-
公开(公告)号：CN115210626B
公开(公告)日：2024-04-16
申请号：CN202080097900.6
申请日：2020-03-12
Applicant: 三菱电机株式会社
Abstract: 光扫描装置(100)具备反射体(10)、旋转体(1)、第1扭曲梁(21)以及第2扭曲梁(22)、第1支撑部(31)、第2支撑部(32)、第1弹性层(41)和第2弹性层(42)。第1弹性层(41)与第1扭曲梁(21)重叠。第2弹性层(42)与第2扭曲梁(22)重叠。在与第1扭曲梁(21)和第2扭曲梁(22)夹入旋转体(1)的方向正交的剖面中，活性层(LA)的纵向尺寸比活性层(LA)的横向尺寸小。第1弹性层(41)以及第2弹性层(42)的材料具有比金属高的疲劳寿命。
-
公开(公告)号：CN113366368A
公开(公告)日：2021-09-07
申请号：CN201980090713.2
申请日：2019-02-06
Applicant: 三菱电机株式会社
Abstract: MEMS反光镜装置(3)具备框体(外侧可动框体13)、内侧可动构件(23)、第1梁(21)、反射反光镜构件(30)和连结构件(40)。内侧可动构件(23)配置在框体的内侧。第1梁(21)将内侧可动构件(23)可旋转地连结于框体。反射反光镜构件(30)具有反射面(30r)和背面(30s)。连结构件(40)连结反射反光镜构件(30)与内侧可动构件(23)。第1梁(21)在反射反光镜构件(30)的背面(30s)与内侧可动构件(23)连结。MEMS反光镜装置(3)可实现小型化。
-
-
公开(公告)号：CN113366368B
公开(公告)日：2023-01-06
申请号：CN201980090713.2
申请日：2019-02-06
Applicant: 三菱电机株式会社
Abstract: MEMS反光镜装置(3)具备框体(外侧可动框体13)、内侧可动构件(23)、第1梁(21)、反射反光镜构件(30)和连结构件(40)。内侧可动构件(23)配置在框体的内侧。第1梁(21)将内侧可动构件(23)可旋转地连结于框体。反射反光镜构件(30)具有反射面(30r)和背面(30s)。连结构件(40)连结反射反光镜构件(30)与内侧可动构件(23)。第1梁(21)在反射反光镜构件(30)的背面(30s)与内侧可动构件(23)连结。MEMS反光镜装置(3)可实现小型化。
-
公开(公告)号：CN118946776A
公开(公告)日：2024-11-12
申请号：CN202280094325.3
申请日：2022-04-12
Applicant: 三菱电机株式会社
Abstract: 位移探测装置(1)具有：绝缘基板(11)；石墨烯块(12)，固定于绝缘基板(11)的面积最大的面且层状地层叠有由单层的石墨烯构成的石墨烯片材；以及导体的电极(13)，设置于绝缘基板(11)的上述面。绝缘基板(11)的上述面与包含于石墨烯块(12)的多个石墨烯片材各自的基底面平行。石墨烯块(12)包括在施加了具有与基底面平行的分量的力的情况下在与基底面平行的方向上产生滑动而移动的、由一个或者多个石墨烯片材构成的石墨烯小片(14)。电极(13)被设置成由电极(13)和石墨烯小片(14)构成的电容器的静电电容与石墨烯小片(14)的移动量对应地变化。
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN118489260A
公开(公告)日：2024-08-13
申请号：CN202280086681.0
申请日：2022-01-04
Applicant: 三菱电机株式会社
Abstract: 超声波换能器(100)的制造方法具备接下来的工序。准备包括第一硅膜(111)、第二硅膜(113)、以及被第一硅膜(111)和第二硅膜(113)夹住的中间氧化硅膜(112)的第一SOI基板。在第一SOI基板的第一硅膜(111)上形成压电元件(107)。通过对第二硅膜(113)实施蚀刻处理来形成振动板(103)。对第二硅膜(113)连接硅基板。以使振动板(103)的振动声波放大的方式在包括第一SOI基板以及硅基板的声学共振构造(100a)形成开口(205)以及空隙(101)，并且振动板(103)和声学共振构造(100a)的共振频率匹配。
-
公开(公告)号：CN110892306A
公开(公告)日：2020-03-17
申请号：CN201880030193.1
申请日：2018-03-16
Applicant: 三菱电机株式会社
Abstract: 光扫描装置(100)具备：镜部(1)，具有对光进行反射的镜面(1B)；N个支撑梁(2-1)～(2-4)，能够摇动地支撑镜部(1)；N个驱动梁(3-1)～(3-4)；以及驱动用的多个压电元件(5-i-a～d(i＝1～4))，被粘结到N个驱动梁上。通过将对多个压电元件(5-i-a、b、c、d)的各个提供的交流电压的频率设为确定的共同的值，将对多个压电元件(5-i-a、b、c、d)的各个提供的交流电压的相位设为与各压电元件的位置对应的确定的值，镜部(1)进动。
-
公开(公告)号：CN116868105A
公开(公告)日：2023-10-10
申请号：CN202180091518.9
申请日：2021-01-28
Applicant: 三菱电机株式会社
IPC: G02B26/10
Abstract: MEMS镜装置(1)具备固定构件(10)、能够相对于固定构件(10)旋转地与固定构件结合的可动构件、镜(12)以及配线(40a、40b、48a、48b)。可动构件包括可动板(11)、扭转梁(14、17)以及曲折梁(15、18)。曲折梁(15、18)沿着扭转梁(14、17)配置。镜(12)形成在可动板(11)上。配线(40a、40b、48a、48b)从可动板(11)延伸到固定构件(10)。配线(40a、40b、48a、48b)形成在曲折梁(15、18)上。
-
公开(公告)号：CN115210626A
公开(公告)日：2022-10-18
申请号：CN202080097900.6
申请日：2020-03-12
Applicant: 三菱电机株式会社
Abstract: 光扫描装置(100)具备反射体(10)、旋转体(1)、第1扭曲梁(21)以及第2扭曲梁(22)、第1支撑部(31)、第2支撑部(32)、第1弹性层(41)和第2弹性层(42)。第1弹性层(41)与第1扭曲梁(21)重叠。第2弹性层(42)与第2扭曲梁(22)重叠。在与第1扭曲梁(21)和第2扭曲梁(22)夹入旋转体(1)的方向正交的剖面中，活性层(LA)的纵向尺寸比活性层(LA)的横向尺寸小。第1弹性层(41)以及第2弹性层(42)的材料具有比金属高的疲劳寿命。
-
公开(公告)号：CN110892306B
公开(公告)日：2022-02-22
申请号：CN201880030193.1
申请日：2018-03-16
Applicant: 三菱电机株式会社
Abstract: 光扫描装置(100)具备：镜部(1)，具有对光进行反射的镜面(1B)；N个支撑梁(2‑1)～(2‑4)，能够摇动地支撑镜部(1)；N个驱动梁(3‑1)～(3‑4)；以及驱动用的多个压电元件(5‑i‑a～d(i＝1～4))，被粘结到N个驱动梁上。通过将对多个压电元件(5‑i‑a、b、c、d)的各个提供的交流电压的频率设为确定的共同的值，将对多个压电元件(5‑i‑a、b、c、d)的各个提供的交流电压的相位设为与各压电元件的位置对应的确定的值，镜部(1)进动。
-
-
-
-
-
-
-
-
-
Search Results
10
records
(took 0.029 seconds)
