公开(公告)号：CN110892306A

公开(公告)日：2020-03-17

申请号：CN201880030193.1

申请日：2018-03-16

Applicant: 三菱电机株式会社

Inventor： 平田善明 ,  绀野伸显 ,  伊藤恭彦 ,  石田晃三 ,  梶山佳敬

IPC: G02B26/10 ,  B81B3/00 ,  G02B26/08

Abstract: 光扫描装置(100)具备：镜部(1)，具有对光进行反射的镜面(1B)；N个支撑梁(2-1)～(2-4)，能够摇动地支撑镜部(1)；N个驱动梁(3-1)～(3-4)；以及驱动用的多个压电元件(5-i-a～d(i＝1～4))，被粘结到N个驱动梁上。通过将对多个压电元件(5-i-a、b、c、d)的各个提供的交流电压的频率设为确定的共同的值，将对多个压电元件(5-i-a、b、c、d)的各个提供的交流电压的相位设为与各压电元件的位置对应的确定的值，镜部(1)进动。

公开(公告)号：CN110462485A

公开(公告)日：2019-11-15

申请号：CN201780088680.9

申请日：2017-12-01

Applicant: 三菱电机株式会社

Inventor： 绀野伸显 ,  平田善明 ,  伊藤恭彦

IPC: G02B26/10 ,  B81B3/00 ,  B81C1/00 ,  G02B26/08

Abstract: 光扫描装置(1)具备镜子(3)和驱动梁(7)。驱动梁(7)具备压电部(12)。在压电部(12)中，利用多个第一槽将压电体(15)划分为多个。形成为：随着接近与锚定件(11)连接的一端侧，压电体(15)的X轴方向上的长度变短，且形成为：随着接近与连杆梁(9)连接的另一端侧，压电体(15)的X轴方向上的长度变短。

公开(公告)号：CN108604008A

公开(公告)日：2018-09-28

申请号：CN201680081520.7

申请日：2016-12-13

Applicant: 三菱电机株式会社

Inventor： 伊藤恭彦 ,  绀野伸显 ,  平田善明 ,  吉田幸久

IPC: G02B26/08 ,  B81B3/00

Abstract: 反射镜驱动装置(100)的一对梁部在俯视观察下以夹着反射体(11M)的方式与反射体(11M)相连。一对梁部包括：以夹着反射体(11M)的方式与反射体直接相连的一对第一梁(11BL1、11BR1)；以及与一对第一梁(11BL1、11BR1)的与反射体(11M)相反的一侧连结的一对第二梁(11BL2、11BR2)。在第一梁(11BL1、11BR1)的主表面上隔着压电材料相互空出间隔地排列多个电极(14)。第一梁(11BL1、11BR1)沿着与主表面交叉的方向能够相互向反方向位移。一对第二梁(11BL2、11BR2)在将第一梁(11BL1、11BR1)与第二梁(11BL2、11BR2)连结的沿着第二梁(11BL2、11BR2)的主表面的方向上能够位移。