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公开(公告)号：CN101687740A
公开(公告)日：2010-03-31
申请号：CN200880020858.7
申请日：2008-09-05
Applicant: 中央硝子株式会社
IPC: C07C29/147 , C07C31/34 , C07C303/00 , C07C309/08 , C07C309/10 , C07C309/12 , C07C381/12
CPC classification number: C07C309/17 , C07C29/147 , C07C67/08 , C07C67/14 , C07C303/32 , C07C309/08 , C07C309/12 , C07C313/04 , C07C381/12 , C07C2602/42 , C07C2603/74 , G03F7/0045 , G03F7/0046 , C07C31/34 , C07C69/653 , C07C69/63 , C07C69/753
Abstract: 本发明提供2-溴-2，2-二氟乙醇的制造方法，其包括通过作为还原剂的酸根型的氢络合物将式[1]所示的溴二氟醋酸衍生物进行还原的工序。其中，所述式[1]中，A表示取代或者非取代的碳原子数1～20的直链状、支链状或环状的烷氧基、取代或者非取代的碳原子数6～15的芳氧基或碳原子数4～15的杂芳氧基、或卤素。通过以该2-溴-2，2-二氟乙醇作为原料，依次进行酯化工序、亚磺化工序、氧化工序，可以得到2-烷基羰氧基-1，1-二氟乙烷磺酸盐类。
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公开(公告)号：CN101687781B
公开(公告)日：2015-08-12
申请号：CN200880012078.8
申请日：2008-02-14
Applicant: 中央硝子株式会社
IPC: C07C309/12 , C07C381/12 , C08F20/24 , G03F7/004 , G03F7/039 , G03F7/38 , H01L21/027
CPC classification number: C07C69/003 , C07C69/74 , C07C309/12 , C07C381/12 , C07C2603/74 , G03F7/0045 , G03F7/0046 , G03F7/0397
Abstract: 以下式(1)表示的磺酸鎓盐能够用作抗蚀剂组合物用优异的辐射线敏感性产酸剂。通过使用含该磺酸鎓盐的抗蚀剂组合物，能够形成良好的图案。在式(1)中，R1表示1价有机基团，Q+表示锍阳离子或碘鎓阳离子。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101687740B
公开(公告)日：2014-07-02
申请号：CN200880020858.7
申请日：2008-09-05
Applicant: 中央硝子株式会社
IPC: C07C29/147 , C07C31/34 , C07C303/00 , C07C309/08 , C07C309/10 , C07C309/12 , C07C381/12
CPC classification number: C07C309/17 , C07C29/147 , C07C67/08 , C07C67/14 , C07C303/32 , C07C309/08 , C07C309/12 , C07C313/04 , C07C381/12 , C07C2602/42 , C07C2603/74 , G03F7/0045 , G03F7/0046 , C07C31/34 , C07C69/653 , C07C69/63 , C07C69/753
Abstract: 本发明提供2-溴-2，2-二氟乙醇的制造方法，其包括通过作为还原剂的酸根型的氢络合物将式[1]所示的溴二氟醋酸衍生物进行还原的工序。其中，所述式[1]中，A表示取代或者非取代的碳原子数1～20的直链状、支链状或环状的烷氧基、取代或者非取代的碳原子数6～15的芳氧基或碳原子数4～15的杂芳氧基、或卤素。通过以该2-溴-2，2-二氟乙醇作为原料，依次进行酯化工序、亚磺化工序、氧化工序，可以得到2-烷基羰氧基-1，1-二氟乙烷磺酸盐类。
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公开(公告)号：CN101573396B
公开(公告)日：2013-01-16
申请号：CN200780047312.6
申请日：2007-11-13
Applicant: 中央硝子株式会社
IPC: C08G73/22 , C07C215/68
CPC classification number: C08G73/06 , C07C215/68 , C07C2603/24 , C07C2603/26 , C08G69/26 , C08G69/42 , C08G2650/48 , C08L79/04
Abstract: 由式(1)表示的氟化二胺。在该式中，R1表示稠合多环芳香烃基团，至少一个-C(CF3)2OH基团和至少一个-NH2基团分别键合至组成稠合多环芳香烃基团的碳原子中两个相邻碳原子上。源于此氟化二胺的聚合物的低介电特性和低吸水性优异且具有降低的热膨胀性和高的玻璃化转变温度。
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公开(公告)号：CN102449000A
公开(公告)日：2012-05-09
申请号：CN201080024220.8
申请日：2010-05-20
Applicant: 中央硝子株式会社
IPC: C08F20/22 , C07C69/653 , C07C69/732 , C08F12/14 , C08F16/12 , C08F32/08 , G03F7/039 , G03F7/11
CPC classification number: C07C69/653 , C07C69/675 , C07C69/732 , C07C2602/42 , C07C2603/68 , C08F220/24 , C08F220/30 , G03F7/0046 , G03F7/0397 , G03F7/11 , G03F7/2041
Abstract: 本发明的含氟高分子化合物是包含通式(2)所示的重复单元(a)的、质均分子量为1,000～1,000,000的树脂。该树脂可以适用于利用300nm以下波长的高能射线或电子束来形成图案的抗蚀剂组合物、和浸没式光刻中的顶涂层组合物，其特征在于拒水性、特别是后退接触角大。(式中，R1表示含有聚合性双键的基团，R2表示氟原子或含氟烷基，R8表示取代或非取代的烷基等，W1表示单键、非取代或取代的亚甲基等。)
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公开(公告)号：CN101687781A
公开(公告)日：2010-03-31
申请号：CN200880012078.8
申请日：2008-02-14
Applicant: 中央硝子株式会社
IPC: C07C309/12 , C07C381/12 , C08F20/24 , G03F7/004 , G03F7/039 , G03F7/38 , H01L21/027
CPC classification number: C07C69/003 , C07C69/74 , C07C309/12 , C07C381/12 , C07C2603/74 , G03F7/0045 , G03F7/0046 , G03F7/0397
Abstract: 以下式(1)表示的磺酸鎓盐能够用作抗蚀剂组合物用优异的辐射线敏感性产酸剂。通过使用含该磺酸鎓盐的抗蚀剂组合物，能够形成良好的图案。在式(1)中，R 1 表示1价有机基团，Q + 表示锍阳离子或碘鎓阳离子。
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公开(公告)号：CN101687741A
公开(公告)日：2010-03-31
申请号：CN200880024402.8
申请日：2008-09-05
Applicant: 中央硝子株式会社
IPC: C07C29/147 , C07C31/34 , C07C303/00 , C07C309/08 , C07C309/10 , C07C309/12 , C07C381/12
CPC classification number: C07C309/17 , C07C29/147 , C07C67/08 , C07C67/14 , C07C303/32 , C07C309/08 , C07C309/12 , C07C313/04 , C07C381/12 , C07C2602/42 , C07C2603/74 , G03F7/0045 , G03F7/0046 , C07C31/34 , C07C69/653 , C07C69/63 , C07C69/753
Abstract: 使用亚磺化剂对羧酸溴二氟乙基酯进行亚磺化时，通过使用有机碱，可以得到2-(烷基羰氧基)-1，1-二氟乙烷亚磺酸铵盐。将其氧化可以得到2-(烷基羰氧基)-1，1-二氟乙烷磺酸铵盐。通过以其为原料交换成鎓盐，或者经由皂化和酯化交换成鎓盐，可以得到2-(烷基羰氧基)-1，1-二氟乙烷磺酸鎓盐类。
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