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公开(公告)号:CN1753585A
公开(公告)日:2006-03-29
申请号:CN200410099755.8
申请日:2004-12-31
Applicant: 三星SDI株式会社
CPC classification number: H01L51/0013 , B23K26/067 , C23C14/048 , C23C14/28 , H01L51/56 , Y10T156/10
Abstract: 提供一种制造有机发光显示器的方法。该方法包括:通过使用激光辐射装置用激光束辐射供体基板的预定区域而在基板上形成有机层图案,所述激光辐射装置具有空间光调制器(SLM)。所述空间光调制器用于使用LITI方法来形成有机层图案。于是有可能调节各种类型的入射光使之均匀化并具有期望的波形。因此,提供了一种制造有机发光显示器的方法,该方法不使用掩模就可形成有机层图案。
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公开(公告)号:CN1753582A
公开(公告)日:2006-03-29
申请号:CN200410047153.8
申请日:2004-12-31
Applicant: 三星SDI株式会社
CPC classification number: H01L51/0013
Abstract: 本发明公开了一种制造有机发光显示器的方法。该方法包括利用电流计在一个步骤中在供体基板的预定区域上重复地进行激光束多条线扫描以形成有机层图案。当使用LITI方法形成有机层图案时,本发明的方法能利用电流计在一个步骤中重复进行激光束多条线扫描而减少形成有机层图案所需的处理时间并降低生产成本。
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公开(公告)号:CN100448063C
公开(公告)日:2008-12-31
申请号:CN200410082067.0
申请日:2004-12-31
Applicant: 三星SDI株式会社
CPC classification number: H01L51/0013 , B23K26/066 , H01L51/0011 , H01L51/56
Abstract: 本发明提供激光照射装置和使用该装置制造有机发光显示器的方法。激光照射装置包括位于激光发生器下面的掩模,掩模构图为沿扫描方向掩模图案的上部和下部的长度构图为长于掩模中部的长度。制造有机发光显示器的方法包括使用激光照射装置在供体衬底预定区域上扫描激光束,在衬底上形成有机层图案。当使用激光致热成像(LITI)方法形成有机层图案时,用低能量激光进行转移,可以提高激光束效率,减少有机层受损伤,并且可以提高转移的有机层图案的质量。
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公开(公告)号:CN1792639A
公开(公告)日:2006-06-28
申请号:CN200510051859.6
申请日:2005-01-10
Applicant: 三星SDI株式会社
CPC classification number: H01L51/0013
Abstract: 本发明公开了一种激光转写装置、激光转写方法和使用该装置制造有机发光显示器的方法。该激光转写装置包括用于固定受体基底的卡板,用于将供体薄膜层压在受体基底上的层压单元位于卡板上。层压单元包括具有空腔的主体、用来将压缩气体注入到空腔中的气体注入口以及用于将注入到空腔中的气体排到基底上的气体排出口。用于使激光光束穿过层压单元照射到被层压的供体薄膜上的激光辐射器位于层压单元上。本装置可在供体薄膜与受体基底之间获得足够的接触力而在供体薄膜的转印层与受体基底之间不产生摩擦力。
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公开(公告)号:CN1753584A
公开(公告)日:2006-03-29
申请号:CN200410082068.5
申请日:2004-12-31
Applicant: 三星SDI株式会社
CPC classification number: H01L51/0013 , B23K26/066 , H01L51/56
Abstract: 提供一种激光照射装置和利用该装置制造有机发光显示器的方法。激光照射装置包括:激光发生器;位于激光发生器的下面并具有用于改变激光束传播路径的装置的掩膜;和投影透镜。制造有机发光显示器的方法,包括:使用激光照射装置在供体衬底的照射区域的边缘上照射高强度激光束,以便在衬底上形成有机层图案。低强度激光束能进行转移处理以提高激光束效率。此外,能够降低有机层上的损坏和提高转移的有机层图案的质量。
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公开(公告)号:CN1753583A
公开(公告)日:2006-03-29
申请号:CN200410082067.0
申请日:2004-12-31
Applicant: 三星SDI株式会社
CPC classification number: H01L51/0013 , B23K26/066 , H01L51/0011 , H01L51/56
Abstract: 本发明提供激光照射装置和使用该装置制造有机发光显示器的方法。激光照射装置包括位于激光发生器下面的掩模,掩模构图为沿扫描方向掩模图案的上部和下部的长度构图为长于掩模中部的长度。制造有机发光显示器的方法包括使用激光照射装置在供体衬底预定区域上扫描激光束,在衬底上形成有机层图案。当使用激光致热成像(LITI)方法形成有机层图案时,用低能量激光进行转移,可以提高激光束效率,减少有机层受损伤,并且可以提高转移的有机层图案的质量。
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公开(公告)号:CN1983666A
公开(公告)日:2007-06-20
申请号:CN200610166777.0
申请日:2006-12-14
Applicant: 三星SDI株式会社
CPC classification number: H01L51/5088 , H01L27/3244 , H01L51/5218 , H01L2251/5315 , H01L2251/558
Abstract: 本发明公开了一种有机发光装置及其制造方法,所述装置具有阳极,即由在上发光结构中的单金属层构成下电极。所述有机发光装置包括基底、设置在所述基底上并且包括金属的阳极、设置在所述阳极上的金属氟化物层、和设置在所述金属氟化物层上并且至少包括有机发光层的有机层、和设置在所述有机层上的阴极。阳极通过使用含氟的CF3气体或SF6气体的等离子体法进行表面处理时,单金属层可以被用作阳极,由此改善了发光效率。
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公开(公告)号:CN1769066A
公开(公告)日:2006-05-10
申请号:CN200510113840.X
申请日:2005-10-19
Applicant: 三星SDI株式会社
CPC classification number: B41M5/46 , B41M5/265 , C23C14/048 , H01L51/0013 , H01L51/56 , Y10S430/146
Abstract: 一种用在有机发光显示器中的供体基板包括基底基板和设置在基底基板上的转印层。插置在基底基板与转印层之间的选择性发热结构。选择性发热结构具有通过光热转换发热的发热区和接触发热区的非发热区。由于使用供体基板,因此不需精确地控制激光束的宽度便可能形成微小的具有高精度的转印层图案。有机发光显示器的制造方法包括在受体基板上提供供体基板,将激光束照射到供体基板上,以及在受体基板的像素电极上形成转印层图案。
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公开(公告)号:CN100459819C
公开(公告)日:2009-02-04
申请号:CN200410082068.5
申请日:2004-12-31
Applicant: 三星SDI株式会社
CPC classification number: H01L51/0013 , B23K26/066 , H01L51/56
Abstract: 提供一种激光照射装置和利用该装置制造有机发光显示器的方法。激光照射装置包括:激光发生器;位于激光发生器的下面并具有用于改变激光束传播路径的装置的掩膜;和投影透镜。制造有机发光显示器的方法,包括:使用激光照射装置在供体衬底的照射区域的边缘上照射高强度激光束,以便在衬底上形成有机层图案。低强度激光束能进行转移处理以提高激光束效率。此外,能够降低有机层上的损坏和提高转移的有机层图案的质量。
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公开(公告)号:CN100446992C
公开(公告)日:2008-12-31
申请号:CN200510112769.3
申请日:2005-10-12
Applicant: 三星SDI株式会社
CPC classification number: B41J3/407 , B41J11/0015 , H01L51/0013 , H01L51/56
Abstract: 本发明提供了一种用于激光转写法的施体基板和利用该方法制造的有机发光显示器。激光转写设备包括通过接地装置接地的载物台,并且制造有机发光显示器的方法能控制利用该设备形成有机层的同时所堆积的静电。
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