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公开(公告)号：CN101201552A
公开(公告)日：2008-06-18
申请号：CN200710195642.1
申请日：2003-12-02
Applicant: 株式会社尼康
Abstract: 本发明是有关于一种光学照明装置、曝光装置以及曝光方法。该光学照明装置，例如搭载于曝光装置中，便可以依据光罩图案的特性，抑制光量损且使照明光的偏振状态改变，得以实施适当的照明条件。具有提供直线偏振光的光源部(1)，以光源部发出的光来照明被照射面(M、W)。光学照明装置具有偏振状态切换手段(10、20)，配置在光源部与被照射面之间的光路中，用以使照明被照射面的光的偏振状态在特定偏振状态与非偏振状态之间做切换。偏振状态切换手段更具有去偏振器(20)，其架构成可以自在地插入与脱离于照明光路中，并且可依据所需将入射的直线偏振光去偏振。
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公开(公告)号：CN102890425B
公开(公告)日：2015-09-16
申请号：CN201210244668.1
申请日：2007-03-15
Applicant: 株式会社尼康
Inventor： 田中裕久
IPC: G03F7/20
CPC classification number: G03F7/70183 , G02B5/001 , G03F7/70108
Abstract: 本发明提供一种照明光学装置，即便使用转向镜系统来改变形成于照明光瞳面上的光强度分布的外形形状，亦可以大致维持预期的轮廓。根据来自光源(1)的光来对被照射面(M)进行照明的本发明的照明光学装置包括：棱镜系统(6)，用以改变一对棱镜(6a、6b)在光轴(AX)上的间隔，以改变照明光瞳面(8a)中的光强度分布；以及一个或多个可动透镜(4b)，配置于棱镜系统与被照射面之间的光路中，并根据一对棱镜在光轴上的间隔的变化而可以在光轴方向上移动。
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公开(公告)号：CN101743515B
公开(公告)日：2013-07-24
申请号：CN200880024375.4
申请日：2008-10-02
Applicant: 株式会社尼康
Inventor： 田中裕久
IPC: G03F7/20
CPC classification number: G03F7/70291 , G03F7/70116
Abstract: 一种空间光调制单元(SM1)可布置于光学系统中，且可沿着所述光学系统的光轴来布置。所述空间光调制单元(SM1)包括：第一折叠表面(R11)，其使平行于所述光学系统的所述光轴(Ax)而入射的光线折叠；反射性空间光调制器(S1)，其使在所述第一折叠表面(R11)上折叠的光线折叠；和第二折叠表面(R12)，其使在所述空间光调制器(S1)上折叠的光线折叠，以将所述光线发出到所述光学系统中。所述空间光调制器(S1)根据在所述第一折叠表面(R11)上折叠的所述光线入射到所述空间光调制器(S1)的位置来将空间调制施加于所述光线。
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公开(公告)号：CN101201553B
公开(公告)日：2010-10-27
申请号：CN200710195644.0
申请日：2003-12-02
Applicant: 株式会社尼康
Abstract: 本发明是有关于一种光学照明装置、曝光装置以及曝光方法。该光学照明装置，例如搭载于曝光装置中，便可以依据光罩图案的特性，抑制光量损且使照明光的偏振状态改变，得以实施适当的照明条件。具有提供直线偏振光的光源部(1)，以光源部发出的光来照明被照射面(M、W)。光学照明装置具有偏振状态切换手段(10、20)，配置在光源部与被照射面之间的光路中，用以使照明被照射面的光的偏振状态在特定偏振状态与非偏振状态之间做切换。偏振状态切换手段更具有去偏振器(20)，其架构成可以自在地插入与脱离于照明光路中，并且可依据所需将入射的直线偏振光去偏振。
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公开(公告)号：CN1856861A
公开(公告)日：2006-11-01
申请号：CN200480027316.4
申请日：2004-06-29
Applicant: 株式会社尼康
IPC: H01L21/027 , G02B27/28 , G02B19/00
Abstract: 一种可以防止通过由例如萤石的立方系晶体材料形成的透光部件的线性偏振光的偏振状态的改变的照射光学系统。一种照射光学系统，包括，光源单元(1)，用于用来自光源单元的光提供线性偏振光来照射将要照射的表面(M、W)。该系统包括被设置在光源单元和将要照射的表面之间的光路上的偏振状态切换装置(10，20)，用于在线性偏振状态和非线性偏振状态之间切换用于照射将要照射的表面的光的偏振状态。偏振状态切换装置具有相位部件(10)，用于按需要改变入射线性偏振光的偏振面，以及消偏振镜(20)，用于按需要对入射线性偏振光消偏振。将与由萤石形成的透光部件的双折射变化有关的相位超前轴方向设置成与入射到透光部件上的线性偏振光的场振动方向基本一致或正交。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN104025257B
公开(公告)日：2017-09-19
申请号：CN201280064004.5
申请日：2012-10-18
Applicant: 株式会社尼康
IPC: H01L21/027
CPC classification number: G03F7/70091 , G02B5/3075 , G02B26/0833 , G03F7/70191 , G03F7/70566
Abstract: 一种照明光学系统、曝光装置及组件制造、图像形成、照明与曝光方法，能够形成具有所需的光束剖面的光瞳强度分布。利用来自光源的光对被照射面进行照明的照明光学系统包括：空间光调变器，包括排列于规定面上且被个别地控制的多个光学组件，将光强度分布可变化地形成于照明光学系统的照明光瞳；发散角赋予构件，配置于包含与规定面成光学共轭的面的共轭空间内，对入射光束赋予发散角而射出；以及偏光构件，配置于规定面的附近位置或共轭空间，使经由光路传播的传播光束中的一部分光束的偏光状态发生变化。
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公开(公告)号：CN104025257A
公开(公告)日：2014-09-03
申请号：CN201280064004.5
申请日：2012-10-18
Applicant: 株式会社尼康
IPC: H01L21/027
CPC classification number: G03F7/70091 , G02B5/3075 , G02B26/0833 , G03F7/70191 , G03F7/70566
Abstract: 一种照明光学系统，能够形成具有所需的光束剖面的光瞳强度分布。利用来自光源的光对被照射面进行照明的照明光学系统包括：空间光调变器(5)，包括排列于规定面上且被个别地控制的多个光学组件，将光强度分布可变化地形成于照明光学系统的照明光瞳；发散角赋予构件(3)，配置于包含与规定面成光学共轭的面的共轭空间内，对入射光束赋予发散角而射出；以及偏光构件(9)，配置于规定面的附近位置或共轭空间，使经由光路传播的传播光束中的一部分光束的偏光状态发生变化。
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公开(公告)号：CN101201552B
公开(公告)日：2010-12-08
申请号：CN200710195642.1
申请日：2003-12-02
Applicant: 株式会社尼康
Abstract: 本发明是有关于一种光学照明装置、曝光装置以及曝光方法。该光学照明装置，例如搭载于曝光装置中，便可以依据光罩图案的特性，抑制光量损且使照明光的偏振状态改变，得以实施适当的照明条件。具有提供直线偏振光的光源部(1)，以光源部发出的光来照明被照射面(M、W)。光学照明装置具有偏振状态切换单元(10、20)，配置在光源部与被照射面之间的光路中，用以使照明被照射面的光的偏振状态在特定偏振状态与非偏振状态之间做切换。偏振状态切换单元更具有去偏振器(20)，其架构成可以自在地插入与脱离于照明光路中，并且可依据所需将入射的直线偏振光去偏振。
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公开(公告)号：CN101410946A
公开(公告)日：2009-04-15
申请号：CN200780010452.6
申请日：2007-03-15
Applicant: 株式会社尼康
Inventor： 田中裕久
IPC: H01L21/027 , G02B15/14 , G02B19/00 , G03F7/20
CPC classification number: G03F7/70183 , G02B5/001 , G03F7/70108
Abstract: 本发明提供一种照明光学装置，即便使用转向镜系统来改变形成于照明光瞳面上的光强度分布的外形形状，亦可以大致维持预期的轮廓。根据来自光源1的光来对被照射面M进行照明的本发明的照明光学装置包括：棱镜系统6，用以改变一对棱镜6a、6b在光轴AX上的间隔，以改变照明光瞳面8a中的光强度分布；以及一个或多个可动透镜4b，配置于棱镜系统与被照射面之间的光路中，并根据一对棱镜在光轴上的间隔的变化而可以在光轴方向上移动。
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公开(公告)号：CN101201551A
公开(公告)日：2008-06-18
申请号：CN200710195641.7
申请日：2003-12-02
Applicant: 株式会社尼康
Abstract: 本发明是有关于一种光学照明装置、曝光装置以及曝光方法。该光学照明装置，例如搭载于曝光装置中，便可以依据光罩图案的特性，抑制光量损且使照明光的偏振状态改变，得以实施适当的照明条件。具有提供直线偏振光的光源部(1)，以光源部发出的光来照明被照射面(M、W)。光学照明装置具有偏振状态切换手段(10、20)，配置在光源部与被照射面之间的光路中，用以使照明被照射面的光的偏振状态在特定偏振状态与非偏振状态之间做切换。偏振状态切换手段更具有去偏振器(20)，其架构成可以自在地插入与脱离于照明光路中，并且可依据所需将入射的直线偏振光去偏振。
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