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公开(公告)号：CN1698159B
公开(公告)日：2010-08-18
申请号：CN200480000559.9
申请日：2004-04-05
Applicant: 松下电器产业株式会社
CPC classification number: H01J11/10 , C23C14/081 , C23C14/564 , H01J9/20 , H01J2209/012 , H01L21/68778
Abstract: 一种等离子显示屏的制造方法，其在向等离子显示屏的基板成膜中，通过恰当地控制成膜室的状态而能形成良好的膜。其是具有把前面基板(3)保持在基板保持器(30)上进行成膜的成膜工序的显示屏的制造方法，在成膜时基板保持器(30)被反复使用，成膜工序，把由反复使用而附着了膜的状态的基板保持器(30)与除去附着的膜的状态的基板保持器(30)混合在成膜室即蒸镀室(21)中并且进行该成膜工序，这样来减少蒸镀室(21)内的真空度等的状态变化。
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公开(公告)号：CN1698160A
公开(公告)日：2005-11-16
申请号：CN200480000565.4
申请日：2004-04-05
Applicant: 松下电器产业株式会社
CPC classification number: H01L21/68735 , C23C14/50 , H01J9/20 , H01J11/10 , H01J2209/012 , H01L21/68778 , Y02T50/67
Abstract: 一种将等离子体显示面板的基板(13)保持于基板保持部件(1)而对该基板进行成膜的等离子体显示面板的制造方法，其特征在于，所述基板保持部件(1)通过排列多个框体(2)而构成，由所述框体(2)中的至少一个将等离子体显示面板的基板(13)在其周边部保持，而且在保持基板(13)的框体(2)中设置有向保持的基板的非成膜面侧(13b)突出而包围基板(13)的突出部(5)。由于突出部(5)作为遮挡板发挥作用，因此可以抑制经过了基板保持部件(1)的开口部(4)的成膜材料绕到基板(13)的非成膜面(13b)而附着的问题。
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公开(公告)号：CN101469403B
公开(公告)日：2011-11-23
申请号：CN200810190507.2
申请日：2004-02-16
Applicant: 松下电器产业株式会社
CPC classification number: H01J9/48 , H01J9/02 , H01J9/46 , H01J2217/49
Abstract: 本发明是在对于等离子体显示屏的基板的成膜中，能够抑制对膜质产生不良影响的成膜装置内部的灰尘发生的等离子体显示屏的制造方法及其基板保持件。通过具有由从下方支撑的支撑单元和限制基板(3)的面方向位置的限制单元构成的保持单元的框体所组成的第1基板保持件(3)以及保持第1基板保持件(31)的第2基板保持件(32)，在保持基板(3)和虚拟基板(35)的同时进行成膜。
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公开(公告)号：CN101471216B
公开(公告)日：2010-10-13
申请号：CN200810190508.7
申请日：2004-02-16
Applicant: 松下电器产业株式会社
CPC classification number: H01J9/48 , H01J9/02 , H01J9/46 , H01J2217/49
Abstract: 本发明是在对于等离子体显示屏的基板的成膜中，能够抑制对膜质产生不良影响的成膜装置内部的灰尘发生的等离子体显示屏的制造方法及其基板保持件。通过具有由从下方支撑的支撑单元和限制基板(3)的面方向位置的限制单元构成的保持单元的框体所组成的第1基板保持件(3)以及保持第1基板保持件(31)的第2基板保持件(32)，在保持基板(3)和虚拟基板(35)的同时进行成膜。
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公开(公告)号：CN100524585C
公开(公告)日：2009-08-05
申请号：CN200480000226.6
申请日：2004-02-16
Applicant: 松下电器产业株式会社
IPC: H01J9/02
CPC classification number: H01J9/48 , H01J9/02 , H01J9/46 , H01J2217/49
Abstract: 本发明是在对于等离子体显示屏的基板的成膜中，能够抑制对膜质产生不良影响的成膜装置内部的灰尘发生的等离子体显示屏的制造方法及其基板保持件。通过具有由从下方支撑的支撑单元和限制基板(3)的面方向位置的限制单元构成的保持单元的框体所组成的第1基板保持件(3)以及保持第1基板保持件(31)的第2基板保持件(32)，在保持基板(3)和虚拟基板(35)的同时进行成膜。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1311504C
公开(公告)日：2007-04-18
申请号：CN03102249.9
申请日：2003-01-28
Applicant: 松下电器产业株式会社
Inventor： 古川弘之
Abstract: 一种等离子体显示装置的制造方法，该等离子体显示装置具有：至少在2个以上的边上分别形成有多个端子的等离子体显示屏；和连接于该端子的多个布线板，在该制造方法中，在布线板的表面侧及背面侧涂布粘接材料时，在布线板间的间隔窄的边上涂布粘接材料后，在布线板间的间隔宽的边上涂布粘接材料。或者在等离子体显示屏的长边上涂布粘接材料后，在短边上涂布粘接材料。
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公开(公告)号：CN101471216A
公开(公告)日：2009-07-01
申请号：CN200810190508.7
申请日：2004-02-16
Applicant: 松下电器产业株式会社
CPC classification number: H01J9/48 , H01J9/02 , H01J9/46 , H01J2217/49
Abstract: 本发明是在对于等离子体显示屏的基板的成膜中，能够抑制对膜质产生不良影响的成膜装置内部的灰尘发生的等离子体显示屏的制造方法及其基板保持件。通过具有由从下方支撑的支撑单元和限制基板(3)的面方向位置的限制单元构成的保持单元的框体所组成的第1基板保持件(3)以及保持第1基板保持件(31)的第2基板保持件(32)，在保持基板(3)和虚拟基板(35)的同时进行成膜。
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公开(公告)号：CN100479082C
公开(公告)日：2009-04-15
申请号：CN200480000565.4
申请日：2004-04-05
Applicant: 松下电器产业株式会社
CPC classification number: H01L21/68735 , C23C14/50 , H01J9/20 , H01J11/10 , H01J2209/012 , H01L21/68778 , Y02T50/67
Abstract: 一种将等离子体显示面板的基板(13)保持于基板保持部件(1)而对该基板进行成膜的等离子体显示面板的制造方法，其特征在于，所述基板保持部件(1)通过排列多个框体(2)而构成，由所述框体(2)中的至少一个将等离子体显示面板的基板(13)在其周边部保持，而且在保持基板(13)的框体(2)中设置有向保持的基板的非成膜面侧(13b)突出而包围基板(13)的突出部(5)。由于突出部(5)作为遮挡板发挥作用，因此可以抑制经过了基板保持部件(1)的开口部(4)的成膜材料绕到基板(13)的非成膜面(13b)而附着的问题。
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公开(公告)号：CN1638002A
公开(公告)日：2005-07-13
申请号：CN03102249.9
申请日：2003-01-28
Applicant: 松下电器产业株式会社
Inventor： 古川弘之
Abstract: 一种等离子体显示装置的制造方法，该等离子体显示装置具有：至少在2个以上的边上分别形成有多个端子的等离子体显示屏；和连接于该端子的多个布线板，在该制造方法中，在布线板的表面侧及背面侧涂布粘接材料时，在布线板间的间隔窄的边上涂布粘接材料后，在布线板间的间隔宽的边上涂布粘接材料。或者在等离子体显示屏的长边上涂布粘接材料后，在短边上涂布粘接材料。
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公开(公告)号：CN101469403A
公开(公告)日：2009-07-01
申请号：CN200810190507.2
申请日：2004-02-16
Applicant: 松下电器产业株式会社
CPC classification number: H01J9/48 , H01J9/02 , H01J9/46 , H01J2217/49
Abstract: 本发明是在对于等离子体显示屏的基板的成膜中，能够抑制对膜质产生不良影响的成膜装置内部的灰尘发生的等离子体显示屏的制造方法及其基板保持件。通过具有由从下方支撑的支撑单元和限制基板(3)的面方向位置的限制单元构成的保持单元的框体所组成的第1基板保持件(3)以及保持第1基板保持件(31)的第2基板保持件(32)，在保持基板(3)和虚拟基板(35)的同时进行成膜。
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