一种双臂点光源干涉型自准直仪
    11.
    发明公开

    公开(公告)号:CN118640789A

    公开(公告)日:2024-09-13

    申请号:CN202410318879.8

    申请日:2024-03-20

    Abstract: 本发明提供了一种双臂点光源干涉型自准直仪及其使用方法,属于几何量测试技术领域。它融合了点光源干涉和光学杠杆原理,解决的是如何扩展纯干涉自准仪测量距离的技术问题。本申请包括激光光源、光源会聚透镜、分光镜、参考反射镜、测量会聚透镜、测量反射镜和面阵CCD,其特征在于,所述激光光源发出的光经过光源会聚透镜在分光镜后表面形成点光源,经分光镜后分裂成参考光和测量光,其中参考光经参考反射镜原路返回至面阵CCD,测量光经测量反射镜原路返回后至面阵CCD,两束光在面阵CCD处形成点光源干涉同心圆环。所述测量反射镜发现小角度摆动时,干涉同心圆环的圆心会发生侧移,由此可以反推出测量反射镜的角摆量。

    基于分波面干涉同心圆环的角度自溯源高精度测量方法

    公开(公告)号:CN114964057A

    公开(公告)日:2022-08-30

    申请号:CN202210534207.1

    申请日:2022-05-17

    Abstract: 本发明公开了一种基于分波面干涉同心圆环的角度自溯源高精度测量方法,将点光源S、分束镜和被测对象按照其中心线等高且与光轴同轴的方式一字排开,将点光源S形成的两个虚像点作为分波面干涉中的两个次级相干点光源,借此利用这两个次级相干点光源连线上的干涉同心圆环进行角度的测量。本发明利用分波面干涉同心圆环进行角度自溯源测量,具有较高的测量精度。

    一种嵌有标准具的无研合双端面量块量值测量系统

    公开(公告)号:CN114608452A

    公开(公告)日:2022-06-10

    申请号:CN202210281839.1

    申请日:2022-03-22

    Abstract: 本发明公开了一种嵌有标准具的无研合双端面的量块量值测量系统,它由一套双测量臂的白光干涉仪构成。其测量步骤为:在干涉仪的分光光路前增加一套平行光系统并设置标准具;调整两测量光路至共轴共路,分别垂直入射至量块的两个测量面;调整两个相干光路,出现单色干涉条纹后增加白光照明,微调调整参考反射镜,得到参考面的零次干涉带与被测面的零次干涉带,据此求出量块与标准具尺寸差,加上环境条件的修正,得到被测量块的准确尺寸。整个系统封装在同一环境中以保证系统空气折射率一致,并使各项环境参数满足JJG 146‑2003量块检定规程的要求。本发明提高了量块测量精度与效率,不磨损量块,易于实现测量的自动化与半自动化,可用于精密测量。

    基于电容传感器的法布里珀罗标准具微位移测量系统的线性度比对装置和方法

    公开(公告)号:CN108827162A

    公开(公告)日:2018-11-16

    申请号:CN201811048937.0

    申请日:2018-09-10

    Abstract: 本发明公开了基于电容传感器的法布里珀罗标准具微位移测量系统的线性度比对装置和方法。本发明中支架一端固定在光学平台上,F-P标准具干涉测量系统放置在其上方,面阵器件布置在F-P标准具干涉测量系统前且处于同一光轴中用于干涉成像,应力加载系统改变应力F的大小,电容传感器探头通过检测电容的变化量,从而根据电路模块得到矩形等截面梁的形变量。用F-P标准具干涉测量系统和电容传感器得到相应的位移量,通过对二者线性度曲线的比较完成F-P标准具微位移测量系统的线性度比对。本发明具有检测精度高,可同步完成两种方法的测量,适用于高准确度微位移测量系统的线性度比对。

    一种基于点光源干涉的液体折射率测量装置

    公开(公告)号:CN118533792A

    公开(公告)日:2024-08-23

    申请号:CN202410432532.6

    申请日:2024-04-11

    Abstract: 本发明公开了一种基于点光源干涉的液体折射率测量装置,属于液体折射率测试技术领域,融合了点光源干涉原理与折射定律;测量装置的主要元器件包括氦氖激光器、转台、水槽、分光镜、滑轨、CCD相机;其特征在于,氦氖激光器生成的点光源通过分光镜在CCD相机上生成干涉同心圆环,圆环中心受液体折射率影响而发生偏移,通过测量不同水槽挡位,即不同液体厚度下圆环中心的位置,即可反推出液体折射率;该发明结构简单易操作,不受测量范围限制,多圆环求解中心位置及多挡位测量的方式能够大幅度提高测量精度。

    一种可角度补偿的激光干涉位移测量装置和方法

    公开(公告)号:CN116952142A

    公开(公告)日:2023-10-27

    申请号:CN202310945241.2

    申请日:2023-07-28

    Abstract: 本发明公开了一种可角度补偿的激光干涉位移测量装置和方法,包括:激光光源、分光干涉镜系统、背对背测量镜系统、角度监测模块和信号处理系统;所述激光光源,用于发出激光束;所述分光干涉镜系统,用于所述激光光源发出的激光束分裂成位移测量光束和角度监测光束;所述背对背测量镜系统,用于反射所述位移测量光束和所述角度监测光束;所述角度监测模块,用于探测角度监测光束并将所述角度监测光束产生的干涉圆环信息发送给所述信号处理系统;所述信号处理系统,用于实时处理所述位移测量光束获取位移量;实时处理干涉圆环圆心的侧移量,基于所述侧移量获取角度偏摆信量。本发明实现角度影响的在线监测和补偿,同时还能实现直线度的测量。

    一种用于准直器对光的自动对光系统

    公开(公告)号:CN111596425A

    公开(公告)日:2020-08-28

    申请号:CN202010580345.4

    申请日:2020-06-23

    Abstract: 本发明公开了一种用于准直器精准对光的半自动耦光设备。包括机器视觉定位与光功率自动反馈算法,包括五维自动微调整架,位置相互垂直的两个工业相机,照明设备,光功率计,PC控制机。所述设备的待调准直器安装在五维自动微调整架上,在准直器的正上方和侧方各放置一套工业相机以及光源,光源采用同轴光照明,两工业相机的拍摄角度接近90°。所述设备主要用于DWDM器件生产过程中的准直器耦光。利用机器视觉定位与光功率反馈调光相结合的方式,可以降低DWDM生产时对准直器初始安装位置的要求,并且可以通过改变判断调节完成的阈值以适应不同的工况,设备的适用强。借由机器视觉的初始定位代替初始盲目找光,可以将调光效率提高3-4倍,同时提高了系统的稳定性,扩大了系统的使用范围。

    具有标准具的白光干涉仪的量值测量方法

    公开(公告)号:CN110595351A

    公开(公告)日:2019-12-20

    申请号:CN201910879698.1

    申请日:2019-09-18

    Abstract: 本发明公开了一种具有标准具的白光干涉仪的量值测量方法,其测量步骤为:在白光干涉仪的光路中分光光路前增加通光孔径相同平行光路系统,并在其中放置标准具;调整干涉仪的干涉条纹,将干涉仪两个相干光路调整到完全垂直;调整使两相干光自分光点至两参考镜的距离相等,出现白光零次干涉带;通过参考镜和量块工作台的调整,达到钢平晶上的干涉带平行于被测量块短边,并且被测量块上的零次干涉带通过被测量块中部的中点;测出钢平晶上的零次干涉带与被测量块中心点上零次干涉带的距离并修正。本发明方法提高了量块测量精度,不会产生粗大误差,提高测量效率,不磨损,寿命长,易于实现测量的自动化与半自动化,可以进行许多精密测量。

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