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公开(公告)号：CN114930242A
公开(公告)日：2022-08-19
申请号：CN202180008270.5
申请日：2021-01-20
Applicant: 凸版印刷株式会社
Abstract: 具有：表面，其位于光的入射侧；背面，其是表面的相反侧的面；以及孔，其将表面与背面之间贯通。孔具有：第1孔部分；以及第2孔部分，其在中央开口处与第1孔部分连接。第1孔部分从背面的背面开口向中央开口延伸，具有从背面朝向表面而前端缩小的形状。第2孔部分从表面的表面开口向中央开口延伸，具有从表面朝向背面而前端缩小的形状。表面开口的大小大于背面开口的大小。中央开口的真圆度小于或等于3μm。
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公开(公告)号：CN107429380A
公开(公告)日：2017-12-01
申请号：CN201680013003.6
申请日：2016-06-29
Applicant: 凸版印刷株式会社
CPC classification number: B21B3/02 , B21B1/227 , B21B2261/04 , B32B15/015 , B32B15/04 , C23C14/042 , C23C16/042 , C23F1/28 , C23F1/40 , H01L51/0015
Abstract: 在具备表面以及与表面相反侧的面即背面的金属轧制片中，表面及背面的至少一方为处理对象。金属掩模用基材的制造方法为，通过用酸性蚀刻液将处理对象蚀刻3μm以上来使金属轧制片所具有的厚度变薄到10μm以下，并且，将处理对象粗糙化为具有0.2μm以上的表面粗糙度Rz的抗蚀剂用处理面，得到金属制的金属掩模用片。
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公开(公告)号：CN107406964A
公开(公告)日：2017-11-28
申请号：CN201680013004.0
申请日：2016-03-22
Applicant: 凸版印刷株式会社
CPC classification number: C23C14/042 , C23C14/024 , C23C14/028 , C23C14/085 , C23C14/12 , C23C14/225 , C23F1/02 , C23F1/14 , C23F1/44 , G01N21/55 , G03F7/0002 , H01L51/0011 , H01L51/5012 , H01L51/5271
Abstract: 本发明涉及金属掩模基材、金属掩模基材的管理方法、金属掩模以及金属掩模的制造方法。金属掩模基材具备构成为配置有抗蚀剂的金属制的表面，入射到表面的光的镜面反射的反射率为45.2％以上。
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公开(公告)号：CN117821896A
公开(公告)日：2024-04-05
申请号：CN202311802064.9
申请日：2016-07-15
Applicant: 凸版印刷株式会社
Abstract: 本发明提供能够将通过蒸镀形成的图案的构造上的精度的提高以及蒸镀用金属掩模的操作性的提高这两者兼顾的蒸镀用金属掩模以及蒸镀用金属掩模的制造方法。具备：掩模部(32)，具备用于与蒸镀对象接触的接触面以及与上述接触面相反侧的非接触面，形成为片形状，而且，该掩模部具有分别从位于上述接触面的第一开口贯通到位于上述非接触面的第二开口的多个掩模孔，上述第一开口的大小小于上述第二开口的大小；以及掩模框架(31)，具有比上述掩模部高的刚性，并且形成为将上述多个掩模孔包围的框状。上述掩模部(32)在上述非接触面中具有将上述多个掩模孔包围的部分，在该部分通过接合部与掩模框架接合。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN111286694B
公开(公告)日：2022-07-26
申请号：CN202010114853.3
申请日：2018-06-29
Applicant: 凸版印刷株式会社
Abstract: 本发明提供能够提高通过蒸镀所形成的图案的精度的蒸镀掩模用基材、蒸镀掩模用基材的制造方法、蒸镀掩模的制造方法及显示装置的制造方法。用于形成蒸镀掩模的金属板的宽度方向的各位置上的沿着金属板的长度方向的形状具有在金属板的长度方向上反复的波浪，连接波浪中的一个谷至另一个谷的直线的长度为波浪的长度，所述波浪高度相对于波浪长度的百分率为单位陡峭度，长度方向上包含的全部波浪的单位陡峭度的平均值为陡峭度，金属板的宽度方向上的中央部RC的陡峭度的最大值为0.3％以下，金属板的宽度方向上的各端部RE的陡峭度的最大值为0.6％以下，金属板的宽度方向上的两端部RE中的至少一个端部的陡峭度的最大值比金属板的宽度方向的中央部RC的陡峭度的最大值小。
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公开(公告)号：CN114144705A
公开(公告)日：2022-03-04
申请号：CN202080050797.X
申请日：2020-07-17
Applicant: 凸版印刷株式会社
Abstract: 具有：表面，其位于光的入射侧；背面，其是表面的相反侧的面；以及孔，其将表面与背面之间贯通。孔具有：第1孔部分；以及第2孔部分，其在中央开口与第1孔部分连接，第1孔部分从背面的背面开口延伸至中央开口，具有从背面朝向表面而前端缩细的形状。第2孔部分从表面的背面开口延伸至中央开口，具有从表面朝向背面而前端缩细的形状。表面开口的大小大于背面开口的大小。在沿着与表面正交的平面的剖面中，从中央开口的边缘和背面开口的边缘通过的直线和背面形成的角度大于90°。
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公开(公告)号：CN109440060A
公开(公告)日：2019-03-08
申请号：CN201811311762.8
申请日：2016-07-15
Applicant: 凸版印刷株式会社
Abstract: 蒸镀用金属掩模基材(10)包括具备表面以及与上述表面相反侧的面即背面的含镍金属片(11)，上述表面以及上述背面的至少一方为抗蚀剂层所位于的对象面，上述对象面的表面粗糙度Sa为0.019μm以下，并且，上述对象面的表面粗糙度Sz为0.308μm以下。
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公开(公告)号：CN114144705B
公开(公告)日：2024-11-08
申请号：CN202080050797.X
申请日：2020-07-17
Applicant: 凸版印刷株式会社
Abstract: 具有：表面，其位于光的入射侧；背面，其是表面的相反侧的面；以及孔，其将表面与背面之间贯通。孔具有：第1孔部分；以及第2孔部分，其在中央开口与第1孔部分连接，第1孔部分从背面的背面开口延伸至中央开口，具有从背面朝向表面而前端缩细的形状。第2孔部分从表面的表面开口延伸至中央开口，具有从表面朝向背面而前端缩细的形状。表面开口的大小大于背面开口的大小。在沿着与表面正交的平面的剖面中，从中央开口的边缘和背面开口的边缘通过的直线和背面形成的角度大于90°。
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