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公开(公告)号：CN106092828B
公开(公告)日：2018-10-02
申请号：CN201610404116.0
申请日：2016-06-08
Applicant: 清华大学
IPC: G01N13/00
Abstract: 本发明公开了一种接触角的光学测量方法，包括：选取一带有待测液滴的基底平面；调节显微镜的聚焦平面，分别得到基底平面的高度和基底平面经待测液滴折射后所形成的虚像面的高度，两者相减得到高度差Δh；测得待测液滴在基底平面上的沿与基底平面垂直的方向上的投影区域的俯视直径d；结合光的折射定律和高度差Δh、俯视直径d与接触角θ之间的几何关系综合得出接触角θ。本发明可以在俯视观察的条件下简单、精确地测量出待测小液滴的接触角，能够弥补常见的通过侧面观察测量接触角的方法的不足之处。
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公开(公告)号：CN108318059A
公开(公告)日：2018-07-24
申请号：CN201810146704.8
申请日：2018-02-12
Applicant: 清华大学
Abstract: 一种制备工艺简单、成本低且灵敏度高的新型纸基传感器及其制备方法。该纸基传感器不仅选用纸作为基底，并充分利用纸表面的微纳结构实现传感器的高灵敏度测量，同时通过折叠等方法可实现大变形的测量。所提出的纸基传感器主要用于力学量及其相关信号的检测，根据测量原理可分为电容式和电阻应变式传感器。它们可利用常用的裁剪、粘接等非常简单的方法制作，具有工艺简单、成本低、绿色环保、还可根据测试需求制作出各种形状和尺寸的优点。另外，根据纸张轻且易折叠、可通过打印、书写、印刷等方法进行图案化的优点，可批量、低成本的在纸上制作电极、引线、敏感单元、变形单元等结构。
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公开(公告)号：CN108249389A
公开(公告)日：2018-07-06
申请号：CN201611245364.1
申请日：2016-12-29
Applicant: 清华大学
CPC classification number: B81C1/00396 , B81C1/00373 , B81C1/00404 , B81C2201/0198 , C23C14/042 , C23F1/02
Abstract: 本发明公开了一种利用糖作掩模的微纳加工方法，其包括步骤：S10、提供熔融状态的糖或糖溶液；S20、将熔融状态的糖或糖溶液施加到待加工的样品表面，形成掩模图案；S30、对形成掩模图案后的样品进行微纳加工；S40、将微纳加工后的样品放入糖溶性液体中，以去除样品表面的糖。本发明的微纳加工方法能够提高微纳加工的精度和效率，降低成本，同时大大减轻对环境和操作人员人身健康的不利影响。
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公开(公告)号：CN107652858A
公开(公告)日：2018-02-02
申请号：CN201710813865.3
申请日：2017-09-11
Applicant: 清华大学
IPC: C09D165/04 , C09D5/08 , C08G61/02 , B05D1/00
CPC classification number: C09D165/04 , B05D1/60 , C08G61/025 , C08G2261/11 , C08G2261/3424 , C09D5/08
Abstract: 本发明公开了一种器件的后处理方法，用于在器件上形成防护层，其包括步骤：S10、将所述器件在真空环境下进行偶联反应，在所述器件的表面上形成偶联剂分子的自限分子层；S20、在所述器件的表面上形成聚合物涂层。本发明的后处理方法具有如下优点：处理后的几乎不影响器件尺寸，能较好地保留器件原有性能，并且成本低、工艺简单、防护可靠、安全、以及具有较高的疲劳强度等。
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公开(公告)号：CN102313818B
公开(公告)日：2016-01-20
申请号：CN201110201164.7
申请日：2011-07-18
Applicant: 清华大学
Abstract: 本发明提出一种基于单壁碳纳米管阵列的柔性压阻流场传感器及制作方法，该基于单壁碳纳米管阵列的柔性压阻流场传感器包括柔性基底；至少一组微电极对，每一组微电极对包括：间隔地设置在柔性基底上第一微电极和第二微电极；至少一组单壁碳纳米管阵列，每一组单壁碳纳米管阵列的两端分别与对应地一组微电极对的第一微电极和第二微电极相连以使每一组单壁碳纳米管阵列处于拉伸状态，且每一组单壁碳纳米管阵列与柔性基底间隔开。根据本发明的基于单壁碳纳米管阵列的柔性压阻流场传感器具有灵敏度高、尺寸小、柔韧性强以及功耗低的优点。本发明实施例的制作方法设计简单，易于实现，且适用于该传感器的批量生产。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101769935A
公开(公告)日：2010-07-07
申请号：CN200910076074.2
申请日：2009-01-05
Applicant: 清华大学
IPC: G01P5/10
Abstract: 本发明涉及一种基于一维纳米材料的热线式流速传感器，包括热敏感元件、支撑体和基底，热敏感元件设置在支撑体的顶部；热敏感元件为单根纳米材料、由2根以上纳米材料组成的阵列或一束，或由N根一维纳米材料构成的薄膜组成。还提供利用本发明的纳米材料热线式流速传感器制作的测量系统，纳米材料热线式流速传感器安装在微调节架上，通过微调节架调节热线式流速传感器中的热敏感元件与流体流速之间的角度。流速引起热敏感元件的变化经恒流式(或恒温式)信号处理电路放大处理后由电压表或监视器显示。该纳米材料热线式传感器所组成的流速测量系统，可实现0.001-50m/s的流速测量。该系统具有传感器尺寸小、灵敏度高、响应速度快、功耗低和长寿命等特点。
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公开(公告)号：CN1818665A
公开(公告)日：2006-08-16
申请号：CN200510007632.1
申请日：2005-02-07
Applicant: 清华大学
Abstract: 本发明涉及一种微型膜片式加速度传感器的本体以及制备方法，该本体包括硅膜片和上盖、下盖，金电极和引线封装结构；其中在硅膜片上、下表面中心设置一圆形质量块；在硅膜片的周边有一凸起圆环，在凸起圆环内侧和质量块外侧相对称处设置两对一维或二维纳米材料；上盖或下盖的周边有一凸起圆环，并在上盖或下盖内的中心处设一凸起保护块，在膜片和纳米敏感元件上制作N对金电极和引线；膜片处于上盖、下盖之间，键合在一起，并采用压焊工艺引出导线。本发明的制造工艺包括在离心力或电极电场诱导下，采用化学气相沉积工艺实现纳米材料在微结构上的定向、可控生长。根据本发明的这种微型膜片式加速度传感器具有很高的灵敏度，并可进行批量生产。
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公开(公告)号：CN1818664A
公开(公告)日：2006-08-16
申请号：CN200510007630.2
申请日：2005-02-07
Applicant: 清华大学
Abstract: 本发明涉及一种基于纳米材料的微型膜片式加速度传感器，包括由硅膜片、上盖、下盖，膜片处于上盖、下盖之间，键合在一起；一维或二维纳米材料、金电极和引线分布在膜片上，并采用压焊工艺引出导线；并把一维或二维纳米材料连接成测量电桥；所述的信号处理电路包括：整流稳压电路、载波振荡器、测量电桥和交流载波放大器。加速度(力)信号作用在质量块上，使膜片发生应变，利用膜片上的纳米材料测出应变，利用全桥检测方法，将材料应变转化为电信号，再通过一系列的信号处理过程，从而得到被测加速度信号的数值。根据本发明的这种微型膜片式加速度传感器具有很高的灵敏度，并可进行批量生产。
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公开(公告)号：CN109626319B
公开(公告)日：2024-10-18
申请号：CN201910025937.7
申请日：2019-01-11
Applicant: 清华大学
Abstract: 本发明提供了一种植入式器件及其封装方法。所述植入式器件包括器件本体和设置在所述器件本体外围的封装结构，其中，所述封装结构包括包覆在所述器件本体上的第一保护层和位于所述第一保护层外围的第二保护层，并且其中，所述第一保护层和所述第二保护层中的一者为致密的纳米级防止液体影响的涂层，所述第一保护层和所述第二保护层中的另一者为微米级防止液体影响的涂层。本发明的植入式器件及其封装方法结合了微米和纳米两种涂层的优点，具有封装尺寸轻薄、防液体侵入效果好、对器件本体影响小等优点，并且在一定程度上能提高器件的精度，可满足器件长期植入并正常工作的要求。
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公开(公告)号：CN108992038B
公开(公告)日：2023-07-25
申请号：CN201810911621.3
申请日：2018-08-10
Applicant: 清华大学
IPC: A61B3/16
Abstract: 本发明公开了一种眼压监测系统及眼压监测方法。所述眼压监测系统包括体内部分和体外部分，所述体内部分用于实时监测眼内参数、进行信号调理、发送和接收信号；所述体外部分用于对体内部分进行无线供能，并对体内部分传出的数据进行接收、信息融合和处理；其中，所述体内部分包括至少一个监测单元，所述监测单元包括至少两个传感器，所述传感器用于监测眼压参数；所述体外部分包括至少一个多传感器信息融合模块，通过信息融合技术对接收到的数据进行分析处理。本发明通过在监测单元中合理地布置多个传感器，可利用多传感器信息融合技术获得眼压及其他参数，从而有效提高眼压监测的可靠性和检测精度。
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