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公开(公告)号：CN118068658A
公开(公告)日：2024-05-24
申请号：CN202410317332.6
申请日：2020-02-03
Applicant: 株式会社尼康
IPC: G03F7/20 , H01L21/673
Abstract: 本发明提供一种掩模配接器、其安装工具、曝光装置以及元件制造方法，可提高曝光装置的曝光精度。本发明的掩模配接器的一形态是在对支撑于平台的掩模进行照明而将形成于所述掩模的图案曝光于基板上的曝光装置中使用且安装于所述掩模的掩模配接器，其包括：本体部，包括在形成有所述图案的区域外支撑所述掩模的支撑部、及支撑于所述平台的被支撑部；以及第一被检测部，在所述本体部上，能够利用所述曝光装置的检测部来检测，并且所述第一被检测部包含与所述掩模配接器相关的信息。
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公开(公告)号：CN113330370B
公开(公告)日：2024-04-09
申请号：CN202080010606.7
申请日：2020-02-03
Applicant: 株式会社尼康
IPC: G03F7/20 , H01L21/673
Abstract: 本发明提供一种掩模配接器、其安装工具、曝光装置以及元件制造方法，可提高曝光装置的曝光精度。本发明的掩模配接器的一形态是在对支撑于平台的掩模进行照明而将形成于所述掩模的图案曝光于基板上的曝光装置中使用且安装于所述掩模的掩模配接器，其包括：本体部，包括在形成有所述图案的区域外支撑所述掩模的支撑部、及支撑于所述平台的被支撑部；以及第一被检测部，在所述本体部上，能够利用所述曝光装置的检测部来检测，并且所述第一被检测部包含与所述掩模配接器相关的信息。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN113330370A
公开(公告)日：2021-08-31
申请号：CN202080010606.7
申请日：2020-02-03
Applicant: 株式会社尼康
IPC: G03F7/20 , H01L21/673
Abstract: 本发明的掩模配接器的一形态是在对支撑于平台的掩模进行照明而将形成于所述掩模的图案曝光于基板上的曝光装置中使用且安装于所述掩模的掩模配接器，其包括：本体部，包括在形成有所述图案的区域外支撑所述掩模的支撑部、及支撑于所述平台的被支撑部；以及第一被检测部，在所述本体部上，能够利用所述曝光装置的检测部来检测，并且所述第一被检测部包含与所述掩模配接器相关的信息。
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公开(公告)号：CN104541208B
公开(公告)日：2019-01-22
申请号：CN201380042747.7
申请日：2013-07-09
Applicant: 株式会社尼康
IPC: G03F9/00 , G05D3/12 , H01L21/027 , H01L21/68
Abstract: 通过使用与第一以及第二测量器的测量结果(X2、X1)对应的增益(或者传递函数)(α、β)求出合成量(Xc＝αX2+βX1)，并分别经由高通滤波器(F1)和低通滤波器(F2)合成该合成量(Xc)和第一以及第二测量器的一方的测量结果(X2、X1)，从而求出合成控制量(Xmix＝F1(Xc)+F2(X2、X1))。构成使用合成控制量(Xmix)和目标值(R)求出操作量(U)，并将该操作量(U)赋予控制对象的反馈控制系统。由此，不需要追加用于除去第一以及第二测量器的设置位置的偏移的高通滤波器，能够与谐振出现的频带无关地设计在高频带强健的控制平板工作台(PST)的驱动的驱动系统。
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公开(公告)号：CN119744329A
公开(公告)日：2025-04-01
申请号：CN202380055172.6
申请日：2023-07-25
Applicant: 株式会社尼康
Abstract: 一种对曝光设备的结构元件的振动进行控制的方法包括：接收结构元件的位置数据；至少部分地基于结构元件的位置数据及指定位置来确定位置误差信号；至少部分地基于位置误差信号及结构元件的指定振动模式频率来确定力命令以对所述指定振动模式频率进行阻尼；以及将力命令传送到致动器，使得所述致动器向结构元件施加力且至少在结构元件的指定振动模式频率下对结构元件的振动进行阻尼。
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公开(公告)号：CN110095945A
公开(公告)日：2019-08-06
申请号：CN201910001158.3
申请日：2013-07-09
Applicant: 株式会社尼康
IPC: G03F7/20 , G05B19/402 , G05B19/19 , H01L21/027
Abstract: 通过使用与第一以及第二测量器的测量结果(X2、X1)对应的增益(或者传递函数)(α、β)求出合成量(Xc＝αX2+βX1)，并分别经由高通滤波器(F1)和低通滤波器(F2)合成该合成量(Xc)和第一以及第二测量器的一方的测量结果(X2、X1)，从而求出合成控制量(Xmix＝F1(Xc)+F2(X2、X1))。构成使用合成控制量(Xmix)和目标值(R)求出操作量(U)，并将该操作量(U)赋予控制对象的反馈控制系统。由此，不需要追加用于除去第一以及第二测量器的设置位置的偏移的高通滤波器，能够与谐振出现的频带无关地设计在高频带强健的控制平板工作台(PST)的驱动的驱动系统。
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公开(公告)号：CN104541208A
公开(公告)日：2015-04-22
申请号：CN201380042747.7
申请日：2013-07-09
Applicant: 株式会社尼康
IPC: G03F9/00 , G05D3/12 , H01L21/027 , H01L21/68
CPC classification number: G03F7/70775 , G03F7/70483 , G03F7/70725 , G05B19/19 , G05B19/402
Abstract: 通过使用与第一以及第二测量器的测量结果(X2、X1)对应的增益(或者传递函数)(α、β)求出合成量(Xc＝αX2+βX1)，并分别经由高通滤波器(F1)和低通滤波器(F2)合成该合成量(Xc)和第一以及第二测量器的一方的测量结果(X2、X1)，从而求出合成控制量(Xmix＝F1(Xc)+F2(X2、X1))。构成使用合成控制量(Xmix)和目标值(R)求出操作量(U)，并将该操作量(U)赋予控制对象的反馈控制系统。由此，不需要追加用于除去第一以及第二测量器的设置位置的偏移的高通滤波器，能够与谐振出现的频带无关地设计在高频带强健的控制平板工作台(PST)的驱动的驱动系统。
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