公开(公告)号：CN105829851A

公开(公告)日：2016-08-03

申请号：CN201580003171.2

申请日：2015-01-26

Applicant: 日立汽车系统株式会社

Inventor： 下川英惠 ,  太田裕之 ,  风间敦 ,  秦昌平 ,  山口拓人 ,  相马敦郎 ,  芦田喜章 ,  小野塚准二 ,  宫岛健太郎 ,  日尾真之

IPC: G01L9/00 ,  H01L29/84

CPC classification number: G01L9/0048 ,  G01L19/04 ,  G01L19/147 ,  H01L2224/48091 ,  H01L2224/49171 ,  H01L2224/73265 ,  H01L2924/00014

Abstract: 力学量测量装置，其具备：传感器片，其具有形成于半导体基板的一面的应变检测部和与应变检测部连接的多个电极；茎部，其具有从邻接的周缘部突出的台座，并且台座的上表面通过由金属材料或玻璃材料形成的接合件与传感器片的下表面接合；引出配线部，其具备与多个电极电连接的多个配线；以及固定部，其固定茎部，茎部与固定部通过一体成形、金属接合或机械结合而被固定。

公开(公告)号：CN105765360A

公开(公告)日：2016-07-13

申请号：CN201480063526.2

申请日：2014-11-12

Applicant: 日立汽车系统株式会社

Inventor： 风间敦 ,  小野塚准二 ,  小贯洋 ,  飞田美帆 ,  日尾真之

IPC: G01L9/00

CPC classification number: G01L9/0055 ,  G01L9/0044 ,  G01L19/0038 ,  G01L19/0084 ,  G01L19/04

Abstract: 在膜片上形成有应变片的压力传感器中，要抑制应变片的位置偏移所致的传感器特性的变化，并且抑制因温度变化所致的传感器输出的变化。上述压力传感器在具有长边和短边的膜片上配置形成有构成电桥电路的特性相等的四个应变片的传感器芯片，由电桥电路检测与施加于膜片的压力成比例的电压输出，四个应变片中两个沿着短边，另外两个沿着长边，靠近膜片的中央附近配置，从传感器芯片看，在长边方向上具有膜片的厚度较薄的部分。

公开(公告)号：CN102607654B

公开(公告)日：2015-08-26

申请号：CN201210070977.1

申请日：2010-02-10

Applicant: 日立汽车系统株式会社

Inventor： 森野毅 ,  冈本裕树 ,  所山太二 ,  日尾真之

IPC: G01F1/684

CPC classification number: G01F1/6842

Abstract: 本发明提供一种热式流量测定装置，其具有弯曲的副通路且厚度方向尺寸小。在分离壁两侧形成第一副通路部(10A)和第二副通路部(10B)，在如下范围构成第三副通路部(10C)的直线通路部：与流动于该直线通路部的流体流动方向垂直的横截面，在与分离第一副通路部的层和第二副通路部的层的分离壁的壁面垂直的方向上相对于该分离壁跨两侧；连通第一副通路部和第三副通路部的第一连通通路部(10AC)描绘曲线而改变方向，由倾斜面连接由分离壁构成的第一副通路部的通路壁面和相对于分离壁位于第二副通路侧的第三副通路部的侧壁，在连通第二副通路部和第三副通路部的第二连通通路部(10BC)上具有贯通分离壁的贯通路(10C2)。