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公开(公告)号：CN111801621A
公开(公告)日：2020-10-20
申请号：CN201980015743.7
申请日：2019-02-21
Applicant: 中央硝子株式会社
IPC: G03F7/11 , C08G77/24 , G03F7/26 , H01L21/027
Abstract: 本发明提供一种含硅层形成组合物，其用于形成在多层抗蚀法中的曝光时具有防反射功能，在干蚀刻时对于氟系气体的等离子体的蚀刻速度快且对于氧系气体的等离子体的蚀刻速度慢的含硅层。一种含硅层形成组合物，其包含：含有式R数(12)m。所S波iO示浪n/结线2n构/表2]单示(1元)交[的式叉聚中的硅，线R氧段1烷为为化下结合式合物所键(示。A)的)R以基2各及团自溶。(独剂a(为立B1地)～。为[5(的氢R1整原)b子、碳原子数1以上且3以下的烷基、苯基、羟基、碳原子数1以上且3以下的烷氧基、或者碳原子数1以上且3以下的氟烷基，b为1～3的整数，m为0～2的整数，n为1～3的整数，b+m+n＝4。]
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公开(公告)号：CN104884489B
公开(公告)日：2016-09-28
申请号：CN201380068619.X
申请日：2013-12-25
Applicant: 中央硝子株式会社
IPC: C08G8/14 , C08G59/62 , H01L21/027 , G03F7/023
CPC classification number: C08G61/128 , C08G8/14 , C08G16/0225 , C08G59/3218 , C08G59/62 , C08G59/621 , C08L61/00 , C08L61/06 , C09D161/00 , C09D161/06 , C09D163/00 , G03F7/0046 , G03F7/038 , H05K3/287 , C08L63/00
Abstract: 本发明涉及酚醛清漆树脂，其包含以通式(1)表示的重复单元。式(1)中，R1为氢原子、或碳数1～4的直链状或碳数3、4的支链状的烷基，烷基中的氢原子的一部分或全部任选被氟原子取代，R2为氢原子、苯基、碳数1～10的直链状或碳数3～10的支链状的烷基、或碳数3～10的具有环状结构的烷基，苯基和烷基中的氢原子的一部分或全部任选被氟原子取代，a和b各自独立地为1～3的整数，且2≤a+b≤4、d为0～2的整数。该酚醛清漆树脂在作为酚醛树脂的特征的耐热性的基础上还有相对于碱显影液的高溶解速度。
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公开(公告)号：CN105820576A
公开(公告)日：2016-08-03
申请号：CN201610048763.2
申请日：2016-01-25
Applicant: 中央硝子株式会社
CPC classification number: C09D183/04 , C08G77/04 , C08G77/16 , C08G77/18 , C08G77/80 , C08K3/36 , H01L21/56 , H01L23/295 , H01L23/296 , H01L23/3121 , H01L23/49503 , H01L23/4952 , H01L23/49562 , H01L23/49568 , H01L2224/48091 , H01L2224/48227 , H01L2224/48247 , H01L2224/73265 , H01L2924/0002 , H01L2924/19107 , C08L83/06 , H01L2924/00014 , H01L2924/00 , C08L83/04 , C08K2201/003 , C08K2201/014 , C08L2205/03 , C08L2205/035 , C08L2205/16 , H01L23/293 , C08L1/02 , C08L77/10 , C08L61/16 , C08L79/08 , C08K13/04 , C08K7/06 , C08K3/04
Abstract: 固化性树脂组合物及其固化物、及使用它们的半导体装置。本发明的固化性树脂组合物，其至少包含(A-1)成分：一分子中含有至少两个以上选自由硅烷醇基和烷氧基甲硅烷基组成的组中的官能团的聚硅氧烷化合物、和(B)成分：萃取水的pH值在25℃时为6.1以下的二氧化硅，相对于(A-1)成分和(B)成分的总量的(B)成分的比率为70质量％以上且97质量％以下。该组合物即使成型为各种形状、大小，也能够抑制固化时的发泡，作为半导体装置的密封材料是有用的。
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公开(公告)号：CN103890100A
公开(公告)日：2014-06-25
申请号：CN201280052834.6
申请日：2012-10-16
Applicant: 中央硝子株式会社
CPC classification number: C08G77/04 , C08G77/045 , C08G77/12 , C08G77/20 , C08G77/80 , C08L63/00 , C08L83/04 , H01L23/296 , H01L2924/0002 , C08L83/00 , H01L2924/00
Abstract: 得到即便在130℃以上的高温下长时间暴露也不劣化、具有更好的耐热性的耐热性密封材料用的材料。[解決手段]一种组合物，包含通式(1)所示的硅氧烷化合物(A)以及金属化合物，式中，X用通式X1或X2表示，X1为1～8，X2为0～7；R1～R4为氢原子，碳原子数1～8的烷基、烯基、炔基，或碳原子数6～8的芳基，氢原子可以被氟原子取代；R5为碳原子数1～18的烷基、烯基、炔基或芳基，氢原子可以被氟原子取代，碳原子可以被氧原子或氮原子置换；R6为氢原子或乙烯基；m、n为1～4，3≤m+n。
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公开(公告)号：CN103562261B
公开(公告)日：2016-03-16
申请号：CN201280026497.3
申请日：2012-05-29
Applicant: 中央硝子株式会社
IPC: C08G63/193 , C07C39/367 , C07C43/295 , C08L63/00 , C08L67/03
CPC classification number: C08G63/6826 , C07C39/15 , C07C39/367 , C07C43/295 , C07C49/83 , C07C317/22 , C07C323/20 , C08L67/03
Abstract: 根据本发明，能得到通式(1)所示的含氟聚合性单体、以及使用其的高分子化合物。式(1)中，A是单键、氧原子、硫原子、SO2、CH2、CO、C(CH3)2、C(CH3)(CH2CH3)、C(CF3)2、C(CH3)(C6H5)、CH2-C6H4-CH2、或者从苯、萘、环己烯或芴脱离两个氢原子而成的二价有机基团，a和b各自独立地是0～2的整数，并且1≤a+b≤4。所得到的含氟高分子化合物，除了氟化合物所具有的低吸水性之外，还具有适当的亲水性和高的透明性。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103717561B
公开(公告)日：2015-08-26
申请号：CN201280037594.2
申请日：2012-08-08
Applicant: 中央硝子株式会社
IPC: C07C39/24 , C07C37/16 , C07C37/20 , C07C39/367 , C07B61/00
CPC classification number: C07C39/19 , C07C37/20 , C07C39/24 , C07C39/367
Abstract: 本发明公开的是以下通式（1）所示的含氟芳香族化合物及其制造方法。式（1）中，R1为羟基或氨基，R2～R5各自独立地为氢原子、碳数1～4的直链状或者碳数3或4的支链状的烷基，任选该烷基中的一部分或全部氢原子被氟原子取代，n为0～2的整数。m和n各自独立地为0或1。源自该含氟芳香族化合物的聚合物由于在远离聚合物主链的位置含有-C（CF3）2OH基，因此在抗蚀剂用途中是有用的。
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公开(公告)号：CN103717561A
公开(公告)日：2014-04-09
申请号：CN201280037594.2
申请日：2012-08-08
Applicant: 中央硝子株式会社
IPC: C07C39/24 , C07C37/16 , C07C37/20 , C07C39/367 , C07B61/00
CPC classification number: C07C39/19 , C07C37/20 , C07C39/24 , C07C39/367 , C07C37/62 , C07C39/373
Abstract: 本发明公开的是以下通式（1）所示的含氟芳香族化合物及其制造方法。式（1）中，R1为羟基或氨基，R2～R5各自独立地为氢原子、碳数1～4的直链状或者碳数3或4的支链状的烷基，任选该烷基中的一部分或全部氢原子被氟原子取代，n为0～2的整数。m和n各自独立地为0或1。源自该含氟芳香族化合物的聚合物由于在远离聚合物主链的位置含有-C（CF3）2OH基，因此在抗蚀剂用途中是有用的。
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公开(公告)号：CN103597008A
公开(公告)日：2014-02-19
申请号：CN201280026507.3
申请日：2012-05-29
Applicant: 中央硝子株式会社
IPC: C08G63/682 , C07C39/38 , C08G59/24 , C08K5/1515 , C08L67/02
CPC classification number: C08G63/197 , C07C39/14 , C07C39/38 , C07C39/40 , C08G59/62 , C08G63/6826 , C08G2650/48 , C08L67/03
Abstract: 根据本发明，能得到通式(1)所示的含氟聚合性化合物。式(1)中，a、b各自独立地是0～2的整数、并且a+b=2。c是0以上的整数。d和e各自独立地是0～2的整数、并且1≤d+e≤4。另外，式(1)中，下式所示的部位，作为与碳原子置换的杂原子，任选含有氮原子、氧原子或硫原子。使用该含氟聚合性化合物得到的高分子化合物，除了氟化合物所具有的低吸水性之外，还具有亲水性和透明性。
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公开(公告)号：CN103562261A
公开(公告)日：2014-02-05
申请号：CN201280026497.3
申请日：2012-05-29
Applicant: 中央硝子株式会社
IPC: C08G63/193 , C07C39/367 , C07C43/295 , C08L63/00 , C08L67/03
CPC classification number: C08G63/6826 , C07C39/15 , C07C39/367 , C07C43/295 , C07C49/83 , C07C317/22 , C07C323/20 , C08L67/03
Abstract: 根据本发明，能得到通式(1)所示的含氟聚合性单体、以及使用其的高分子化合物。式(1)中，A是单键、氧原子、硫原子、SO2、CH2、CO、C(CH3)2、C(CH3)(CH2CH3)、C(CF3)2、C(CH3)(C6H6)、CH2-C6H6-CH2、或者从苯、萘、环己烯或芴脱离两个氢原子而成的二价有机基团，a和b各自独立地是0～2的整数，并且1≤a+b≤4。所得到的含氟高分子化合物，除了氟化合物所具有的低吸水性之外，还具有适当的亲水性和高的透明性。
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公开(公告)号：CN103492464A
公开(公告)日：2014-01-01
申请号：CN201280018915.4
申请日：2012-04-17
Applicant: 中央硝子株式会社
IPC: C08G77/38 , C07F7/21 , C08G77/20 , C08G77/26 , C08G77/388
CPC classification number: H01L33/56 , C07F7/21 , C08G77/045 , C08G77/12 , C08G77/20 , C08G77/26 , H01L33/641 , H01L2924/0002 , H01L2924/00
Abstract: 本发明的硅氧烷化合物用下述通式（1）表示。（式（1）中，X分别独立地用X1或X2表示，X的至少1个为X2，X1和X2中，R1～R5分别独立地为氢原子、碳原子数1～8的烷基、烯基或炔基、苯基或吡啶基，碳原子任选被氧原子取代，结构中任选包含醚键、羰基或酯键。m、n分别独立地为1～10的整数，Y为特定的交联基团。）。与以往的倍半硅氧烷相比，本发明的硅氧烷化合物在低温下具有流动性，能够容易地成型。
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