-
公开(公告)号：CN104614362A
公开(公告)日：2015-05-13
申请号：CN201510033961.7
申请日：2015-01-22
Applicant: 华中科技大学 , 武汉四方光电科技有限公司
IPC: G01N21/65
Abstract: 本发明公开了一种自由空间气体拉曼散射收集装置，尤其适用于微量气体成分检测。本发明装置包括旋转抛物面反射镜和平面反射镜；旋转抛物面反射镜为抛光的高反射镜面，平面反射镜的反射面与抛物面反射镜中心轴线垂直，且旋转抛物面反射镜和平面反射镜构成作为样品池的封闭区间，在抛物面反射镜的抛物曲线顶点设有用于对样品池内被测气体进行快速更换的进气口，平面反射镜上设有用于实现探测激光的入射和散射光的收集的窗口。本发明装置结构简单，光路调整方便，可以有效地收集样品池内产生的拉曼散射信号，提高拉曼散射装置探测的灵敏度，并且本发明可以增强气体拉曼散射收集能力，降低背景噪声，方便操作，能够在工业现场和户外使用。
-
公开(公告)号：CN103075365B
公开(公告)日：2015-03-04
申请号：CN201310027684.X
申请日：2013-01-24
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明一种用于横流放电激光器的风轮及装配方法。风轮包括扇叶、法兰、弹性薄钢片；首先将法兰套于单片扇叶外；再将扇叶由内插入到法兰的扇叶槽内，法兰对准凹槽的中心位置；依次将所有扇叶插入；再将弹性薄钢片首尾相交叠弯成圆周状放入法兰内，将条形槽的间距对准扇叶的凹槽，同时条形槽对准法兰的两个扇叶槽之间的突出位置，依靠弹性薄钢片自身的弹性抵住扇叶，依次在每个法兰的位置装配弹性薄钢片。本发明装配的风轮在使用过程中，扇叶、法兰、弹性薄钢片任何一个部件出现磨损及其他问题，均可方便的进行拆卸，更换部件后继续使用，极大的延长了风轮的使用寿命。
-
公开(公告)号：CN103048889A
公开(公告)日：2013-04-17
申请号：CN201210551511.3
申请日：2012-12-18
Applicant: 华中科技大学
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明公开了一种基于圆偏振激光驱动的极紫外光刻光源产生系统，包括CO2激光器、偏振转换组件、激光放大器以及极紫外光产生与收集装置，其中：所述CO2激光器用于产生线偏振的主振激光束，所述偏振转换组件用于将主振激光束转换为圆偏振激光，该圆偏振激光经由激光放大器功率放大后，输出至极紫外光产生与收集装置；所述极紫外光产生与收集装置用于将来自所述功率放大器的激光聚焦照射至Sn靶材处以激发等离子体，并对该等离子体所产生的极紫外辐射予以收集。通过本发明，能够在相对较低的激光功率和脉宽水平下，也能以较高的转换效率来获得极紫外光，而无需构建复杂的主振放大系统，由此能够以低成本、便于操控的方式来获得光刻用极紫外光源。
-
公开(公告)号：CN103036146A
公开(公告)日：2013-04-10
申请号：CN201210493440.6
申请日：2012-11-28
Applicant: 华中科技大学
IPC: H01S5/042
Abstract: 一种准分子激光器脉冲电源，属于脉冲功率技术，解决现有脉冲电源中高压磁开关需要较复杂复位电路的问题，以简化电路结构，提高可靠性。本发明包括IGBT开关管、开关管驱动电路、一级磁开关、直流偏置电流源、可饱和脉冲变压器和二级磁开关。本发明在一级磁开关压缩电路设置直流偏置电流源，可控制调节初级储能电路能量转移效率、脉冲压缩宽度以及脉冲延时；利用可饱和脉冲变压器次级绕组和二级磁开关两端充放电电压方向相反的特殊性，省去了磁芯复位电路，两级磁开关均可在长期高重复率条件下工作，具有较强的通流能力和较高的耐压承受等级，故障率极低且基本免维护；特别适用于要求精准延时控制的光刻用短脉冲放电激励的气体激光器。
-
公开(公告)号：CN103001108A
公开(公告)日：2013-03-27
申请号：CN201210513358.5
申请日：2012-12-03
Applicant: 华中科技大学
IPC: H01S3/08
Abstract: 本发明公开了一种准分子激光再生放大器，包括依次位于同一光路上的第一反射镜、第一波片、耦合镜、放大腔、第二波片和第二反射镜；第一、第二波片均为四分之一波片，第一、第二反射镜为全反镜，且其反射面均朝向放大腔，耦合镜与放大腔的光轴之间的夹角等于耦合镜的布鲁斯角的余角。本发明通过在放大器内放置波片使输入光与输出光尽管位于耦合镜两侧，方向相同，但两者被很好地隔离，利于消除再生放大腔对主振荡器的影响，并且结构简单，便于调整，能够充分提取放大腔中的能量。
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102263361B
公开(公告)日：2012-08-15
申请号：CN201110169364.9
申请日：2011-06-22
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明公开了一种激光反射腔镜组件，包括反射镜、前夹持器和后夹持器；反射镜的底座部分相对镜体部分径向突出1-20mm，形成凸台，后夹持器上开有凹槽，反射镜的底座部分置于该凹槽内，前夹持器上开有台阶通孔，反射镜穿过该台阶通孔，且台阶通孔上的台阶与反射镜的凸台抵接，前夹持器和后夹持器通过螺钉连接，使反射镜的凸台被夹紧，前夹持器的台阶通孔与反射镜镜体部分的侧面之间留有径向间隙。它使反射腔镜为凸台结构，夹持器夹持镜子的凸台，从而在与镜子实施刚性夹持的基础上实现镜面的自由伸展。本发明克服了目前激光发射腔镜存在的镜面受约束或者夹持无力的困难，同时能很好解决密封问题。本发明结构简单、操作方便，还可适应于异形镜。
-
公开(公告)号：CN106129792B
公开(公告)日：2018-05-22
申请号：CN201610559077.1
申请日：2016-07-15
Applicant: 华中科技大学
IPC: H01S3/091
CPC classification number: H01S3/091
Abstract: 本发明公开了一种亚稳态气体激光的共振增强横向光泵浦装置及方法。通过共振增强技术，可增大对泵浦光的吸收从而提高光光效率和整个系统的电光效率。通过将泵浦激光和出射激光分离，可克服使用偏振器件带来的激光提取功率的下降和相应的插入损耗，避免了双色镜的使用，降低了对单个泵浦激光模块的功率和光束质量的要求。该泵浦方案还可扩展至多路横向泵浦的本征激励及种子注入式的主振荡功率放大器(Master Oscillator Power Amplifier，MOPA)结构，有利于推动光泵浦亚稳态气体激光实现更高功率的激光输出及其在激光诱导等离子体等领域的应用。此外，共振增强的横向泵浦方法也适用于光泵浦氧碘激光器等其他光泵浦气体激光器。
-
公开(公告)号：CN104614362B
公开(公告)日：2017-05-10
申请号：CN201510033961.7
申请日：2015-01-22
Applicant: 华中科技大学 , 武汉四方光电科技有限公司
IPC: G01N21/65
Abstract: 本发明公开了一种自由空间气体拉曼散射收集装置，尤其适用于微量气体成分检测。本发明装置包括旋转抛物面反射镜和平面反射镜；旋转抛物面反射镜为抛光的高反射镜面，平面反射镜的反射面与抛物面反射镜中心轴线垂直，且旋转抛物面反射镜和平面反射镜构成作为样品池的封闭区间，在抛物面反射镜的抛物曲线顶点设有用于对样品池内被测气体进行快速更换的进气口，平面反射镜上设有用于实现探测激光的入射和散射光的收集的窗口。本发明装置结构简单，光路调整方便，可以有效地收集样品池内产生的拉曼散射信号，提高拉曼散射装置探测的灵敏度，并且本发明可以增强气体拉曼散射收集能力，降低背景噪声，方便操作，能够在工业现场和户外使用。
-
公开(公告)号：CN106129792A
公开(公告)日：2016-11-16
申请号：CN201610559077.1
申请日：2016-07-15
Applicant: 华中科技大学
IPC: H01S3/091
CPC classification number: H01S3/091
Abstract: 本发明公开了一种亚稳态气体激光的共振增强横向光泵浦装置及方法。通过共振增强技术，可增大对泵浦光的吸收从而提高光光效率和整个系统的电光效率。通过将泵浦激光和出射激光分离，可克服使用偏振器件带来的激光提取功率的下降和相应的插入损耗，避免了双色镜的使用，降低了对单个泵浦激光模块的功率和光束质量的要求。该泵浦方案还可扩展至多路横向泵浦的本征激励及种子注入式的主振荡功率放大器(Master Oscillator Power Amplifier，MOPA)结构，有利于推动光泵浦亚稳态气体激光实现更高功率的激光输出及其在激光诱导等离子体等领域的应用。此外，共振增强的横向泵浦方法也适用于光泵浦氧碘激光器等其他光泵浦气体激光器。
-
公开(公告)号：CN103068136B
公开(公告)日：2015-08-19
申请号：CN201210533905.6
申请日：2012-12-11
Applicant: 华中科技大学
IPC: H05H1/00
Abstract: 本发明公开了一种放电等离子体电子密度测量装置及方法。装置包括探测光源、二象限探测器和信号处理器。将探测光源与二象限探测器分别放置在两个旋转平移台上，分置于放电装置的两端，使探测光源的激光对准二象限探测器的中心；重复多次将探测光源与二象限探测器在同一个维度上移动相同的距离，记录放电时不同位置二象限探测器两个光敏面的响应幅值比；再由信号处理器根据两个光敏面的响应幅值比计算出该维度上放电等离子体电子密度分布。本发明克服了传统测量装置系统结构复杂、设备昂贵的缺点，同时能够有效的提高测量精度，并且对放电等离子体不造成干扰，得到放电等离子体电子密度的空间分布。
-
-
-
-
-
-
-
-
-
Search Results
93
records
(took 0.035 seconds)
