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公开(公告)号：CN112981319A
公开(公告)日：2021-06-18
申请号：CN202110185064.3
申请日：2018-09-13
Applicant: 凸版印刷株式会社
Abstract: 本发明涉及蒸镀掩模、带玻璃基板的蒸镀掩模及带玻璃基板的掩模片材。蒸镀掩模具备：掩模部，由铁‑镍系合金形成，具备与蒸镀对象接触的接触面以及接触面的相反侧的非接触面，形成为片状，并且具有从位于非接触面的第一开口贯通至位于接触面的第二开口的多个掩模孔，第二开口的大小与第一开口的大小相比较小；及掩模框架，具备与非接触面焊接的焊接痕，并且与掩模部相比具有更高的刚性，形成为将多个掩模孔包围的框状，焊接痕是利用激光光线对掩模框架与掩模部进行焊接而形成的，该激光光线经过与掩模部的接触面接合的树脂层以及经由树脂层而与掩模部接合的玻璃基板对掩模部之中的与掩模框架相接的部分进行照射。
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公开(公告)号：CN107429380A
公开(公告)日：2017-12-01
申请号：CN201680013003.6
申请日：2016-06-29
Applicant: 凸版印刷株式会社
CPC classification number: B21B3/02 , B21B1/227 , B21B2261/04 , B32B15/015 , B32B15/04 , C23C14/042 , C23C16/042 , C23F1/28 , C23F1/40 , H01L51/0015
Abstract: 在具备表面以及与表面相反侧的面即背面的金属轧制片中，表面及背面的至少一方为处理对象。金属掩模用基材的制造方法为，通过用酸性蚀刻液将处理对象蚀刻3μm以上来使金属轧制片所具有的厚度变薄到10μm以下，并且，将处理对象粗糙化为具有0.2μm以上的表面粗糙度Rz的抗蚀剂用处理面，得到金属制的金属掩模用片。
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公开(公告)号：CN111286694B
公开(公告)日：2022-07-26
申请号：CN202010114853.3
申请日：2018-06-29
Applicant: 凸版印刷株式会社
Abstract: 本发明提供能够提高通过蒸镀所形成的图案的精度的蒸镀掩模用基材、蒸镀掩模用基材的制造方法、蒸镀掩模的制造方法及显示装置的制造方法。用于形成蒸镀掩模的金属板的宽度方向的各位置上的沿着金属板的长度方向的形状具有在金属板的长度方向上反复的波浪，连接波浪中的一个谷至另一个谷的直线的长度为波浪的长度，所述波浪高度相对于波浪长度的百分率为单位陡峭度，长度方向上包含的全部波浪的单位陡峭度的平均值为陡峭度，金属板的宽度方向上的中央部RC的陡峭度的最大值为0.3％以下，金属板的宽度方向上的各端部RE的陡峭度的最大值为0.6％以下，金属板的宽度方向上的两端部RE中的至少一个端部的陡峭度的最大值比金属板的宽度方向的中央部RC的陡峭度的最大值小。
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公开(公告)号：CN113574200A
公开(公告)日：2021-10-29
申请号：CN202080021375.X
申请日：2020-03-13
Applicant: 凸版印刷株式会社
Abstract: 蒸镀掩模的制造方法包括：准备金属板以及玻璃基板的工序，在25℃以上100℃以下的温度范围内，玻璃基板的线膨胀系数与金属板的线膨胀系数之差的绝对值为1.3×10‑6/℃以下；经由树脂层将玻璃基板与金属板接合的工序；通过在与玻璃基板接合后的金属板形成多个掩模孔而从金属板形成掩模板的工序；将掩模板中的与树脂层所接触的面相反侧的面与掩模框架接合的工序，该掩模框架具有比掩模板高的刚性，且具有将多个掩模孔的整体包围的形状；以及从与掩模框架接合后的掩模板取下树脂层以及玻璃基板的工序。
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公开(公告)号：CN112981319B
公开(公告)日：2022-12-20
申请号：CN202110185064.3
申请日：2018-09-13
Applicant: 凸版印刷株式会社
Abstract: 本发明涉及蒸镀掩模、带玻璃基板的蒸镀掩模及带玻璃基板的掩模片材。蒸镀掩模具备：掩模部，由铁‑镍系合金形成，具备与蒸镀对象接触的接触面以及接触面的相反侧的非接触面，形成为片状，并且具有从位于非接触面的第一开口贯通至位于接触面的第二开口的多个掩模孔，第二开口的大小与第一开口的大小相比较小；及掩模框架，具备与非接触面焊接的焊接痕，并且与掩模部相比具有更高的刚性，形成为将多个掩模孔包围的框状，焊接痕是利用激光光线对掩模框架与掩模部进行焊接而形成的，该激光光线经过与掩模部的接触面接合的树脂层以及经由树脂层而与掩模部接合的玻璃基板对掩模部之中的与掩模框架相接的部分进行照射。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN113403574A
公开(公告)日：2021-09-17
申请号：CN202110664955.7
申请日：2016-06-29
Applicant: 凸版印刷株式会社
Abstract: 本发明涉及金属掩模用基材的制造方法、蒸镀用金属掩模的制造方法、金属掩模用基材及蒸镀用金属掩模。在具备表面以及与表面相反侧的面即背面的金属轧制片中，表面及背面的至少一方为处理对象。金属掩模用基材的制造方法为，通过用酸性蚀刻液将处理对象蚀刻3μm以上来使金属轧制片所具有的厚度变薄到10μm以下，并且，将处理对象粗糙化为具有0.2μm以上的表面粗糙度Rz的抗蚀剂用处理面，得到金属制的金属掩模用片。
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公开(公告)号：CN111286694A
公开(公告)日：2020-06-16
申请号：CN202010114853.3
申请日：2018-06-29
Applicant: 凸版印刷株式会社
Abstract: 本发明提供能够提高通过蒸镀所形成的图案的精度的蒸镀掩模用基材、蒸镀掩模用基材的制造方法、蒸镀掩模的制造方法及显示装置的制造方法。用于形成蒸镀掩模的金属板的宽度方向的各位置上的沿着金属板的长度方向的形状具有在金属板的长度方向上反复的波浪，连接波浪中的一个谷至另一个谷的直线的长度为波浪的长度，所述波浪高度相对于波浪长度的百分率为单位陡峭度，长度方向上包含的全部波浪的单位陡峭度的平均值为陡峭度，金属板的宽度方向上的中央部RC的陡峭度的最大值为0.3％以下，金属板的宽度方向上的各端部RE的陡峭度的最大值为0.6％以下，金属板的宽度方向上的两端部RE中的至少一个端部的陡峭度的最大值比金属板的宽度方向的中央部RC的陡峭度的最大值小。
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公开(公告)号：CN109468583B
公开(公告)日：2020-03-06
申请号：CN201810694337.5
申请日：2018-06-29
Applicant: 凸版印刷株式会社
Abstract: 本发明提供能够提高通过蒸镀所形成的图案的精度的蒸镀掩模用基材、蒸镀掩模用基材的制造方法、蒸镀掩模的制造方法及显示装置的制造方法。用于形成蒸镀掩模的金属板的宽度方向的各位置上的沿着金属板的长度方向的形状具有在金属板的长度方向上反复的波浪，连接波浪中的一个谷至另一个谷的直线的长度为波浪的长度，所述波浪高度相对于波浪长度的百分率为单位陡峭度，长度方向上包含的全部波浪的单位陡峭度的平均值为陡峭度，金属板的宽度方向上的中央部RC的陡峭度的最大值为0.3％以下，金属板的宽度方向上的各端部RE的陡峭度的最大值为0.6％以下，金属板的宽度方向上的两端部RE中的至少一个端部的陡峭度的最大值比金属板的宽度方向的中央部RC的陡峭度的最大值小。
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公开(公告)号：CN110144547A
公开(公告)日：2019-08-20
申请号：CN201910237719.X
申请日：2017-04-14
Applicant: 凸版印刷株式会社
Abstract: 本发明涉及蒸镀掩模用基材、蒸镀掩模用基材的制造方法及蒸镀掩模的制造方法。金属板的表面上的长边方向的长度为表面距离(L)，金属板的宽度方向(DW)的各位置处的表面距离(L)中的最小值为最小表面距离(Lm)，金属板的宽度方向的各位置处的表面距离(L)与最小表面距离(Lm)之间的差分相对于最小表面距离(Lm)的比率为伸长差率，金属板的宽度方向(DW)的中央部的伸长差率为3×10-5以下，金属板的宽度方向(DW)的两个端部的伸长差率为15×10-5以下，金属板的宽度方向(DW)的两个端部中的至少一方的伸长差率小于金属板的宽度方向的中央部的伸长差率。
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公开(公告)号：CN107849682B
公开(公告)日：2019-04-19
申请号：CN201780002450.6
申请日：2017-04-14
Applicant: 凸版印刷株式会社
Abstract: 金属板的表面上的长边方向的长度为表面距离(L)，金属板的宽度方向(DW)的各位置处的表面距离(L)中的最小值为最小表面距离(Lm)，金属板的宽度方向的各位置处的表面距离(L)与最小表面距离(Lm)之间的差分相对于最小表面距离(Lm)的比率为伸长差率，金属板的宽度方向(DW)的中央部的伸长差率为3×10‑5以下，金属板的宽度方向(DW)的两个端部的伸长差率为15×10‑5以下，金属板的宽度方向(DW)的两个端部中的至少一方的伸长差率小于金属板的宽度方向的中央部的伸长差率。
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