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公开(公告)号:CN109468583B
公开(公告)日:2020-03-06
申请号:CN201810694337.5
申请日:2018-06-29
Applicant: 凸版印刷株式会社
Abstract: 本发明提供能够提高通过蒸镀所形成的图案的精度的蒸镀掩模用基材、蒸镀掩模用基材的制造方法、蒸镀掩模的制造方法及显示装置的制造方法。用于形成蒸镀掩模的金属板的宽度方向的各位置上的沿着金属板的长度方向的形状具有在金属板的长度方向上反复的波浪,连接波浪中的一个谷至另一个谷的直线的长度为波浪的长度,所述波浪高度相对于波浪长度的百分率为单位陡峭度,长度方向上包含的全部波浪的单位陡峭度的平均值为陡峭度,金属板的宽度方向上的中央部RC的陡峭度的最大值为0.3%以下,金属板的宽度方向上的各端部RE的陡峭度的最大值为0.6%以下,金属板的宽度方向上的两端部RE中的至少一个端部的陡峭度的最大值比金属板的宽度方向的中央部RC的陡峭度的最大值小。
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公开(公告)号:CN110144547A
公开(公告)日:2019-08-20
申请号:CN201910237719.X
申请日:2017-04-14
Applicant: 凸版印刷株式会社
Abstract: 本发明涉及蒸镀掩模用基材、蒸镀掩模用基材的制造方法及蒸镀掩模的制造方法。金属板的表面上的长边方向的长度为表面距离(L),金属板的宽度方向(DW)的各位置处的表面距离(L)中的最小值为最小表面距离(Lm),金属板的宽度方向的各位置处的表面距离(L)与最小表面距离(Lm)之间的差分相对于最小表面距离(Lm)的比率为伸长差率,金属板的宽度方向(DW)的中央部的伸长差率为3×10-5以下,金属板的宽度方向(DW)的两个端部的伸长差率为15×10-5以下,金属板的宽度方向(DW)的两个端部中的至少一方的伸长差率小于金属板的宽度方向的中央部的伸长差率。
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公开(公告)号:CN107849682B
公开(公告)日:2019-04-19
申请号:CN201780002450.6
申请日:2017-04-14
Applicant: 凸版印刷株式会社
Abstract: 金属板的表面上的长边方向的长度为表面距离(L),金属板的宽度方向(DW)的各位置处的表面距离(L)中的最小值为最小表面距离(Lm),金属板的宽度方向的各位置处的表面距离(L)与最小表面距离(Lm)之间的差分相对于最小表面距离(Lm)的比率为伸长差率,金属板的宽度方向(DW)的中央部的伸长差率为3×10‑5以下,金属板的宽度方向(DW)的两个端部的伸长差率为15×10‑5以下,金属板的宽度方向(DW)的两个端部中的至少一方的伸长差率小于金属板的宽度方向的中央部的伸长差率。
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公开(公告)号:CN116926466A
公开(公告)日:2023-10-24
申请号:CN202310870828.1
申请日:2020-03-13
Applicant: 凸版印刷株式会社
Abstract: 本发明涉及一种蒸镀掩模中间体,具备:铁‑镍系合金制的多个掩模板,包括多个掩模孔,具有第1面以及第2面,该第2面是与上述第1面相反侧的面,用于与蒸镀对象接触;掩模框架,具有比上述掩模板高的刚性,且具有多个开口,该掩模框架以各掩模板覆盖1个上述开口的方式与上述掩模板的上述第1面接合;多个树脂层,各一个树脂层与上述掩模板的上述第2面接合;以及多个玻璃基板,各一个玻璃基板与各树脂层接合,在25℃以上100℃以下的温度范围内,各玻璃基板的线膨胀系数小于层叠于该玻璃基板的上述掩模板的线膨胀系数,且各玻璃基板的线膨胀系数与层叠于该玻璃基板的上述掩模板的线膨胀系数之差的绝对值为1.3×10‑6/℃以下。
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公开(公告)号:CN110144547B
公开(公告)日:2021-06-01
申请号:CN201910237719.X
申请日:2017-04-14
Applicant: 凸版印刷株式会社
Abstract: 本发明涉及蒸镀领域中使用的蒸镀掩模用基材、蒸镀掩模用基材的制造方法及蒸镀掩模的制造方法。金属板的表面上的长边方向的长度为表面距离(L),金属板的宽度方向(DW)的各位置处的表面距离(L)中的最小值为最小表面距离(Lm),金属板的宽度方向的各位置处的表面距离(L)与最小表面距离(Lm)之间的差分相对于最小表面距离(Lm)的比率为伸长差率,金属板的宽度方向(DW)的中央部的伸长差率为3×10‑5以下,金属板的宽度方向(DW)的两个端部的伸长差率为15×10‑5以下,金属板的宽度方向(DW)的两个端部中的至少一方的伸长差率小于金属板的宽度方向的中央部的伸长差率。
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公开(公告)号:CN111032902B
公开(公告)日:2021-03-02
申请号:CN201880050088.4
申请日:2018-09-13
Applicant: 凸版印刷株式会社
Abstract: 包括:在铁‑镍系合金制的金属板与玻璃基板之间夹持树脂层,经由树脂层将金属板接合于玻璃基板的工序;从金属板形成包含多个掩模孔的掩模部的工序;将掩模部中的与树脂层相接的面的相反侧的面接合于的掩模框架的工序,该的掩模框架与掩模部相比具有更高的刚性,且形成为将掩模部所包含的多个掩模孔包围的框状;以及从掩模部剥离树脂层及玻璃基板的工序。
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公开(公告)号:CN111032902A
公开(公告)日:2020-04-17
申请号:CN201880050088.4
申请日:2018-09-13
Applicant: 凸版印刷株式会社
Abstract: 包括:在铁-镍系合金制的金属板与玻璃基板之间夹持树脂层,经由树脂层将金属板接合于玻璃基板的工序;从金属板形成包含多个掩模孔的掩模部的工序;将掩模部中的与树脂层相接的面的相反侧的面接合于的掩模框架的工序,该的掩模框架与掩模部相比具有更高的刚性,且形成为将掩模部所包含的多个掩模孔包围的框状;以及从掩模部剥离树脂层及玻璃基板的工序。
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公开(公告)号:CN107849682A
公开(公告)日:2018-03-27
申请号:CN201780002450.6
申请日:2017-04-14
Applicant: 凸版印刷株式会社
CPC classification number: C23F1/02 , B21B1/38 , B21B2261/06 , C23C14/04 , C23C14/042 , C23C14/24 , C23F1/16 , C23F1/28 , H01L51/50
Abstract: 金属板的表面上的长边方向的长度为表面距离(L),金属板的宽度方向(DW)的各位置处的表面距离(L)中的最小值为最小表面距离(Lm),金属板的宽度方向的各位置处的表面距离(L)与最小表面距离(Lm)之间的差分相对于最小表面距离(Lm)的比率为伸长差率,金属板的宽度方向(DW)的中央部的伸长差率为3×10-5以下,金属板的宽度方向(DW)的两个端部的伸长差率为15×10-5以下,金属板的宽度方向(DW)的两个端部中的至少一方的伸长差率小于金属板的宽度方向的中央部的伸长差率。
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