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公开(公告)号：CN1480972A
公开(公告)日：2004-03-10
申请号：CN03152235.1
申请日：2003-07-30
Applicant: 松下电器产业株式会社
IPC: H01H59/00
CPC classification number: H01G5/18 , Y10T29/435
Abstract: 本发明的可变电容元件由具有柔性的梁、以及为了在与梁之间形成电容而与梁接近设置的电极构成，在梁与电极之间加上电压，利用静电力使梁挠曲，使两者之间的电容量变化。使挠曲的梁与电极隔着至少在一方的表面上形成的绝缘层接触，通过使接触面积变化，而使电容量变化。另外，将电极分成多个电极，在1个电极形成凹下部分，使其比其它电极表面的高度要低，在梁与凹部对应的电极之间加上电压，将梁吸入凹下部分内，通过这样能够消除摩擦。
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公开(公告)号：CN102439844B
公开(公告)日：2015-02-11
申请号：CN201180001810.3
申请日：2011-03-03
Applicant: 松下电器产业株式会社
Abstract: 本发明提供一种MEMS振荡器，包括：振荡部，该振荡部具备包括MEMS谐振器和放大器的反馈型振荡电路、和自动增益控制器，该自动增益控制器接收来自放大器的输出并基于该输出的电平按照将来自放大器的输出的电平确保为固定的方式控制放大器的增益，该振荡部将来自放大器的输出作为原振荡信号来输出；和修正部，输入原振荡信号，根据原振荡信号生成规定的设定频率的信号，并作为输出信号来输出，修正部从振荡部输入不同于原振荡信号的、包括与MEMS谐振器的增益相关的信息在内的信息信号，并基于信息信号修正原振荡信号的频率来生成规定的设定频率的信号，并作为输出信号来输出。
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公开(公告)号：CN102449906B
公开(公告)日：2014-10-01
申请号：CN201180002256.0
申请日：2011-02-24
Applicant: 松下电器产业株式会社
CPC classification number: H03H9/1057 , B81B3/00 , B81B7/0077 , B81C1/00333 , B81C1/00476 , H03H3/0072 , H03H9/2405 , H03H9/2447
Abstract: 本发明的MEMS元件具有：在包括基板(1)、封装薄膜(7)、在垂直于基板(1)的表面的方向上隔着间隙而具有相互重叠的区域的、梁状结构体的可动部(3)和电极(5)；以及在基板1和封装薄膜(7)之间具有隔着电极(5)而形成的第一和第二空腔，其中，在垂直于基板表面的方向上，在可动部3侧中将空腔设为第一空腔(9)，将另一个空腔设为第二空腔时，在平行于基板表面的方向上，将第一空腔(9)与电极(5)接触的侧壁(A)的内侧表面(a)配置成比第二空腔(10)与侧壁(B)的电极(5)接触的内侧表面(b)更靠内侧，从而即使从封装薄膜(7)的外侧施加了机械应力，可动部(3)和电极(5)也不会碰撞。
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公开(公告)号：CN102439844A
公开(公告)日：2012-05-02
申请号：CN201180001810.3
申请日：2011-03-03
Applicant: 松下电器产业株式会社
Abstract: 本发明提供一种MEMS振荡器，包括：振荡部，该振荡部具备包括MEMS谐振器和放大器的反馈型振荡电路、和自动增益控制器，该自动增益控制器接收来自放大器的输出并基于该输出的电平按照将来自放大器的输出的电平确保为固定的方式控制放大器的增益，该振荡部将来自放大器的输出作为原振荡信号来输出；和修正部，输入原振荡信号，根据原振荡信号生成规定的设定频率的信号，并作为输出信号来输出，修正部从振荡部输入不同于原振荡信号的、包括与MEMS谐振器的增益相关的信息在内的信息信号，并基于信息信号修正原振荡信号的频率来生成规定的设定频率的信号，并作为输出信号来输出。
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公开(公告)号：CN1977454B
公开(公告)日：2011-10-12
申请号：CN200580021242.8
申请日：2005-06-02
Applicant: 松下电器产业株式会社
CPC classification number: H03H9/2405 , H03H3/0072 , H03H9/02433 , H03H9/462 , H03H2009/02519 , Y10S977/724 , Y10S977/932
Abstract: 本发明涉及一种电动机械滤波器，其能够指定振动模式从而振动器可以只被该振动模式所激发，即能够抑制除指定振动模式以外的振动模式。滤波器包括向其中输入信号的第一元件、与第一元件分开指定距离而设置从而围绕第一元件并被从第一元件输入的信号所引起的静电力所激发的第二元件、与第二元件分开指定距离设置从而围绕第二元件来探测第二元件的振动的第三元件。形成该滤波器使得第二元件通过从第一元件和第二元件受到吸引力而被吸引，且其振动方向是指定的。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1977452A
公开(公告)日：2007-06-06
申请号：CN200580021492.1
申请日：2005-07-22
Applicant: 松下电器产业株式会社 , 川胜英树
CPC classification number: H03H3/0076 , H03H9/02259 , H03H9/02433 , H03H9/2463 , H03H2009/02519
Abstract: 一种扭转谐振器，其防止产生不必要的偏转振动，具有良好的谐振特性。一种振动器，其具有横梁结构或者向其上添加了桨状突起的横梁结构，将所述振动器设计为，由电极和振动器之间的电势差产生的静电力围绕所述振动器的横梁的轴施加力矩，但是不向所述横梁施加用于产生偏转振动的力。一种设计方法提供了这样一种配置，即向电极对上施加相同的AC信号和极性不同的DC偏置电压，所述电极对由在所述振动器的偏振振动的作用下加大了与所述振动器之间的距离的电极和在其作用下降低了其距离的电极构成，由此只激发了扭转振动。
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公开(公告)号：CN1929067A
公开(公告)日：2007-03-14
申请号：CN200610126134.3
申请日：2003-07-25
Applicant: 松下电器产业株式会社
Abstract: 本发明提供一种开关，它能缩短响应时间及降低外加电压。该开关的构成包括为了对以互相稍微分开的间隔配置的第1根梁及第2根梁及第3根梁外加静电力而独立提供直流电位用的外加电压手段、及对各梁输入输出交流信号用的各梁上设置的电极4～9，靠静电力使各梁1～3的位置变化、使梁1～3间的静电容量变化。通过使第1根梁1及第2根梁2间产生静电力，使两根梁都可动，从而梁1、2能高速地电耦合。另外，使配置在第2根梁2对面的第3根梁3产生静电力，预先靠近第1根梁1及第2根梁2，一旦第1根梁1及第2根梁间的静电力解除，第2根梁2向第3根梁3一侧移动，第1根梁1及第2根梁2的电耦合解除。
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公开(公告)号：CN1875446A
公开(公告)日：2006-12-06
申请号：CN200480031843.2
申请日：2004-12-20
Applicant: 松下电器产业株式会社
IPC: H01H59/00
Abstract: 一种容易制造且表现出适当导通/截止(ON/OFF)电容变化率的精细MEMS开关。该MEMS开关包括：基板(46)；导电梁(42)，形成在基板的表面上；三层结构梁(B1、B2)，形成在基板的表面上并且设置来与导电梁相对。该MEMS开关的特征在于，三层结构梁包括第一导电层(38、40)、第二导电层(30、32)和夹置在第一导电层和第二导电层之间的介电层(34、36)，第一导电层与导电梁(42)相对，导电梁(42)和三层结构梁中至少一个由于静电力在平行于基板的平面上移位，使得导电梁(42)和第一导电层(38、40)彼此接触，以及其中，当导电梁(42)和第一导电层(38、40)彼此接触时，导电路径形成在导电梁(42)和第二导电层(30、32)之间。
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公开(公告)号：CN1277282C
公开(公告)日：2006-09-27
申请号：CN03152236.X
申请日：2003-07-30
Applicant: 松下电器产业株式会社
CPC classification number: H01H59/0009
Abstract: 本发明揭示一种开关。将其活动电极上、下方向的驱动分开，以确保信号传递效率和绝缘性，而且进行信号通断的高速动作。该开关由活动电极、位于活动电极下部的固定电极和位于活动电极长边方向两侧面的活动电极驱动用的固定电极组成。活动电极的侧面形成凹部和凸部，并且在两端隔着空间配置具有对应的凹部和凸部的固定电极。
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公开(公告)号：CN1248273C
公开(公告)日：2006-03-29
申请号：CN03152235.1
申请日：2003-07-30
Applicant: 松下电器产业株式会社
CPC classification number: H01G5/18 , Y10T29/435
Abstract: 本发明的可变电容元件由具有柔性的梁、以及为了在与梁之间形成电容而与梁接近设置的电极构成，在梁与电极之间加上电压，利用静电力使梁挠曲，使两者之间的电容量变化。使挠曲的梁与电极隔着至少在一方的表面上形成的绝缘层接触，通过使接触面积变化，而使电容量变化。另外，将电极分成多个电极，在1个电极形成凹下部分，使其比其它电极表面的高度要低，在梁与凹部对应的电极之间加上电压，将梁吸入凹下部分内，通过这样能够消除摩擦。
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