磁阻随机存取存储器及其制造方法

    公开(公告)号:CN100440372C

    公开(公告)日:2008-12-03

    申请号:CN03104485.9

    申请日:2003-02-17

    CPC classification number: H01L27/228 B82Y10/00

    Abstract: 一种磁阻随机存取存储器,包括MOS晶体管、下电极、第一磁层、介电阻挡层、第二磁层、上电极、第二栅极及位线。MOS晶体管由在半导体衬底上的第一栅极和源结及漏结构成。下电极和源结相连。第一磁层形成在下电极上。介电阻挡层形成在第一磁层上,并至少包括铝和铪,和第一磁层一道形成势阱。第二磁层形成在和第一磁层相对的介电阻挡层上。上电极形成在第二磁层上。第二栅极插在第一栅极和下电极之间,用于控制第一磁层和第二磁层中之一的磁数据。位线和第一栅极垂直,和上电极实现电连接。如添加有铪的氧化铝层这种氧化层作为阻挡层,则可改善阻挡层的特性,从而增加磁阻比。可改善磁阻随机存取存储器的数据存储能力。

    非晶氧化锌薄膜晶体管及其制造方法

    公开(公告)号:CN101060139A

    公开(公告)日:2007-10-24

    申请号:CN200610148646.X

    申请日:2006-11-22

    Abstract: 本发明提供了一种非晶氧化锌(ZnO)薄膜晶体管(TFT)及其制造方法,所述非晶ZnO TFT包括:衬底;半导体沟道,在衬底上由包括n(GaO3)、m(InO3)和(ZnO)k的非晶ZnO基化合物半导体材料形成;源极和漏极电极,电接触半导体沟道的两端;栅极,形成围绕半导体沟道的电场;和栅极绝缘体,设置于栅极和半导体沟道之间。可以满足不等式条件n≥1.5、m≥1.5、k>0。

    用于电磁辐射的掩模及其制造方法

    公开(公告)号:CN1811593A

    公开(公告)日:2006-08-02

    申请号:CN200510121654.0

    申请日:2005-11-16

    Abstract: 用于光刻的掩模及其制造方法。掩模包括衬底,由能反射电磁辐射的材料在衬底上形成的反射层,和以希望的图案形成的吸收图案以使得形成对于电磁辐射的吸收区和电磁射线通过的窗口区,其中吸收图案包括至少一个邻近窗口并且相对于反射层倾斜的侧面。该方法可以包括在衬底上形成由能够反射电磁射线的材料形成的反射层,在反射层上形成由能够吸收电磁射线的材料形成的吸收层,和图案化吸收层以形成具有至少一个邻近窗口的侧面并且具有相对于反射层倾斜的侧面的吸收图案。

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