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公开(公告)号:CN100345348C
公开(公告)日:2007-10-24
申请号:CN03812697.4
申请日:2003-04-01
Applicant: 三菱电机株式会社
Abstract: 一种激光加工系统,具备:通过切换以规定频率构成的放电指令脉冲以改变投入电极(24)间的放电功率,能够使激光束(6)的特性改变的脉冲激光振荡器(2),以及将该激光振荡器(2)输出的所述激光束(6)导向被加工物的光学系统(3)。
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公开(公告)号:CN1659750A
公开(公告)日:2005-08-24
申请号:CN03812697.4
申请日:2003-04-01
Applicant: 三菱电机株式会社
Abstract: 一种激光加工系统,具备:通过切换以规定频率构成的放电指令脉冲以改变投入电极(24)间的放电功率,能够使激光束(6)的特性改变的脉冲激光振荡器(2),以及将该激光振荡器(2)输出的所述激光束(6)导向被加工物的光学系统(3)。
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公开(公告)号:CN1159129C
公开(公告)日:2004-07-28
申请号:CN01802636.2
申请日:2001-07-27
Applicant: 三菱电机株式会社
IPC: B23K26/067 , B23K26/073
CPC classification number: B23K26/0608 , B23K26/0643 , B23K26/0648 , B23K26/067 , B23K26/08 , B23K26/082 , B23K26/382 , B23K2103/50
Abstract: 本发明的激光加工装置具有产生激光的激光振荡器(3)、主偏转检流计反射镜(7)、Fθ透镜(10)、设在激光振荡器(3)与主偏转检流计反射镜(7)之间的光路中的副偏转装置(6)。另外,具有分光激光的装置(19、28),在被分光的激光光路(18b、26b、27b)上插入上述副偏转装置(6),同时使被分光的两激光(18a、18b、26a、26b、27a、27b)从同一主偏转检流计反射镜(7)入射到Fθ透镜(10),将主偏转检流计反射镜(7)和Fθ透镜(10)和被加工物(9)的光路系统中的数值孔径构成为0.08以上。
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公开(公告)号:CN1129788C
公开(公告)日:2003-12-03
申请号:CN98814134.5
申请日:1998-08-10
Applicant: 三菱电机株式会社
CPC classification number: G01R31/309 , G01N21/88 , G01N21/8901 , G01N21/956
Abstract: 一种印刷电路基板的检查装置,设有转动轴互相垂直的2个检流镜及扫描透镜作为扫描装置,能将激光振荡器输出激光的照射位置定位在互相垂直的X轴方向及Y轴方向指令的任意座标位置处,用检测器检测激光照射印刷电路基板所产生的光,依据检测器的输出信号判断各座标位置检查结果是否良好。
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公开(公告)号:CN1104302C
公开(公告)日:2003-04-02
申请号:CN96121009.5
申请日:1996-11-13
Applicant: 三菱电机株式会社
IPC: B23K26/06
CPC classification number: B23K26/0673 , B23K26/066 , B23K26/067 , B23K26/382 , B23K26/389 , B23K26/40 , B23K2103/08 , B23K2103/12 , B23K2103/172 , G03F7/2006 , H05K3/0017
Abstract: 本发明提供一种具备聚光光学系统与像转印光学系统两者,根据加工对象分别单独使用,从而可以扩大可加工范围,而且可以提高加工精度的激光加工装置。它包括:具有置于激光振荡器1与待加工物7之间光路中的遮光板以及使该遮光板的像缩小成像在加工面上的透镜的像转印光学系统3;聚光光学系统5;选择上述系统两者中任意一方的驱动装置11;控制上述系统两者与驱动装置11的NC装置9。根据所加工的孔径和孔深,选择上述系统两者中的任意一个。
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公开(公告)号:CN1098022C
公开(公告)日:2003-01-01
申请号:CN96111476.2
申请日:1996-08-07
Applicant: 三菱电机株式会社
CPC classification number: H05K3/0032 , H05K2203/0554 , H05K2203/081
Abstract: 本发明揭示电路底板激光加工方法和装置。该方法将激光束以约10微秒-20微秒的照射时间,约20焦耳/厘米2以上的能量密度,对电流底板的被加工部进行脉冲照射,在该电路板上完成开通孔和盲辅助孔之类的钻削、槽缝加工和外形切割。可解决含玻璃纤维布电路底板激光加工中出现玻璃纤维布伸出、加工孔粗糙和因加热时间长而孔壁有碳化层等问题。
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公开(公告)号:CN1337896A
公开(公告)日:2002-02-27
申请号:CN99816413.5
申请日:1999-03-05
Applicant: 三菱电机株式会社
IPC: B23K26/06
CPC classification number: G05B19/4103 , B23K26/08 , B23K26/389 , G05B2219/34391 , G05B2219/35304 , G05B2219/45165 , G05B2219/49384
Abstract: 本发明的激光加工装置具备:产生激光的激光振荡器(3);具有形成将从所述激光振荡器(3)输出的所述激光(2)导向被加工物(1)的光路的电流计式反射镜(5a、5b)与fθ透镜(7)的光路系统;设置在所述激光振荡器与所述电流计式反射镜之间光路中的衍射型光学元件(11)。
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公开(公告)号:CN1227150A
公开(公告)日:1999-09-01
申请号:CN98116837.X
申请日:1998-07-30
Applicant: 三菱电机株式会社
Inventor: 黑泽满树
IPC: B23K26/00
CPC classification number: G02B26/101 , B23K26/08 , B23K26/082 , H05K3/0017
Abstract: 一种激光加工装置,具有发射激光的激光振荡器(12),反射激光振荡器(12)来的激光的偏转反射镜(14),转动偏转反射镜(14)的电流计式扫描器(18),以偏转反射镜(14)转轴(34)为中心可调节电流计式扫描器(18)的安装角度位置的电流计式扫描器的安装保持机构(20)。该激光加工装置能抑制电流计式扫描器动作特性的偏差,高速转动偏转反射镜,并能高速、高精度对激光定位。
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公开(公告)号:CN1142743A
公开(公告)日:1997-02-12
申请号:CN96111476.2
申请日:1996-08-07
Applicant: 三菱电机株式会社
CPC classification number: H05K3/0032 , H05K2203/0554 , H05K2203/081
Abstract: 本发明揭示电路底板激光加工方法和装置。该方法将激光束以约10微秒—20微秒的照射时间,约20焦耳/厘米2以上的能量密度,对电流底板的被加工部进行脉冲照射,在该电路板上完成开通孔和盲辅助孔之类的钻削、槽缝加工和外形切割。可解决含玻璃纤维布电路底板激光加工中出现玻璃纤维布伸出、加工孔粗糙和因加热时间长而孔壁有碳化层等问题。
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公开(公告)号:CN1136487A
公开(公告)日:1996-11-27
申请号:CN96101812.7
申请日:1996-01-17
Applicant: 三菱电机株式会社
IPC: B23K26/00
CPC classification number: B23K26/032 , B23K26/0853 , B23K26/382 , B23K26/40 , B23K2103/50
Abstract: 本发明的激光加工系统包含产生用于加工工件的激光束的激光器装置、会聚由激光器装置产生的激光束并使其照射到工件上的光学装置、检测由激光束照射到工件的工作点上而产生的发光分布并输出光检测信号的光电检测装置、根据光检测信号中工件工作点处发光分布形式识别激光加工状态并输出激光加工状态识别信号的激光加工识别装置以及根据激光加工识别装置输出的激光加工状态识别信号控制工件的激光加工的控制装置。
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