Ⅲ-Ⅴ族氮化物半导体基板的制造方法

    公开(公告)号:CN101432850A

    公开(公告)日:2009-05-13

    申请号:CN200780008086.0

    申请日:2007-03-08

    Abstract: 本发明涉及III-V族氮化物半导体基板的制造方法。本发明的III-V族氮化物半导体基板的制造方法包括工序(I-1)~(I-6):(I-1)在衬底基板上配置无机粒子;(I-2)以无机粒子为蚀刻掩模,干法蚀刻衬底基板,在衬底基板上形成凸部;(I-3)在衬底基板上形成外延生长掩模用的被膜;(I-4)去除无机粒子形成衬底基板的露出面;(I-5)在衬底基板的露出面上生长III-V族氮化物半导体;(I-6)将III-V族氮化物半导体与衬底基板分离。此外,本发明的III-V族氮化物半导体基板的制造方法包括工序(II-1)~(II-7):(II-1)在衬底基板上配置无机粒子;(II-2)以无机粒子为蚀刻掩模,干法蚀刻衬底基板,在衬底基板上形成凸部;(II-3)去除无机粒子;(II-4)在衬底基板上形成外延生长掩模用的被膜;(II-5)去除凸部的顶部的被膜形成衬底基板的露出面;(II-6)在衬底基板的露出面上生长III-V族氮化物半导体;(II-7)将III-V族氮化物半导体与衬底基板分离。

    层叠基板的测定方法、层叠基板及测定装置

    公开(公告)号:CN107430065A

    公开(公告)日:2017-12-01

    申请号:CN201680019642.3

    申请日:2016-03-25

    Abstract: 本发明提供一种测定方法,所述方法对依次具有基底基板、吸收层及被测层的层叠基板进行测定,被测层具有单一或多层被测单层,所述方法具有下述步骤:通过从被测层所处的这侧照射包含波长短于界限波长的光的入射光、并测定反射光,从而取得界限波长以下的波长中的相互独立的2n(n为被测层中包含的被测单层的层数,为1以上的整数)个以上的反射光关联值的步骤,以及,使用2n个以上的反射光关联值,针对被测层中包含的各被测单层,计算与被测单层有关的值的步骤;作为界限波长,使用将吸收层的消光系数k以波长λ(单位为nm)的函数k(λ)的形式表示时的一次微分dk(λ)/dλ的绝对值成为消光微分界限值以下的波长范围内的最大波长。

    半导体基板以及半导体基板的检查方法

    公开(公告)号:CN107078034A

    公开(公告)日:2017-08-18

    申请号:CN201580059596.5

    申请日:2015-11-06

    Abstract: 本发明提供一种半导体基板,其中,在使用外延生长法在Si基板上形成III族氮化物半导体层的情况下,满足该III族氮化物半导体层要求的耐电压等特性,并且,在确保薄膜电阻等物性值的面内均匀性的同时翘曲量小。本发明提供一种半导体基板,其中,硅基板上的氮化物晶体层具有:反应抑制层,抑制硅原子与III族原子的反应;应力产生层,产生压缩应力;以及活性层,形成电子元件,反应抑制层、应力产生层以及活性层从硅基板侧起按反应抑制层、应力产生层、活性层的顺序配置,应力产生层具有:第1晶体层,块状晶体状态下的晶格常数为a1;以及第2晶体层,位于与所述第1晶体层的活性层侧相接的位置,且块状晶体状态下的晶格常数为a2(a1<a2)。

    有机EL装置
    17.
    发明公开

    公开(公告)号:CN102668708A

    公开(公告)日:2012-09-12

    申请号:CN201080042958.7

    申请日:2010-09-22

    CPC classification number: H01L51/5092 H01L27/3246 H01L51/5231 H01L51/524

    Abstract: 本发明提供有机EL装置。该有机EL装置具有:第1基板、在上述第1基板上配置的阳极、在上述阳极上配置的发光层、由绝缘材料形成并且划分上述发光层的隔壁、覆盖上述发光层并且在隔壁上延伸的阴极、和隔着密封构件在上述第1基板重叠的第2基板,上述阴极具有多层膜结构,该多层膜结构具有向上述发光层注入电子的电子注入层和至少一个导电层,上述电子注入层覆盖上述发光层,至少一个导电层覆盖上述电子注入层。

    有机薄膜晶体管基板及其制造方法、以及图像显示面板及其制造方法

    公开(公告)号:CN101647320B

    公开(公告)日:2012-12-12

    申请号:CN200880010127.4

    申请日:2008-03-25

    Inventor: 笠原健司

    Abstract: 本发明提供一种具有作为晶体管元件的有机薄膜晶体管的有机薄膜晶体管基板的制造方法,以提供可用更少工序形成堤坝的制造方法为目的。根据本发明的有机薄膜晶体管基板的制造方法,其中该有机薄膜晶体管基板在基板上的第1区域形成有机薄膜晶体管,具有与第1区域邻接并用于形成发光元件的第2区域,在第2区域的周缘部形成了堤坝部,该制造方法包括:第1工序,在基板上的第1区域形成有机薄膜晶体管,同时一直到第2区域都形成此有机薄膜晶体管所具有的栅绝缘层及有机半导体层中的至少一层,在第2区域上形成由形成在该区域上的叠层结构构成的堤坝前驱体层;以及第2工序,去除堤坝前驱体层中的周缘部以外的区域,形成由残存的堤坝前驱体层构成的堤坝部。

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