会社
IPC: H01L27/14 , H01L27/146 , H04N5/374
CPC classification number: H01L31/02325 , H01L27/1462 , H01L27/14621 , H01L27/14623 , H01L27/1463 , H01L27/1464 , H01L27/14687 , H01L31/18
Abstract: 一种固体摄像装置(10),多个像素被排列成二维状,该固体摄像装置具备硅层(101);多个光电二极管(111),在硅层(101)内与多个像素对应地形成,通过将入射的光进行光电变换而生成信号电荷;以及多个滤色器(122a~122c),在硅层(101)的上方与多个像素对应地形成;多个滤色器(122a~122c)分别在作为相邻的滤色器之间的区域、并且是硅层(101)侧的区域的区域中,形成有折射率比滤色器(122a~122c)低的凸部(121),多个滤色器(122a~122c)分别在凸部(121)的上方与相邻的滤色器接触。
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公开(公告)号:CN102282674A
公开(公告)日:2011-12-14
申请号:CN200980154771.3
申请日:2009-12-10
Applicant: 松下电器产业株式会社
IPC: H01L27/146 , H01L21/265
CPC classification number: H01L27/1463 , H01L21/266 , H01L27/14609 , H01L27/14689
Abstract: 阵列状排列的像素部(10)具备光电变换部(11)、将电荷传输到浮动扩散层(12)的传输晶体管(13)、以及将传输的电荷输出到输出线的放大晶体管(14),相邻的光电变换部(11)间、以及光电变换部(11)和放大晶体管(14)之间通过绝缘隔离部(22)进行隔离。绝缘隔离部(22)具有在光电变换部(11)间未配置有放大晶体管(14)的第1区域(A)、和在光电变换部(11)间配置有放大晶体管(14)的第2区域(B),在绝缘隔离部(22)的下方,形成有第1隔离扩散层(23)和第2隔离扩散层(24),在的第1区域(A),第2隔离扩散层(24)的宽度比第1隔离扩散层(23)的宽度宽。
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公开(公告)号:CN102272930A
公开(公告)日:2011-12-07
申请号:CN200980153560.8
申请日:2009-12-10
Applicant: 松下电器产业株式会社
IPC: H01L27/146 , H04N5/335
CPC classification number: H01L27/1463 , H01L27/14654
Abstract: 以阵列状排列的像素部(10)的相邻的光电转换部(11)之间、以及光电转换部(11)和放大晶体管(14)之间分别用绝缘隔离部(22)进行隔离,绝缘隔离部(22)具有在光电转换部(11)之间未配置放大晶体管(14)的第一区域(A)和配置了放大晶体管(14)的第二区域(B)。在第一区域(A)的绝缘隔离部(22)的下方,形成有低浓度的第一隔离扩散层(23),在第二区域(B)的绝缘隔离部(22)的下方,形成有高浓度的第二隔离扩散层(24)和低浓度的第一隔离扩散层(23)。第二区域(B)中的放大晶体管(14)的源极·漏极区域形成在与第二隔离扩散层(24)同时形成的阱区域(25)内。
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公开(公告)号:CN102893400B
公开(公告)日:2015-04-22
申请号:CN201180023800.X
申请日:2011-02-17
Applicant: 松下电器产业株式会社
IPC: H01L27/14 , H01L27/146 , H04N5/374
CPC classification number: H01L31/02325 , H01L27/1462 , H01L27/14621 , H01L27/14623 , H01L27/1463 , H01L27/1464 , H01L27/14687 , H01L31/18
Abstract: 一种固体摄像装置(10),多个像素被排列成二维状,该固体摄像装置具备硅层(101);多个光电二极管(111),在硅层(101)内与多个像素对应地形成,通过将入射的光进行光电变换而生成信号电荷;以及多个滤色器(122a~122c),在硅层(101)的上方与多个像素对应地形成;多个滤色器(122a~122c)分别在作为相邻的滤色器之间的区域、并且是硅层(101)侧的区域的区域中,形成有折射率比滤色器(122a~122c)低的凸部(121),多个滤色器(122a~122c)分别在凸部(121)的上方与相邻的滤色器接触。
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公开(公告)号:CN101689557B
公开(公告)日:2013-05-01
申请号:CN200980000361.3
申请日:2009-06-02
Applicant: 松下电器产业株式会社
IPC: H01L27/146 , H04N5/33
CPC classification number: H04N9/045 , H01L27/14621 , H01L27/14623 , H01L27/14627 , H01L27/1463 , H01L27/14647 , H04N5/332
Abstract: 本发明公开了一种固态摄像装置。固态摄像装置包括半导体基板(22)、有规律地配置在半导体基板(22)上并且各自具有光电转换部(24)的多个像素(23)以及使多个像素(23)彼此电隔离的隔离部(25)。第一像素(31)具有在第一波长区具有透光率的峰值的第一彩色滤光片(41)和第一光电转换部(32),与第一像素(31)相邻的第二像素(34)具有第二彩色滤光片(42)和第二光电转换部(35),该第二彩色滤光片(42)在第一波长区和比第一波长区还靠近短波长一侧的第二波长区具有透光率的峰值,第一光电转换部(32)的深部的一部分(33)越过隔离部(25),到达第二光电转换部(35)的下方。
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公开(公告)号:CN102282674B
公开(公告)日:2014-01-15
申请号:CN200980154771.3
申请日:2009-12-10
Applicant: 松下电器产业株式会社
IPC: H01L27/146 , H01L21/265
CPC classification number: H01L27/1463 , H01L21/266 , H01L27/14609 , H01L27/14689
Abstract: 阵列状排列的像素部(10)具备光电变换部(11)、将电荷传输到浮动扩散层(12)的传输晶体管(13)、以及将传输的电荷输出到输出线的放大晶体管(14),相邻的光电变换部(11)间、以及光电变换部(11)和放大晶体管(14)之间通过绝缘隔离部(22)进行隔离。绝缘隔离部(22)具有在光电变换部(11)间未配置有放大晶体管(14)的第1区域(A)、和在光电变换部(11)间配置有放大晶体管(14)的第2区域(B),在绝缘隔离部(22)的下方,形成有第1隔离扩散层(23)和第2隔离扩散层(24),在的第1区域(A),第2隔离扩散层(24)的宽度比第1隔离扩散层(23)的宽度宽。
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公开(公告)号:CN101689557A
公开(公告)日:2010-03-31
申请号:CN200980000361.3
申请日:2009-06-02
Applicant: 松下电器产业株式会社
IPC: H01L27/146 , H01L27/148 , H04N5/335
CPC classification number: H04N9/045 , H01L27/14621 , H01L27/14623 , H01L27/14627 , H01L27/1463 , H01L27/14647 , H04N5/332
Abstract: 本发明公开了一种固态摄像装置。固态摄像装置包括半导体基板(22)、有规律地配置在半导体基板(22)上并且各自具有光电转换部(24)的多个像素(23)以及使多个像素(23)彼此电隔离的隔离部(25)。第一像素(31)具有在第一波长区具有透光率的峰值的第一彩色滤光片(41)和第一光电转换部(32),与第一像素(31)相邻的第二像素(34)具有第二彩色滤光片(42)和第二光电转换部(35),该第二彩色滤光片(42)在第一波长区和比第一波长区还靠近短波长一侧的第二波长区具有透光率的峰值,第一光电转换部(32)的深部的一部分(33)越过隔离部(25),到达第二光电转换部(35)的下方。
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