公开(公告)号：CN214125595U

公开(公告)日：2021-09-03

申请号：CN202120063819.8

申请日：2021-01-12

Applicant: 中南大学

Inventor： 周继承 ,  徐伟 ,  黄静 ,  廖佳 ,  冯天舒

IPC: H05H1/46

Abstract: 本实用新型公开一种双天线增强线形微波等离子体源，包括屏蔽罩，载板，微波电源和与微波电源相连通的T型功率分配器；屏蔽罩为梯形结构，且屏蔽罩不设底板；载板设置于屏蔽罩正下方；T型功率分配器另两端分别与一微波天线连通，且两微波天线位于同侧；T型功率分配器与微波天线设置于屏蔽罩内腔中部；屏蔽罩上还设置有磁铁组件和进气管组。本实用新型在现有线形微波等离子体源的基础上通过引进双天线结构，以及相应的对进气管路、磁场结构进行改进，有效的增大线形微波等离子体源产生等离子体的横向面积，从而最终达到减少微波电源的数量的目的。

公开(公告)号：CN214327881U

公开(公告)日：2021-10-01

申请号：CN202120052323.0

申请日：2021-01-11

Applicant: 中南大学

Inventor： 周继承 ,  黄静 ,  廖佳 ,  梁慧玲 ,  徐伟 ,  吕博文

IPC: C23C16/50 ,  C23C16/455

Abstract: 本实用新型公开一种管式PECVD设备的腔室结构，包括石英炉管，前端法兰组件，尾端法兰组件和补气装置；石英炉管的两端分别与前端法兰组件和后端法兰组件固接；石英炉管内设置有石墨舟；前端固定法兰套接在石英炉管一端外壁；前端进气法兰为环状设置；前端进气法兰内开设有环形腔；前端进气法兰内壁周向等距开设有若干布气孔；布气孔与环形腔连通；前端进气法兰外壁底部连通有进气管；远离进气管的布气孔孔径逐渐增大；石英炉管另一端连通有补气装置；能够实现工艺气体可以快速且均匀的分布在石英炉管内，气流在管内分布的均匀性以及沉积膜的均匀性大幅度的提高。

公开(公告)号：CN214193448U

公开(公告)日：2021-09-14

申请号：CN202120054133.2

申请日：2021-01-11

Applicant: 中南大学

Inventor： 周继承 ,  廖佳 ,  黄静 ,  徐伟 ,  曾世魁

IPC: C23C16/54 ,  C23C16/50 ,  C23C16/24 ,  C23C16/455 ,  C23C16/458 ,  C23C16/52 ,  H01L31/20

Abstract: 本实用新型公开一种异质结太阳能电池PECVD设备的真空腔室，其特征在于，包括：真空壳体，沉积装置和升降装置；沉积装置设置在真空壳体内腔；升降装置设置在真空壳体底部；沉积装置包括匀气挡板；真空壳体顶面和底面分别开设有进气口和出气口；匀气挡板的侧壁与真空壳体内壁顶部固接；真空壳体内腔中部固接有喷淋板；真空壳体内腔底部设置有承载机构；承载机构的底面与升降装置顶部固接；匀气挡板顶面中部开设有第一匀气孔；第一匀气孔两侧分别对称开设有第二匀气孔；匀气挡板顶面两最外侧分别对称开设有第三匀气孔。