磁盘用基板的制造方法和磁盘的制造方法

    公开(公告)号:CN105940450A

    公开(公告)日:2016-09-14

    申请号:CN201580005892.7

    申请日:2015-02-02

    CPC classification number: B24B37/08 C09K3/1463 G11B5/8404

    Abstract: 本发明提供一种磁盘用玻璃基板的制造方法,该制造方法能够抑制研磨磨粒的清洗残留,能够充分降低基板表面缺陷。本发明中,用表面配备有研磨垫的一对定盘夹持圆板状的基板,将包含胶态二氧化硅作为研磨磨粒的研磨液供给至研磨面,从而对圆板状的基板的主表面进行研磨。上述研磨液含有具有特定的酰胺基或脲基的下述物质作为添加剂。R1‑NH‑CO‑R2式中,R1表示烷基或氢原子,R2表示烷基或‑NH‑R3,R3表示烷基。

    磁盘用基板的制造方法和磁盘的制造方法

    公开(公告)号:CN105940450B

    公开(公告)日:2019-07-02

    申请号:CN201580005892.7

    申请日:2015-02-02

    CPC classification number: B24B37/08 C09K3/1463 G11B5/8404

    Abstract: 本发明提供一种磁盘用玻璃基板的制造方法,该制造方法能够抑制研磨磨粒的清洗残留,能够充分降低基板表面缺陷。本发明中,用表面配备有研磨垫的一对定盘夹持圆板状的基板,将包含胶态二氧化硅作为研磨磨粒的研磨液供给至研磨面,从而对圆板状的基板的主表面进行研磨。上述研磨液含有具有特定的酰胺基或脲基的下述物质作为添加剂。R1‑NH‑CO‑R2式中,R1表示烷基或氢原子,R2表示烷基或‑NH‑R3,R3表示烷基。

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