公开(公告)号：CN104204870B

公开(公告)日：2016-06-29

申请号：CN201280071918.4

申请日：2012-03-29

Applicant: 三菱电机株式会社

Inventor： 西尾彰伦 ,  石塚智彦

IPC: G02B5/10 ,  B81B3/00 ,  G02B26/06

CPC classification number: G02B26/0825 ,  G02B5/10 ,  G02B7/1815 ,  G02B26/06

Abstract: 曲率可变反射镜具有以曲率可变的方式构成并且在反射镜反射面侧对激光进行反射的反射镜母材，反射镜母材使用弹簧材料铜合金而形成，弹簧材料铜合金使用磷青铜、洋白铜、铬铜、锆铜、钛铜合金、铜-镍合金、或者在铜中添加有Ni(镍)、Sn(锡)、Si(硅)、Mg(镁)、Zn(锌)、Mn(锰)、Pb(铅)、Fe(铁)以及Al(铝)中的至少1种而成的合金中的任意一种而构成。

公开(公告)号：CN103128439A

公开(公告)日：2013-06-05

申请号：CN201210452192.0

申请日：2012-11-13

Applicant: 三菱电机株式会社

Inventor： 石塚智彦 ,  伊藤健治 ,  成濑正史 ,  高桥悌史

IPC: B23K26/00 ,  B23K26/06 ,  G02B7/02

Abstract: 本发明提供一种透镜单元以及激光加工装置。在激光加工装置（100）中，在fθ透镜（5）中使用了能够用温度检测器（14）测定高能量的激光波束（2）的瞬间的吸收所致的光学透镜（11a、11b）的温度变化的透镜单元（20）。在光学透镜（11a、11b）的激光波束非照射部分（16）中设置了多个温度检测器（14），控制装置（9）根据由温度检测器（14）测定的温度信号，校正激光波束（2）的聚光点位置来进行控制。

公开(公告)号：CN204771159U

公开(公告)日：2015-11-18

申请号：CN201520430231.6

申请日：2015-06-19

Applicant: 三菱电机株式会社

Inventor： 高桥悌史 ,  石塚智彦 ,  伊藤健治 ,  成濑正史 ,  金田充弘

IPC: B23K26/382 ,  B23K26/064 ,  B23K26/70

Abstract: 本实用新型提供一种激光加工装置，在多点同时照射的激光加工过程中，能够节省空间、高速且高品质地进行激光加工。激光加工装置(1)具有：作为第1激光振荡机构的激光振荡器(3a)，其输出第1激光；作为第2激光振荡机构的激光振荡器(3b)，其输出第2激光；作为第1副检流计式光学扫描器的副检流计式光学扫描器(7a)；作为第2副检流计式光学扫描器的副检流计式光学扫描器(7b)；作为激光合路机构的偏振光分束器(8)；主检流计式光学扫描器(9a、9b)；f-θ透镜(10)，其使来自主检流计式光学扫描器的第1激光和第2激光聚光；作为激光振荡控制机构的激光振荡器控制部(22)，其对第1激光振荡机构和第2激光振荡机构分别进行独立的控制。

公开(公告)号：CN204430558U

公开(公告)日：2015-07-01

申请号：CN201390000132.3

申请日：2013-04-22

Applicant: 三菱电机株式会社

Inventor： 伊藤健治 ,  石塚智彦 ,  泷川靖弘

IPC: B23K26/067 ,  B23K26/08 ,  B23K26/382

CPC classification number: B23K26/0648 ,  B23K26/066

Abstract: 在激光加工装置中，具有：掩模（3X），其对从激光振荡器（20）射出的激光（L1）的光束尺寸进行限制；工作台（8），其用于载置工件（7）；聚光透镜（6），其对穿过掩模（3X）的激光（L1）进行聚光并向工作台（8）上的工件（7）照射；转印率变更透镜（5A），其对激光（L1）的转印率进行变更，并且配置为能够在掩模（3X）和聚光透镜（6）之间的光路上取出/放入；以及控制部（43），其对转印率变更透镜（5A）向光路上的取出/放入进行控制，并且通过调整聚光透镜（6）和工件（7）之间的距离，从而对激光（L1）在工件（7）上聚光的聚光位置进行控制。