惯性力传感器
    12.
    发明公开

    公开(公告)号:CN101405569A

    公开(公告)日:2009-04-08

    申请号:CN200780009646.4

    申请日:2007-04-10

    CPC classification number: G01C19/5607

    Abstract: 本发明提供一种惯性力传感器,其具备具有多个臂以及连结所述臂的基部的振荡器,在所述惯性力传感器的臂的除棱部以外的部分上形成有微调部,从而抑制因微调引起的音叉臂的损坏。

    旋转率传感器
    14.
    发明公开

    公开(公告)号:CN1609556A

    公开(公告)日:2005-04-27

    申请号:CN200410085294.9

    申请日:2004-10-15

    CPC classification number: G01C19/56

    Abstract: 本发明提供一种旋转率传感器,它包括:检测元件、电路单元、气密封容器及弹性体,其中,由这些零部件构成的机械系统的合成振动频率、以及相当于检测元件的驱动方向的共振频率和检测元件的旋转率检测方向的共振频率之差的施加旋转率的频率,小于检测元件的驱动方向的共振频率及检测元件的旋转率检测方向的共振频率,而且,电路单元的低通滤波器的截止频率,也小于合成共振频率及施加旋转率的频率。

    惯性力传感器
    15.
    发明授权

    公开(公告)号:CN101506617B

    公开(公告)日:2011-11-30

    申请号:CN200780030821.8

    申请日:2007-08-20

    CPC classification number: H01L41/08 G01C19/574

    Abstract: 本发明提供一种惯性力传感器,其具备检测元件(1),该检测元件(1)具有:在正交方向上将第一臂(2)连接于第二臂(4)而形成的两个正交臂;支承两个第一臂(2)的支承部(6);以及一端与支承部(6)连接且另一端固定在安装基板上的两个固定用臂(8),第二臂(4)上设有弯折至与第二臂(4)本身相对的相对部(16),锤部(11)连接于第二臂(4)的前端部,该锤部(11)上设有凹部(12)且第二臂(4)的前端部连接于该凹部(12)。

    旋转率传感器
    16.
    发明公开

    公开(公告)号:CN101598553A

    公开(公告)日:2009-12-09

    申请号:CN200910142583.0

    申请日:2004-10-15

    CPC classification number: G01C19/56

    Abstract: 本发明提供一种旋转率传感器,包括:检测元件;电路单元,与检测元件电连接,以驱动方向的共振频率来驱动控制检测元件,并调整输出与从检测元件得到的旋转率相对应的信号;容器,用于收纳检测元件;以及片状的弹性体,被安装在容器上;其中,包含弹性体的旋转率传感器的支撑系统的传输特性曲线中的共振频率的峰值频率,小于检测元件的驱动方向以及旋转率检测方向的共振频率。

    旋转率传感器
    17.
    发明公开

    公开(公告)号:CN101598552A

    公开(公告)日:2009-12-09

    申请号:CN200910142582.6

    申请日:2004-10-15

    CPC classification number: G01C19/56

    Abstract: 本发明提供一种旋转率传感器,包括:检测元件;电路单元,与检测元件电连接,以驱动方向的共振频率来驱动控制检测元件,并调整输出与从检测元件得到的旋转率相对应的信号;容器,用于收纳检测元件;以及弹性体,被安装在容器上;其中,弹性体是嵌入了具有电传导性的细线的弹性体;包含弹性体的旋转率传感器的支撑系统的传输特性曲线中的共振频率的峰值频率,小于检测元件的驱动方向以及旋转率检测方向的共振频率;并且,支撑系统的传输特性曲线中的共振频率的峰值频率,大于作为检测元件的驱动方向的共振频率和旋转率检测方向的共振频率之差的失谐频率:并且,电路单元的低通滤波器的截止频率小于失谐频率。

    复合传感器
    19.
    发明公开

    公开(公告)号:CN101501505A

    公开(公告)日:2009-08-05

    申请号:CN200780029100.5

    申请日:2007-08-09

    Abstract: 本发明的复合检测元件(6)的结构是:将加速度检测元件(2)和角速度检测元件(4)相互层叠配置,且使其与加速度检测元件(2)的锤部(12)隔开地将角速度检测元件(4)配置在加速度检测元件(2)的上方,并且,角速度检测元件(4)在与加速度检测元件(2)的锤部(12)相对的相对面上设置有使其与加速度检测元件(2)的锤部(12)隔开的凹部(26)。该凹部(26)的至少一部分的深度不超过锤部(12)的运动范围,抑制加速度检测元件(2)的锤部(12)的上方运动。

    惯性力传感器
    20.
    发明公开

    公开(公告)号:CN101405568A

    公开(公告)日:2009-04-08

    申请号:CN200780009453.9

    申请日:2007-03-26

    CPC classification number: G01P15/09 G01C19/5719 G01P15/18 H01L41/08

    Abstract: 本发明提供一种惯性力传感器(50),其包括用以检测惯性力的检测元件(1),检测元件(1)具有:两个第1正交臂(52),其在实质正交方向上连结有第1臂(2)和第2臂(4);支承部(6),其支承两个第1臂(2);固定用臂(8);以及锤部(14)。并且,第2臂(4)具有:弯折部(4a);相对部(16),其在弯折部(4a)处弯折,并与第2臂(4)相对;驱动电极(18),其设置在彼此相对的其中两个相对部(16)处,并对相对部(16)进行驱动振动;以及检测电极(20),其设在另外两个相对部(16)处,并检测相对部(16)的变形。根据此结构,能够获得小型惯性力传感器(50),其能够检测互不相同的多个惯性力且能够检测多个检测轴的惯性力。

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