公开(公告)号：CN1698159A

公开(公告)日：2005-11-16

申请号：CN200480000559.9

申请日：2004-04-05

Applicant: 松下电器产业株式会社

Inventor： 筱崎淳 ,  高瀬道彦 ,  古川弘之

IPC: H01J9/46 ,  H01J9/20 ,  H01J11/02 ,  H01L21/68 ,  C23C14/50

CPC classification number: H01J11/10 ,  C23C14/081 ,  C23C14/564 ,  H01J9/20 ,  H01J2209/012 ,  H01L21/68778

Abstract: 一种等离子显示屏的制造方法，其在向等离子显示屏的基板成膜中，通过恰当地控制成膜室的状态而能形成良好的膜。其是具有把前面基板(3)保持在基板保持器(30)上进行成膜的成膜工序的显示屏的制造方法，在成膜时基板保持器(30)被反复使用，成膜工序，把由反复使用而附着了膜的状态的基板保持器(30)与除去附着的膜的状态的基板保持器(30)混合在成膜室即蒸镀室(21)中并且进行该成膜工序，这样来减少蒸镀室(21)内的真空度等的状态变化。

公开(公告)号：CN1698154A

公开(公告)日：2005-11-16

申请号：CN200480000226.6

申请日：2004-02-16

Applicant: 松下电器产业株式会社

Inventor： 高濑道彦 ,  篠崎淳 ,  古川弘之

IPC: H01J9/02

CPC classification number: H01J9/48 ,  H01J9/02 ,  H01J9/46 ,  H01J2217/49

Abstract: 本发明是在对于等离子体显示屏的基板的成膜中，能够抑制对膜质产生不良影响的成膜装置内部的灰尘发生的等离子体显示屏的制造方法及其基板保持件。通过具有由从下方支撑的支撑单元和限制基板(3)的面方向位置的限制单元构成的保持单元的框体所组成的第1基板保持件(3)以及保持第1基板保持件(31)的第2基板保持件(32)，在保持基板(3)和虚拟基板(35)的同时进行成膜。