公开(公告)号：CN105829851A

公开(公告)日：2016-08-03

申请号：CN201580003171.2

申请日：2015-01-26

Applicant: 日立汽车系统株式会社

Inventor： 下川英惠 ,  太田裕之 ,  风间敦 ,  秦昌平 ,  山口拓人 ,  相马敦郎 ,  芦田喜章 ,  小野塚准二 ,  宫岛健太郎 ,  日尾真之

IPC: G01L9/00 ,  H01L29/84

CPC classification number: G01L9/0048 ,  G01L19/04 ,  G01L19/147 ,  H01L2224/48091 ,  H01L2224/49171 ,  H01L2224/73265 ,  H01L2924/00014

Abstract: 力学量测量装置，其具备：传感器片，其具有形成于半导体基板的一面的应变检测部和与应变检测部连接的多个电极；茎部，其具有从邻接的周缘部突出的台座，并且台座的上表面通过由金属材料或玻璃材料形成的接合件与传感器片的下表面接合；引出配线部，其具备与多个电极电连接的多个配线；以及固定部，其固定茎部，茎部与固定部通过一体成形、金属接合或机械结合而被固定。

公开(公告)号：CN105829851B

公开(公告)日：2018-06-15

申请号：CN201580003171.2

申请日：2015-01-26

Applicant: 日立汽车系统株式会社

Inventor： 下川英惠 ,  太田裕之 ,  风间敦 ,  秦昌平 ,  山口拓人 ,  相马敦郎 ,  芦田喜章 ,  小野塚准二 ,  宫岛健太郎 ,  日尾真之

IPC: G01L9/00 ,  H01L29/84

CPC classification number: G01L9/0048 ,  G01L19/04 ,  G01L19/147 ,  H01L2224/48091 ,  H01L2224/49171 ,  H01L2224/73265 ,  H01L2924/00014

Abstract: 力学量测量装置，其具备：传感器片，其具有形成于半导体基板的一面的应变检测部和与应变检测部连接的多个电极；茎部，其具有从邻接的周缘部突出的台座，并且台座的上表面通过由金属材料或玻璃材料形成的接合件与传感器片的下表面接合；引出配线部，其具备与多个电极电连接的多个配线；以及固定部，其固定茎部，茎部与固定部通过一体成形、金属接合或机械结合而被固定。