MEMS反光镜装置以及其制造方法

    公开(公告)号:CN113366368A

    公开(公告)日:2021-09-07

    申请号:CN201980090713.2

    申请日:2019-02-06

    Abstract: MEMS反光镜装置(3)具备框体(外侧可动框体13)、内侧可动构件(23)、第1梁(21)、反射反光镜构件(30)和连结构件(40)。内侧可动构件(23)配置在框体的内侧。第1梁(21)将内侧可动构件(23)可旋转地连结于框体。反射反光镜构件(30)具有反射面(30r)和背面(30s)。连结构件(40)连结反射反光镜构件(30)与内侧可动构件(23)。第1梁(21)在反射反光镜构件(30)的背面(30s)与内侧可动构件(23)连结。MEMS反光镜装置(3)可实现小型化。

    光扫描装置、光扫描装置的控制方法及移动体

    公开(公告)号:CN110709752A

    公开(公告)日:2020-01-17

    申请号:CN201880037019.X

    申请日:2018-01-18

    Abstract: 光扫描装置(1)具备光源(10)、基板(13)、反射构件(20)、驱动部(25)及控制部(30)。在基板(13)一体化有扫描镜(15)和姿态检测部(18)。姿态检测部(18)输出与基板(13)的姿态角对应的第一信号(31)。反射构件(20)反射由扫描镜(15)反射后的光束(11)。驱动部(25)能够调整反射构件(20)相对于基板(13)的主面(13m)的斜率。控制部(30)基于第一信号(31)控制驱动部(25)。因此,能够与光扫描装置(1)相对于水平面(45)的斜率无关地稳定地维持来自光扫描装置(1)的光束(11)相对于水平面(45)的出射角度。

    MEMS反光镜装置以及其制造方法

    公开(公告)号:CN113366368B

    公开(公告)日:2023-01-06

    申请号:CN201980090713.2

    申请日:2019-02-06

    Abstract: MEMS反光镜装置(3)具备框体(外侧可动框体13)、内侧可动构件(23)、第1梁(21)、反射反光镜构件(30)和连结构件(40)。内侧可动构件(23)配置在框体的内侧。第1梁(21)将内侧可动构件(23)可旋转地连结于框体。反射反光镜构件(30)具有反射面(30r)和背面(30s)。连结构件(40)连结反射反光镜构件(30)与内侧可动构件(23)。第1梁(21)在反射反光镜构件(30)的背面(30s)与内侧可动构件(23)连结。MEMS反光镜装置(3)可实现小型化。

    前照灯用光轴控制装置
    4.
    发明公开

    公开(公告)号:CN106715194A

    公开(公告)日:2017-05-24

    申请号:CN201480081987.2

    申请日:2014-09-16

    Abstract: 前照灯用光轴控制装置(10)的控制部(15)具有预先设定的上下方向以及前后方向的基准加速度的信息,利用加速度传感器(2),根据车辆行驶时检测到的前后方向的加速度信号和前后方向的基准加速度的差分与车辆行驶时检测到的上下方向的加速度信号和上下方向的基准加速度的差分之比来计算车辆相对于路面的倾斜角度即车辆角度,在将前后方向的差分设定为第一轴并将车辆角度设定为第二轴的坐标上,绘制多个该计算出的车辆角度来导出相当于前后方向的加速度变化量为零时的车辆角度,基于该导出的车辆角度来生成对前照灯(5L、5R)的光轴进行操作的信号。

    光扫描装置以及光扫描装置的调整方法

    公开(公告)号:CN110892306B

    公开(公告)日:2022-02-22

    申请号:CN201880030193.1

    申请日:2018-03-16

    Abstract: 光扫描装置(100)具备:镜部(1),具有对光进行反射的镜面(1B);N个支撑梁(2‑1)~(2‑4),能够摇动地支撑镜部(1);N个驱动梁(3‑1)~(3‑4);以及驱动用的多个压电元件(5‑i‑a~d(i=1~4)),被粘结到N个驱动梁上。通过将对多个压电元件(5‑i‑a、b、c、d)的各个提供的交流电压的频率设为确定的共同的值,将对多个压电元件(5‑i‑a、b、c、d)的各个提供的交流电压的相位设为与各压电元件的位置对应的确定的值,镜部(1)进动。

    反射镜驱动装置、反射镜驱动装置的控制方法及反射镜驱动装置的制造方法

    公开(公告)号:CN108604008B

    公开(公告)日:2020-11-10

    申请号:CN201680081520.7

    申请日:2016-12-13

    Abstract: 反射镜驱动装置(100)的一对梁部在俯视观察下以夹着反射体(11M)的方式与反射体(11M)相连。一对梁部包括:以夹着反射体(11M)的方式与反射体直接相连的一对第一梁(11BL1、11BR1);以及与一对第一梁(11BL1、11BR1)的与反射体(11M)相反的一侧连结的一对第二梁(11BL2、11BR2)。在第一梁(11BL1、11BR1)的主表面上隔着压电材料相互空出间隔地排列多个电极(14)。第一梁(11BL1、11BR1)沿着与主表面交叉的方向能够相互向反方向位移。一对第二梁(11BL2、11BR2)在将第一梁(11BL1、11BR1)与第二梁(11BL2、11BR2)连结的沿着第二梁(11BL2、11BR2)的主表面的方向上能够位移。

    前照灯用光轴控制装置
    8.
    发明授权

    公开(公告)号:CN106715194B

    公开(公告)日:2018-03-06

    申请号:CN201480081987.2

    申请日:2014-09-16

    Abstract: 前照灯用光轴控制装置(10)的控制部(15)具有预先设定的上下方向以及前后方向的基准加速度的信息,利用加速度传感器(2),根据车辆行驶时检测到的前后方向的加速度信号和前后方向的基准加速度的差分与车辆行驶时检测到的上下方向的加速度信号和上下方向的基准加速度的差分之比来计算车辆相对于路面的倾斜角度即车辆角度,在将前后方向的差分设定为第一轴并将车辆角度设定为第二轴的坐标上,绘制多个该计算出的车辆角度来导出相当于前后方向的加速度变化量为零时的车辆角度,基于该导出的车辆角度来生成对前照灯(5L、5R)的光轴进行操作的信号。

    光扫描装置、光扫描装置的控制方法及移动体

    公开(公告)号:CN110709752B

    公开(公告)日:2021-07-20

    申请号:CN201880037019.X

    申请日:2018-01-18

    Abstract: 光扫描装置(1)具备光源(10)、基板(13)、反射构件(20)、驱动部(25)及控制部(30)。在基板(13)一体化有扫描镜(15)和姿态检测部(18)。姿态检测部(18)输出与基板(13)的姿态角对应的第一信号(31)。反射构件(20)反射由扫描镜(15)反射后的光束(11)。驱动部(25)能够调整反射构件(20)相对于基板(13)的主面(13m)的斜率。控制部(30)基于第一信号(31)控制驱动部(25)。因此,能够与光扫描装置(1)相对于水平面(45)的斜率无关地稳定地维持来自光扫描装置(1)的光束(11)相对于水平面(45)的出射角度。

    光扫描装置及其控制方法
    10.
    发明公开

    公开(公告)号:CN111819486A

    公开(公告)日:2020-10-23

    申请号:CN201880090386.6

    申请日:2018-12-17

    Abstract: 提供即使使扫描范围变化也能够将空间分辨率保持成恒定的光扫描装置(100)。光扫描装置(100)具备:光源(101),发出光;扫描镜(106),为利用反射面反射从光源入射的光的扫描镜(106),能够绕通过反射面内的第1轴以及与第1轴正交且通过反射面内的第2轴分别独立地振动;以及控制部(103),控制扫描镜(106)的绕第1轴振动的第1频率以及第1振幅以及绕第2轴振动的第2频率以及第2振幅,扫描被扫描镜(106)的反射面反射的光。控制部(103)根据副扫描方向的最大扫描角来控制第2频率。

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