公开(公告)号：CN102959454A

公开(公告)日：2013-03-06

申请号：CN201180030671.7

申请日：2011-06-21

Applicant: 松下电器产业株式会社

Inventor： 堀江寿彰 ,  中园晋辅 ,  平冈聪一郎 ,  古川成男(死亡) ,  山本雄大 ,  小牧一树 ,  多田真树

IPC: G02B26/08 ,  B81B3/00 ,  H04N1/032

CPC classification number: G02B26/101 ,  B81B3/0045 ,  B81B2201/042 ,  B81B2203/0163 ,  G02B7/1821 ,  G02B26/0833 ,  G02B26/0858 ,  G02B26/105

Abstract: 本发明提供一种光学反射元件，其具备固定框、一对第一振动部、可动框、一对第二振动部、反射镜部。第一振动部的一端与固定框的内侧连接。可动框与一对第一振动部的另一端连接，以能够进行转动的方式被支撑。一对第二振动部其一端与可动框的内侧连接，并且被配置成与一对第一振动部大致正交。反射镜部与一对第二振动部的另一端连接，以能够进行转动的方式被支撑。第二振动部形成由多个直线部和弯折部构成的蜿蜒形状，并且在弯折部的一部分设置了阶梯构造部。

公开(公告)号：CN102077376A

公开(公告)日：2011-05-25

申请号：CN200980124278.7

申请日：2009-06-24

Applicant: 松下电器产业株式会社

Inventor： 野田俊成 ,  小牧一树

IPC: H01L41/09 ,  H01L41/187 ,  H01L41/22 ,  H01L41/24

CPC classification number: H01L41/0478 ,  H01L41/081 ,  H01L41/0815 ,  H01L41/318 ,  Y10T29/42

Abstract: 本发明提供一种压电体元件和其制造方法，本发明的压电体元件具有基板和依次形成于基板上的下部电极层、压电体层、上部电极层。使基板的线性热膨胀系数比压电体层的线性热膨胀系数大，使压电体层为压缩方向具有面内应力的多晶体。由此，可实现压电体层沿极化轴方向具有高取向性、位移量相对施加电压的比例性高、位移量的绝对值大的压电体元件。

公开(公告)号：CN100585330C

公开(公告)日：2010-01-27

申请号：CN200580007155.7

申请日：2005-02-23

Applicant: 松下电器产业株式会社

Inventor： 安见正博 ,  小牧一树 ,  村嶋佑二 ,  中村友骑 ,  川崎哲生

IPC: G01C19/56 ,  G01P9/04 ,  H01L41/08 ,  H01L41/22

CPC classification number: G01C19/5628 ,  G01C19/5621 ,  Y10T29/42

Abstract: 基板由单晶硅制成且具有音叉形状。所述基板包括多个彼此平行延伸的音叉臂和用于彼此连接所述音叉臂的相应端的连接部分。角速度传感器包括：在所述基板的所述音叉臂中的各音叉臂上提供的含有氧化硅的阻挡层；在所述阻挡层上提供的含有钛的第一粘附层；在所述第一粘附层上提供的含有钛和氧化钛中至少一者的第一电极层；在所述第一电极层上提供的取向控制层；在所述取向控制层上提供的压电层；在所述压电层上提供的第二粘附层；和在所述第二粘附层上提供的第二电极层。这种角速度传感器具有小尺寸和稳定的特性。

公开(公告)号：CN104169778A

公开(公告)日：2014-11-26

申请号：CN201380013690.8

申请日：2013-03-11

Applicant: 松下电器产业株式会社

Inventor： 中园晋辅 ,  黑塚章 ,  山本雄大 ,  小牧一树

IPC: G02B26/10 ,  G02B26/08 ,  H04N1/113

CPC classification number: G02B26/105 ,  G02B26/0858 ,  G02B26/101 ,  H04N1/113

Abstract: 光学反射元件具有：可动板，具有反射面；第一支承部；第一驱动部；第一框；以及用于检测可动板的转动的监视器部。第一支承部与可动板连接。第一驱动部设置于第一支承部，使可动板绕第一轴转动。在第一框的内侧配置有可动部和第一支承部。第一框与第一支承部连接。监视器部从可动板的外周部分中距第一轴最远的部分伸出。

公开(公告)号：CN102405433A

公开(公告)日：2012-04-04

申请号：CN201080017370.6

申请日：2010-04-16

Applicant: 松下电器产业株式会社

Inventor： 中圆晋辅 ,  平冈聪一郎 ,  寺田二郎 ,  古川成男 ,  堀江寿彰 ,  小牧一树 ,  多田真树 ,  山本雄大

IPC: G02B26/10 ,  B81B3/00 ,  G02B26/08 ,  H02N2/00 ,  H04N1/036

CPC classification number: G02B26/0858

Abstract: 光学反射元件具有反射镜部、使该反射镜部振动的一对高频振子以及一对低频振子。高频振子具有基材、形成于该基材上的下部电极层、压电体层、上部电极层即驱动电极、以及第1监视电极。低频振子的一方具有与高频振子共同的基材、下部电极层、压电体层及驱动电极、以及上部电极层即第2监视电极。低频振子的另一方具有与高频振子共同的基材、下部电极层、压电体层、驱动电极及第1监视电极、和作为抑制压电体层的压电作用影响第1监视电极的不灵敏带的绝缘体层。设置于低频振子上的第1监视电极从低频振子之上连接到引出电极。