-
公开(公告)号：CN113366368A
公开(公告)日：2021-09-07
申请号：CN201980090713.2
申请日：2019-02-06
Applicant: 三菱电机株式会社
Abstract: MEMS反光镜装置(3)具备框体(外侧可动框体13)、内侧可动构件(23)、第1梁(21)、反射反光镜构件(30)和连结构件(40)。内侧可动构件(23)配置在框体的内侧。第1梁(21)将内侧可动构件(23)可旋转地连结于框体。反射反光镜构件(30)具有反射面(30r)和背面(30s)。连结构件(40)连结反射反光镜构件(30)与内侧可动构件(23)。第1梁(21)在反射反光镜构件(30)的背面(30s)与内侧可动构件(23)连结。MEMS反光镜装置(3)可实现小型化。
-
-
公开(公告)号：CN110709752A
公开(公告)日：2020-01-17
申请号：CN201880037019.X
申请日：2018-01-18
Applicant: 三菱电机株式会社
Abstract: 光扫描装置(1)具备光源(10)、基板(13)、反射构件(20)、驱动部(25)及控制部(30)。在基板(13)一体化有扫描镜(15)和姿态检测部(18)。姿态检测部(18)输出与基板(13)的姿态角对应的第一信号(31)。反射构件(20)反射由扫描镜(15)反射后的光束(11)。驱动部(25)能够调整反射构件(20)相对于基板(13)的主面(13m)的斜率。控制部(30)基于第一信号(31)控制驱动部(25)。因此，能够与光扫描装置(1)相对于水平面(45)的斜率无关地稳定地维持来自光扫描装置(1)的光束(11)相对于水平面(45)的出射角度。
-
公开(公告)号：CN101231303A
公开(公告)日：2008-07-30
申请号：CN200710306261.6
申请日：2007-11-09
Applicant: 三菱电机株式会社
IPC: G01P15/125
Abstract: 提供一种加速度传感器。第1和第2检测框以能够以第1和第2扭转轴为中心转动的方式被支撑在基板上。第1连接梁，在与第1扭转轴交叉且向着第1检测框的其中一端部方向移动第1扭转轴而得到的轴上，连接到第1检测框。第2连接梁，在与上述方向相反的方向偏移第2扭转轴而得到的轴上，连接到第2检测框。惯性质量决分别通过第1和第2连接梁与第1和第2检测框连接，由此，可在基板的厚度方向产生位移地被支撑在基板上。从而能够得到基本免受外界干扰影响的高精度的加速度传感器。
-
公开(公告)号：CN113366368B
公开(公告)日：2023-01-06
申请号：CN201980090713.2
申请日：2019-02-06
Applicant: 三菱电机株式会社
Abstract: MEMS反光镜装置(3)具备框体(外侧可动框体13)、内侧可动构件(23)、第1梁(21)、反射反光镜构件(30)和连结构件(40)。内侧可动构件(23)配置在框体的内侧。第1梁(21)将内侧可动构件(23)可旋转地连结于框体。反射反光镜构件(30)具有反射面(30r)和背面(30s)。连结构件(40)连结反射反光镜构件(30)与内侧可动构件(23)。第1梁(21)在反射反光镜构件(30)的背面(30s)与内侧可动构件(23)连结。MEMS反光镜装置(3)可实现小型化。
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101999081B
公开(公告)日：2013-01-02
申请号：CN200880128596.6
申请日：2008-10-28
Applicant: 三菱电机株式会社
Inventor： 绀野伸显
IPC: G01P15/125 , H01L29/84
CPC classification number: G01P15/0802 , B81B7/0048 , B81B2201/0235 , B81B2201/0242 , G01C19/5719 , G01P3/22 , G01P15/0888 , G01P15/125 , G01P15/14 , G01P15/18 , G01P2015/0831 , H01L29/84
Abstract: 一种加速度传感器，具有：基板(1)、第一和第二扭转梁(11、12)、第一和第二检测框(21、22)、第一和第二检测电极(41、42)、第一和第二连接梁(31、32)以及惯性质量体(2)。第一和第二扭转梁(11、12)绕第一和第二扭转轴(T1、T2)扭转。第一和第二检测框(21、22)以第一和第二扭转轴(T1、T2)为中心转动。第一和第二检测电极(41、42)检测第一和第二检测框(21、22)相对基板(1)的角度。第一连接梁(31)在沿着与第一扭转轴(T1)交叉的方向、向第一检测框(21)的一端部侧移动了第一扭转轴(T1)的第一轴(L1)上。第二连接梁(32)在向与第一扭转轴(T1)的移动方向相同的方向移动了第二扭转轴(T2)的第二轴(L2)上。
-
公开(公告)号：CN101999081A
公开(公告)日：2011-03-30
申请号：CN200880128596.6
申请日：2008-10-28
Applicant: 三菱电机株式会社
Inventor： 绀野伸显
IPC: G01P15/125 , H01L29/84
CPC classification number: G01P15/0802 , B81B7/0048 , B81B2201/0235 , B81B2201/0242 , G01C19/5719 , G01P3/22 , G01P15/0888 , G01P15/125 , G01P15/14 , G01P15/18 , G01P2015/0831 , H01L29/84
Abstract: 一种加速度传感器，具有：基板(1)、第一和第二扭转梁(11、12)、第一和第二检测框(21、22)、第一和第二检测电极(41、42)、第一和第二连接梁(31、32)以及惯性质量体(2)。第一和第二扭转梁(11、12)绕第一和第二扭转轴(T1、T2)扭转。第一和第二检测框(21、22)以第一和第二扭转轴(T1、T2)为中心转动。第一和第二检测电极(41、42)检测第一和第二检测框(21、22)相对基板(1)的角度。第一连接梁(31)在沿着与第一扭转轴(T1)交叉的方向、向第一检测框(21)的一端部侧移动了第一扭转轴(T1)的第一轴(L1)上。第二连接梁(32)在向与第一扭转轴(T1)的移动方向相同的方向移动了第二扭转轴(T2)的第二轴(L2)上。
-
公开(公告)号：CN116868105A
公开(公告)日：2023-10-10
申请号：CN202180091518.9
申请日：2021-01-28
Applicant: 三菱电机株式会社
IPC: G02B26/10
Abstract: MEMS镜装置(1)具备固定构件(10)、能够相对于固定构件(10)旋转地与固定构件结合的可动构件、镜(12)以及配线(40a、40b、48a、48b)。可动构件包括可动板(11)、扭转梁(14、17)以及曲折梁(15、18)。曲折梁(15、18)沿着扭转梁(14、17)配置。镜(12)形成在可动板(11)上。配线(40a、40b、48a、48b)从可动板(11)延伸到固定构件(10)。配线(40a、40b、48a、48b)形成在曲折梁(15、18)上。
-
公开(公告)号：CN110892306B
公开(公告)日：2022-02-22
申请号：CN201880030193.1
申请日：2018-03-16
Applicant: 三菱电机株式会社
Abstract: 光扫描装置(100)具备：镜部(1)，具有对光进行反射的镜面(1B)；N个支撑梁(2‑1)～(2‑4)，能够摇动地支撑镜部(1)；N个驱动梁(3‑1)～(3‑4)；以及驱动用的多个压电元件(5‑i‑a～d(i＝1～4))，被粘结到N个驱动梁上。通过将对多个压电元件(5‑i‑a、b、c、d)的各个提供的交流电压的频率设为确定的共同的值，将对多个压电元件(5‑i‑a、b、c、d)的各个提供的交流电压的相位设为与各压电元件的位置对应的确定的值，镜部(1)进动。
-
公开(公告)号：CN110462485B
公开(公告)日：2021-07-20
申请号：CN201780088680.9
申请日：2017-12-01
Applicant: 三菱电机株式会社
Abstract: 光扫描装置(1)具备镜子(3)和驱动梁(7)。驱动梁(7)具备压电部(12)。在压电部(12)中，利用多个第一槽将压电体(15)划分为多个。形成为：随着接近与锚定件(11)连接的一端侧，压电体(15)的X轴方向上的长度变短，且形成为：随着接近与连杆梁(9)连接的另一端侧，压电体(15)的X轴方向上的长度变短。
-
-
-
-
-
-
-
-
-
Search Results
18
records
(took 0.028 seconds)
