场发射背光装置、背光装置驱动方法及制造下面板的方法

    公开(公告)号:CN100465720C

    公开(公告)日:2009-03-04

    申请号:CN200410092217.6

    申请日:2004-11-03

    Abstract: 提供一种用于液晶显示器的场发射背光装置。背光装置包括:下衬底;以平行线交替形成在下衬底上的第一电极和第二电极;设置在第一和第二电极中至少第一电极上的发射器;与下衬底隔开预定距离的上衬底,使得上衬底和下衬底彼此面对;形成在上衬底的底面上的第三电极;以及形成在第三电极上的荧光层,其中沿第一和第二电极中至少第一电极的两边缘以预定间隔设置发射器。由于背光装置具有三极管型场发射构造,所以场发射非常稳定。由于第一电极和第二电极被形成在同一平面中,所以改善了亮度均匀度并简化了制造工艺。如果发射器被设置在第一电极和第二电极上,以及为第一电极和第二电极交替地施加阴极电压和栅极电压,则能够改善发射器的使用寿命和亮度。

    制造场发射装置的方法
    17.
    发明公开

    公开(公告)号:CN101013642A

    公开(公告)日:2007-08-08

    申请号:CN200610143365.5

    申请日:2006-11-06

    CPC classification number: H01J9/025 H01J3/021

    Abstract: 本发明提供制造场发射装置(FED)的方法,其中光掩模构图工艺的数目低并且FED的制造产率能够提高。该方法包括:在基板上顺序形成阴极层、第一绝缘层、以及栅极电极层;在栅极电极层上形成保护层以覆盖栅极电极层的顶面;通过蚀刻保护层和栅极电极层的预定部分暴露第一绝缘层的部分以形成在至少一行内的多个第一开口孔;形成第二绝缘层、聚焦电极层、光致抗蚀剂层;通过构图光致抗蚀剂层及使用光致抗蚀剂层作为蚀刻掩模暴露第二绝缘层的部分以形成分别对应于第一开口孔的行的第二开口孔;通过从第二绝缘层的暴露表面蚀刻到第一绝缘层的底表面形成暴露阴极层的部分的发射器孔;去除光致抗蚀剂层;及在阴极层的暴露表面上形成电子发射发射器。

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