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公开(公告)号：CN117821896A
公开(公告)日：2024-04-05
申请号：CN202311802064.9
申请日：2016-07-15
Applicant: 凸版印刷株式会社
Abstract: 本发明提供能够将通过蒸镀形成的图案的构造上的精度的提高以及蒸镀用金属掩模的操作性的提高这两者兼顾的蒸镀用金属掩模以及蒸镀用金属掩模的制造方法。具备：掩模部(32)，具备用于与蒸镀对象接触的接触面以及与上述接触面相反侧的非接触面，形成为片形状，而且，该掩模部具有分别从位于上述接触面的第一开口贯通到位于上述非接触面的第二开口的多个掩模孔，上述第一开口的大小小于上述第二开口的大小；以及掩模框架(31)，具有比上述掩模部高的刚性，并且形成为将上述多个掩模孔包围的框状。上述掩模部(32)在上述非接触面中具有将上述多个掩模孔包围的部分，在该部分通过接合部与掩模框架接合。
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公开(公告)号：CN110997970A
公开(公告)日：2020-04-10
申请号：CN201880049314.7
申请日：2018-10-26
Applicant: 凸版印刷株式会社
Abstract: 一种作为使用电镀形成的金属箔的蒸镀掩模用基材。金属箔为铁镍类合金制。包含第一面和作为与第一面相反的一侧的面的第二面。第一面具有第一面中的镍的质量相对于铁的质量与镍的质量的合计的百分率即第一镍质量比(质量％)。第二面具有第二面中的镍的质量相对于铁的质量与镍的质量的合计的百分率即第二镍质量比(质量％)。第一镍质量比(质量％)和第二镍质量比(质量％)之差的绝对值为质量差(质量％)。质量差除以蒸镀掩模用基材的厚度(μm)而得的值为标准值。标准值为0.05(质量％/μm)以下。
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公开(公告)号：CN107429380A
公开(公告)日：2017-12-01
申请号：CN201680013003.6
申请日：2016-06-29
Applicant: 凸版印刷株式会社
CPC classification number: B21B3/02 , B21B1/227 , B21B2261/04 , B32B15/015 , B32B15/04 , C23C14/042 , C23C16/042 , C23F1/28 , C23F1/40 , H01L51/0015
Abstract: 在具备表面以及与表面相反侧的面即背面的金属轧制片中，表面及背面的至少一方为处理对象。金属掩模用基材的制造方法为，通过用酸性蚀刻液将处理对象蚀刻3μm以上来使金属轧制片所具有的厚度变薄到10μm以下，并且，将处理对象粗糙化为具有0.2μm以上的表面粗糙度Rz的抗蚀剂用处理面，得到金属制的金属掩模用片。
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公开(公告)号：CN110144547B
公开(公告)日：2021-06-01
申请号：CN201910237719.X
申请日：2017-04-14
Applicant: 凸版印刷株式会社
Abstract: 本发明涉及蒸镀领域中使用的蒸镀掩模用基材、蒸镀掩模用基材的制造方法及蒸镀掩模的制造方法。金属板的表面上的长边方向的长度为表面距离(L)，金属板的宽度方向(DW)的各位置处的表面距离(L)中的最小值为最小表面距离(Lm)，金属板的宽度方向的各位置处的表面距离(L)与最小表面距离(Lm)之间的差分相对于最小表面距离(Lm)的比率为伸长差率，金属板的宽度方向(DW)的中央部的伸长差率为3×10‑5以下，金属板的宽度方向(DW)的两个端部的伸长差率为15×10‑5以下，金属板的宽度方向(DW)的两个端部中的至少一方的伸长差率小于金属板的宽度方向的中央部的伸长差率。
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公开(公告)号：CN107849682A
公开(公告)日：2018-03-27
申请号：CN201780002450.6
申请日：2017-04-14
Applicant: 凸版印刷株式会社
CPC classification number: C23F1/02 , B21B1/38 , B21B2261/06 , C23C14/04 , C23C14/042 , C23C14/24 , C23F1/16 , C23F1/28 , H01L51/50
Abstract: 金属板的表面上的长边方向的长度为表面距离(L)，金属板的宽度方向(DW)的各位置处的表面距离(L)中的最小值为最小表面距离(Lm)，金属板的宽度方向的各位置处的表面距离(L)与最小表面距离(Lm)之间的差分相对于最小表面距离(Lm)的比率为伸长差率，金属板的宽度方向(DW)的中央部的伸长差率为3×10-5以下，金属板的宽度方向(DW)的两个端部的伸长差率为15×10-5以下，金属板的宽度方向(DW)的两个端部中的至少一方的伸长差率小于金属板的宽度方向的中央部的伸长差率。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN110117767A
公开(公告)日：2019-08-13
申请号：CN201910317040.1
申请日：2016-06-29
Applicant: 凸版印刷株式会社
Abstract: 在具备表面以及与表面相反侧的面即背面的金属轧制片中，表面及背面的至少一方为处理对象。金属掩模用基材的制造方法为，通过用酸性蚀刻液将处理对象蚀刻3μm以上来使金属轧制片所具有的厚度变薄到10μm以下，并且，将处理对象粗糙化为具有0.2μm以上的表面粗糙度Rz的抗蚀剂用处理面，得到金属制的金属掩模用片。
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公开(公告)号：CN113403574A
公开(公告)日：2021-09-17
申请号：CN202110664955.7
申请日：2016-06-29
Applicant: 凸版印刷株式会社
Abstract: 本发明涉及金属掩模用基材的制造方法、蒸镀用金属掩模的制造方法、金属掩模用基材及蒸镀用金属掩模。在具备表面以及与表面相反侧的面即背面的金属轧制片中，表面及背面的至少一方为处理对象。金属掩模用基材的制造方法为，通过用酸性蚀刻液将处理对象蚀刻3μm以上来使金属轧制片所具有的厚度变薄到10μm以下，并且，将处理对象粗糙化为具有0.2μm以上的表面粗糙度Rz的抗蚀剂用处理面，得到金属制的金属掩模用片。
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公开(公告)号：CN110144547A
公开(公告)日：2019-08-20
申请号：CN201910237719.X
申请日：2017-04-14
Applicant: 凸版印刷株式会社
Abstract: 本发明涉及蒸镀掩模用基材、蒸镀掩模用基材的制造方法及蒸镀掩模的制造方法。金属板的表面上的长边方向的长度为表面距离(L)，金属板的宽度方向(DW)的各位置处的表面距离(L)中的最小值为最小表面距离(Lm)，金属板的宽度方向的各位置处的表面距离(L)与最小表面距离(Lm)之间的差分相对于最小表面距离(Lm)的比率为伸长差率，金属板的宽度方向(DW)的中央部的伸长差率为3×10-5以下，金属板的宽度方向(DW)的两个端部的伸长差率为15×10-5以下，金属板的宽度方向(DW)的两个端部中的至少一方的伸长差率小于金属板的宽度方向的中央部的伸长差率。
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公开(公告)号：CN107849682B
公开(公告)日：2019-04-19
申请号：CN201780002450.6
申请日：2017-04-14
Applicant: 凸版印刷株式会社
Abstract: 金属板的表面上的长边方向的长度为表面距离(L)，金属板的宽度方向(DW)的各位置处的表面距离(L)中的最小值为最小表面距离(Lm)，金属板的宽度方向的各位置处的表面距离(L)与最小表面距离(Lm)之间的差分相对于最小表面距离(Lm)的比率为伸长差率，金属板的宽度方向(DW)的中央部的伸长差率为3×10‑5以下，金属板的宽度方向(DW)的两个端部的伸长差率为15×10‑5以下，金属板的宽度方向(DW)的两个端部中的至少一方的伸长差率小于金属板的宽度方向的中央部的伸长差率。
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公开(公告)号：CN106350768A
公开(公告)日：2017-01-25
申请号：CN201610561108.7
申请日：2016-07-15
Applicant: 凸版印刷株式会社
CPC classification number: C23C14/042 , C23C14/24
Abstract: 本发明提供能够将通过蒸镀形成的图案的构造上的精度的提高以及蒸镀用金属掩模的操作性的提高这两者兼顾的蒸镀用金属掩模以及蒸镀用金属掩模的制造方法。具备：掩模部(32)，具备用于与蒸镀对象接触的接触面以及与上述接触面相反侧的非接触面，形成为片形状，而且，该掩模部具有分别从位于上述接触面的第一开口贯通到位于上述非接触面的第二开口的多个掩模孔，上述第一开口的大小小于上述第二开口的大小；以及掩模框架(31)，具有比上述掩模部高的刚性，并且形成为将上述多个掩模孔包围的框状。上述掩模部(32)在上述非接触面中具有将上述多个掩模孔包围的部分，在该部分通过接合部与掩模框架接合。
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