一种可角度补偿的激光干涉位移测量装置和方法

    公开(公告)号:CN116952142A

    公开(公告)日:2023-10-27

    申请号:CN202310945241.2

    申请日:2023-07-28

    Abstract: 本发明公开了一种可角度补偿的激光干涉位移测量装置和方法,包括:激光光源、分光干涉镜系统、背对背测量镜系统、角度监测模块和信号处理系统;所述激光光源,用于发出激光束;所述分光干涉镜系统,用于所述激光光源发出的激光束分裂成位移测量光束和角度监测光束;所述背对背测量镜系统,用于反射所述位移测量光束和所述角度监测光束;所述角度监测模块,用于探测角度监测光束并将所述角度监测光束产生的干涉圆环信息发送给所述信号处理系统;所述信号处理系统,用于实时处理所述位移测量光束获取位移量;实时处理干涉圆环圆心的侧移量,基于所述侧移量获取角度偏摆信量。本发明实现角度影响的在线监测和补偿,同时还能实现直线度的测量。

    跨尺度激光三坐标测量装置

    公开(公告)号:CN212806939U

    公开(公告)日:2021-03-26

    申请号:CN202021322700.X

    申请日:2020-07-08

    Abstract: 本发明公开了跨尺度激光三坐标测量装置,其包括:利用线激光扫描装置对测量平台上的待测物进行扫描,采用非接触式激光三角测距法对被测物进行测量,避免因接触受力使被测物产生形变而引起的误差;利用宏微混合驱动技术实现跨尺度范围内的位移及高分辨率运动,提高精度,减少高频微动造成的导轨表面磨损。基于上述跨尺度三坐标测量装置满足工业上对于测量检测在跨尺度方面的需求。

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