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公开(公告)号：CN104701237A
公开(公告)日：2015-06-10
申请号：CN201410741343.3
申请日：2014-12-05
Applicant: 英飞凌技术德累斯顿有限责任公司
Inventor： S·比塞尔特
IPC: H01L21/762 , H01L21/02
CPC classification number: H01L21/764 , B23Q3/18 , H01L21/4803 , H01L21/481 , H01L23/053 , H01L23/08 , H01L23/13 , H01L23/147 , H01L23/34 , H01L23/498 , H01L2924/0002 , Y10T29/49155 , H01L2924/00
Abstract: 本发明的各个实施例涉及载体和用于加工载体的方法。根据本发明的各种实施例，可以提供一种载体，该载体包括：中空腔室，与载体的表面间隔开来；沟槽结构，从载体的表面延伸至该中空腔室并且横向环绕载体的第一区域，沟槽结构包括从载体的表面延伸至中空腔室的一个或多个沟槽、以及横穿该一个或多个沟槽并且将载体的第一区域与载体在沟槽结构外部的第二区域连接的一个或多个支撑结构，其中该一个或多个支撑结构包括电绝缘材料。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN104701325A
公开(公告)日：2015-06-10
申请号：CN201410737979.0
申请日：2014-12-05
Applicant: 英飞凌技术德累斯顿有限责任公司
Inventor： S·比塞尔特
IPC: H01L27/12 , H01L21/762
CPC classification number: H01L21/481 , H01L21/02104 , H01L21/76224 , H01L21/76283 , H01L21/764 , H01L23/053 , H01L2924/0002 , H05K1/02 , Y10T428/13 , H01L2924/00
Abstract: 根据各种实施例，一种载体可以包括：与载体的表面间隔开的空心室；以及在空心室内的至少一个支撑结构，该至少一个支撑结构连接设置在空心室之上的载体的第一区域与设置在空心室之下的载体的第二区域，其中至少一个支撑结构的表面的至少一部分与空心室的内表面间隔开，并且其中至少一个支撑结构包括电绝缘材料。
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公开(公告)号：CN109205545B
公开(公告)日：2023-05-26
申请号：CN201810696124.6
申请日：2018-06-29
Applicant: 英飞凌技术德累斯顿有限责任公司
IPC: B81B3/00 , B81C1/00 , G01L9/12 , G01P15/125
Abstract: 一种微机械传感器包括电容式的第一传感器元件和第二传感器元件，分别具有第一电极和第二电极，其中第一电极的电极壁面和第二电极的电极壁面在第一方向上彼此对置并形成电容，其中第一电极可响应于待检测的变量在与第一方向不同的第二方向上移动，并且第二电极是固定的。第一传感器元件的第一电极的电极壁面在第二方向上具有比第一传感器元件的第二电极的对置的电极壁面小的延伸。第二传感器元件的第二电极的电极壁面在第二方向上具有比第二传感器元件的第一电极的对置的电极壁面小的延伸。
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公开(公告)号：CN105895501A
公开(公告)日：2016-08-24
申请号：CN201510222369.1
申请日：2015-05-04
Applicant: 英飞凌技术德累斯顿有限责任公司
IPC: H01L21/02
CPC classification number: H01L21/02002 , H01L21/02005 , H01L21/304 , H01L21/306 , H01L21/3065 , H01L21/3083 , H01L21/764 , H01L21/7806 , Y10T156/1057 , Y10T156/11 , Y10T428/13 , H01L21/02035
Abstract: 本发明的各个实施例涉及晶片、用于处理晶片的方法、以及用于处理载体的方法。根据各个实施例，用于处理晶片的方法可以包括：在晶片内形成至少一个中空腔室和支撑结构，该至少一个中空腔室限定了载体的位于该至少一个中空腔室之上的帽区域、载体的位于该至少一个中空腔室之下的底部区域、以及围绕了载体的帽区域的边缘区域，其中帽区域的表面面积大于边缘区域的表面面积，并且其中帽区域由支撑结构连接至底部区域；从底部区域和边缘区域成一整块地移除帽区域。
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公开(公告)号：CN109205545A
公开(公告)日：2019-01-15
申请号：CN201810696124.6
申请日：2018-06-29
Applicant: 英飞凌技术德累斯顿有限责任公司
IPC: B81B3/00 , B81C1/00 , G01L9/12 , G01P15/125
CPC classification number: G01P15/125 , B81B3/0021 , B81B3/0086 , B81B2201/0235 , B81B2203/0315 , B81B2203/04 , B81C1/00166 , G01L9/12 , G01P15/0802 , G01P2015/088 , B81B3/0032 , B81B2201/0221 , B81B2201/0264
Abstract: 一种微机械传感器包括电容式的第一传感器元件和第二传感器元件，分别具有第一电极和第二电极，其中第一电极的电极壁面和第二电极的电极壁面在第一方向上彼此对置并形成电容，其中第一电极可响应于待检测的变量在与第一方向不同的第二方向上移动，并且第二电极是固定的。第一传感器元件的第一电极的电极壁面在第二方向上具有比第一传感器元件的第二电极的对置的电极壁面小的延伸。第二传感器元件的第二电极的电极壁面在第二方向上具有比第二传感器元件的第一电极的对置的电极壁面小的延伸。
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公开(公告)号：CN104701325B
公开(公告)日：2017-11-21
申请号：CN201410737979.0
申请日：2014-12-05
Applicant: 英飞凌技术德累斯顿有限责任公司
Inventor： S·比塞尔特
IPC: H01L27/12 , H01L21/762
CPC classification number: H01L21/481 , H01L21/02104 , H01L21/76224 , H01L21/76283 , H01L21/764 , H01L23/053 , H01L2924/0002 , H05K1/02 , Y10T428/13 , H01L2924/00
Abstract: 根据各种实施例，一种载体可以包括：与载体的表面间隔开的空心室；以及在空心室内的至少一个支撑结构，该至少一个支撑结构连接设置在空心室之上的载体的第一区域与设置在空心室之下的载体的第二区域，其中至少一个支撑结构的表面的至少一部分与空心室的内表面间隔开，并且其中至少一个支撑结构包括电绝缘材料。
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