垂直腔面发射激光器阵列及其制造方法

    公开(公告)号:CN106505410B

    公开(公告)日:2020-05-15

    申请号:CN201610791440.2

    申请日:2016-08-31

    Abstract: 本发明公开了一种垂直腔面发射激光器阵列及其制造方法,该垂直腔面发射激光器阵列包括:形成在基板上的接触层;形成在所述接触层上的台面结构,每个台面结构包括第一导电型的第一半导体多层反射镜、在所述第一半导体多层反射镜上的有源区、以及在所述有源区上的第二导电型的第二半导体多层反射镜;形成在所述台面结构周围的接触层上的第一金属层,所述第一金属层的一部分作为第一导电型的电极焊盘;形成在所述第一金属层上的绝缘膜;以及形成在绝缘膜上的第二金属层,所述第二金属层的一部分作为第二导电型的电极焊盘。所述台面结构并联电连接。

    面发光型半导体激光器和面发光型半导体激光器阵列

    公开(公告)号:CN105914581B

    公开(公告)日:2018-10-12

    申请号:CN201510648476.0

    申请日:2015-10-09

    Abstract: 本发明涉及面发光型半导体激光器和面发光型半导体激光器阵列。面发光型半导体激光器包括:基板;第一半导体多层膜反射器,其叠置在基板上;活性区域,其叠置在第一半导体多层膜反射器上或者叠置在第一半导体多层膜反射器上方;第二半导体多层膜反射器,其叠置在活性层上或者叠置在活性层上方;腔室延伸区域,其介于第一半导体多层膜反射器与活性区域之间或者介于第二半导体多层膜反射器与活性区域之间;以及载流子块层,其介于腔室延伸区域与活性区域之间。载流子块层包括第一载流子块层和第二载流子块层。

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