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公开(公告)号：CN108496241A
公开(公告)日：2018-09-04
申请号：CN201680079797.6
申请日：2016-10-21
Applicant: 株式会社钢臂功科研
IPC: H01L21/3205 , C23C14/14 , C23C14/34 , H01L21/28 , H01L21/285 , H01L21/768 , H01L23/532
CPC classification number: C23C14/14 , C23C14/34 , H01L21/28 , H01L21/285 , H01L21/3205 , H01L21/768 , H01L23/532
Abstract: 提供一种布线结构，其特征在于，是在Al－Ta合金薄膜的至少表面和侧面的任意一方的面上形成有Al－Ta氧化膜的布线结构，所述Al－Ta合金薄膜的Ta添加量为0.3～3.0原子％，且Cu含量为0.03原子％以下，所述Al－Ta氧化膜的膜厚为3～10nm，并且，所述Al－Ta氧化膜中的Ta的原子％浓度比Al－Ta合金薄膜中的Ta的原子％浓度低。
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公开(公告)号：CN103151090B
公开(公告)日：2016-06-01
申请号：CN201210509951.2
申请日：2012-12-03
Applicant: 株式会社神户制钢所
CPC classification number: C22C9/00 , B22F3/10 , C22C9/04 , C22C9/05 , C22C9/06 , C22C2204/00 , C23C14/185 , C23C14/3414 , H01B1/026
Abstract: 本发明提供一种耐氧化性和密接性优异，电阻小触摸屏传感器用Cu合金配线膜。触摸屏传感器用Cu合金配线膜，含有从Ni、Zn和Mn所构成的群中选择的合金元素的至少一种，合计量0.1～40原子％含，余量是Cu和不可避免的杂质。另外触摸屏传感器用Cu合金配线膜，由含有从Ni、Zn和Mn所构成的群中选择的合金元素的至少一种的Cu合金构成，含有一种所述合金元素时，为Ni：0.1～6原子％，Zn：0.1～6原子％，或Mn：0.1～1.9原子％的任意一种含量，含有两种以上所述合金元素时，合计量为0.1～6原子％(其中，含有Mn时为[((6-x)×2)÷6]原子％以下，式中，x为Ni和Zn的合计添加量)。
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公开(公告)号：CN103548420A
公开(公告)日：2014-01-29
申请号：CN201280024692.2
申请日：2012-05-18
Applicant: 株式会社神户制钢所
CPC classification number: H01L27/3276 , C22C21/00 , H01L27/3248 , H01L51/5218
Abstract: 提供一种配线结构，其具有具备Al合金膜的有机EL显示器用的反射阳极电极，该Al合金膜耐久性优异，即便使Al反射膜直接与有机层连接，也能够确保稳定的发光性能，而且可以实现高成品率。本发明涉及在基板上具有构成有机EL显示器用的反射阳极电极的Al合金膜，和含发光层的有机层的配线结构，其中，所述Al合金膜含有特定的稀土类元素为0.05～5原子％，在所述Al合金膜上直接连接有所述有机层。
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公开(公告)号：CN101918888A
公开(公告)日：2010-12-15
申请号：CN200980102063.5
申请日：2009-03-31
Applicant: 株式会社神户制钢所
IPC: G02F1/1343 , C22C21/00 , C22F1/04 , G09F9/30 , H01L21/3205 , H01L23/52 , H01L29/786
CPC classification number: H01L29/458 , C22C21/00 , C22C21/10 , C23C14/3414 , H01L27/12 , H01L27/124 , H01L29/4908 , Y10T428/12049
Abstract: 本发明开发一种铝合金膜，并提供一种具有该铝合金膜的显示装置，所述铝合金膜在用于显示装置的薄膜晶体管基板的配线构造中可以使铝合金薄膜与透明像素电极直接接触，同时可以兼顾低电阻率和耐热性，改善对薄膜晶体管的制造工序中使用的胺系剥离液及碱性显影液的腐蚀性。本发明涉及一种显示装置，其为氧化物导电膜和Al合金膜直接接触、Al合金成分的至少一部分在所述Al合金膜的接触表面析出而存在的显示装置，其中，所述Al合金膜包含至少1种选自Ni、Ag、Zn及Co中的元素(元素X1)、以及至少1种可以与所述元素X1形成金属间化合物的元素(元素X2)，形成最大直径150nm以下的由X1-X2及Al-X1-X2中的至少一方表示的金属间化合物。
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公开(公告)号：CN101154033A
公开(公告)日：2008-04-02
申请号：CN200710141009.4
申请日：2007-08-13
Applicant: 株式会社神户制钢所
Inventor： 奥野博行
IPC: G03F7/00 , G03F7/32 , G03F7/26 , H01L21/027 , H01L21/768 , H01L21/28 , H01L21/3213
CPC classification number: G03F7/0325 , G02F1/13439 , G02F2001/136295 , G03F7/0007
Abstract: 本发明提供一种显示装置的制法，其可以省略屏蔽金属层，实现使铝合金膜与透明导电膜直接接触的显示装置的制造，并且可以通过组合防腐蚀性优良的处理液，来克服铝合金膜所具有的耐腐蚀性不足的问题。在制造如下的显示装置时，即具有配置于玻璃基板上的由铝合金膜构成的配线材料和利用透明导电膜构成的像素电极直接连接而成的构造，在所述配线材料与像素电极的连接界面上，构成所述配线材料的铝合金膜的合金成分的一部分或全部作为析出物或浓化层存在的显示装置，作为用于将配线图案的形成中所用的抗蚀剂显影的显影液，使用含有2～3.5质量％的有机碱和2～10质量％的碳数为4～6的糖醇且不含有其他的多元醇的抗蚀剂用显影液。
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公开(公告)号：CN102486696B
公开(公告)日：2015-04-29
申请号：CN201110032825.8
申请日：2011-01-26
Applicant: 株式会社神户制钢所
Abstract: 本发明提供一种特别是相对于压入荷重等的纵向的耐久性优异，难以发生断线或经时的电阻增加，可靠性高的触摸板传感器，其具有透明导电膜和与所述透明导电膜连接的布线，所述布线以从基板侧开始的顺序，由高熔点金属膜、Al合金膜和高熔点金属膜构成，所述Al合金膜含有0.05～1原子％的稀土元素，并且，硬度为2～3.5GPa，在Al合金组织中存在的晶界三重点的密度为2×108个/mm2以上。
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公开(公告)号：CN103151090A
公开(公告)日：2013-06-12
申请号：CN201210509951.2
申请日：2012-12-03
Applicant: 株式会社神户制钢所
CPC classification number: C22C9/00 , B22F3/10 , C22C9/04 , C22C9/05 , C22C9/06 , C22C2204/00 , C23C14/185 , C23C14/3414 , H01B1/026
Abstract: 本发明提供一种耐氧化性和密接性优异，电阻小触摸屏传感器用Cu合金配线膜。触摸屏传感器用Cu合金配线膜，含有从Ni、Zn和Mn所构成的群中选择的合金元素的至少一种，合计量0.1～40原子％含，余量是Cu和不可避免的杂质。另外触摸屏传感器用Cu合金配线膜，由含有从Ni、Zn和Mn所构成的群中选择的合金元素的至少一种的Cu合金构成，含有一种所述合金元素时，为Ni：0.1～6原子％，Zn：0.1～6原子％，或Mn：0.1～1.9原子％的任意一种含量，含有两种以上所述合金元素时，合计量为0.1～6原子％(其中，含有Mn时为[((6-x)×2)÷6]原子％以下，式中，x为Ni和Zn的合计添加量)。
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公开(公告)号：CN103069042A
公开(公告)日：2013-04-24
申请号：CN201180041104.1
申请日：2011-09-26
Applicant: 株式会社神户制钢所
IPC: C23C14/14 , C22C21/00 , G02F1/1368 , G09F9/30 , H01B1/02 , H01B5/02 , H01L21/28 , H01L21/285 , H01L21/3205 , H01L23/52 , H01L29/786
CPC classification number: H05K1/0298 , C22C21/00 , C23C14/086 , C23C14/165 , C23C14/3414 , H01B1/023 , H01L23/53219 , H01L27/124 , H01L29/458 , H01L2924/0002 , H01L2924/12044 , Y10T428/12542 , Y10T428/265 , Y10T428/31678 , H01L2924/00
Abstract: 本发明提供一种技术，在薄膜晶体管基板、反射膜、反射阳极电极、触摸屏传感器等的制造工序中，能够有效防止氯化钠溶液的浸渍下的Al合金表面的腐蚀和针孔腐蚀(黑点)等的腐蚀，耐腐蚀性优异，而且能够防止小丘的生成且耐热性也优异的Al合金膜。本发明的Al合金膜，是用于配线膜或反射膜的Al合金膜，其中，含有Ta和/或Ti：0.01～0.5原子％、稀土类元素：0.05～2.0原子％。
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公开(公告)号：CN102486696A
公开(公告)日：2012-06-06
申请号：CN201110032825.8
申请日：2011-01-26
Applicant: 株式会社神户制钢所
Abstract: 本发明提供一种特别是相对于压入荷重等的纵向的耐久性优异，难以发生断线或经时的电阻增加，可靠性高的触摸板传感器，其具有透明导电膜和与所述透明导电膜连接的布线，所述布线以从基板侧开始的顺序，由高熔点金属膜、Al合金膜和高熔点金属膜构成，所述Al合金膜含有0.05～1原子％的稀土元素，并且，硬度为2～3.5GPa，在Al合金组织中存在的晶界三重点的密度为2×108个/mm2以上。
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