公开(公告)号：CN109722704A

公开(公告)日：2019-05-07

申请号：CN201811277023.1

申请日：2018-10-30

Applicant: 株式会社荏原制作所

Inventor： 张绍华 ,  增田泰之 ,  藤方淳平 ,  下山正 ,  中田勉

IPC: C25D21/10 ,  C25D17/00

Abstract: 本发明提供一种对基板进行镀覆的镀覆装置及镀覆方法。该镀覆装置具有：构成为收纳镀覆液的镀覆槽；配置于所示镀覆槽的内部，并且构成为沿着基板的表面在往复方向上移动而对镀覆液进行搅拌的搅动件；支承搅动件的第一端部的支承部件；设置于搅动件的第一磁石；以及设置于镀覆槽的第二磁石。第一磁石和第二磁石构成为，在搅动件移动的期间互相施加磁力，以抑制搅动件的与第一端部相反的一侧的第二端部向靠近基板的方向和远离基板的方向振动。

公开(公告)号：CN109137051A

公开(公告)日：2019-01-04

申请号：CN201810502488.6

申请日：2018-05-23

Applicant: 株式会社荏原制作所

Inventor： 社本光弘 ,  下山正 ,  长井瑞树 ,  中田勉

IPC: C25D17/00 ,  C25D17/10 ,  C25D5/02

CPC classification number: C25D17/001 ,  C25D5/022 ,  C25D17/10

Abstract: 本发明提供一种镀覆装置及非暂时性计算机可读存储介质，镀覆装置实现设想今后将需求的高镀覆品质的至少一部分，并且进而对多个基板进行镀覆。镀覆装置具有可保持多个基板的基板固持器、及可保持多个阳极的阳极固持器。多个阳极各自是与对应的基板相向地配置。将调节板设于阳极固持器、与和此阳极固持器对应的基板固持器之间。调节板具有在阳极与基板之间流动的电流能穿过的筒状的贯穿部。针对虚设基板，在阳极固持器、与和此阳极固持器对应的基板固持器之间设有封闭部。封闭部中，可在可保持的阳极与可保持的基板之间流动的电流无法穿过。

公开(公告)号：CN106480480A

公开(公告)日：2017-03-08

申请号：CN201610710826.6

申请日：2016-08-23

Applicant: 株式会社荏原制作所

Inventor： 岭润子 ,  中田勉 ,  矢作光敏

IPC: C25D7/12 ,  C25D17/02 ,  C25D17/06 ,  C25D21/10 ,  C25D21/12

Abstract: 本发明提供一种使镀覆于多边形基板的膜的面内均匀性提高的镀覆装置、镀覆方法、及基板保持器，其具有：阳极保持器，该阳极保持器被构成为保持阳极；基板保持器，该基板保持器被构成为保持多边形基板；镀覆槽，该镀覆槽用于收容所述阳极保持器及所述基板保持器，并将所述阳极及所述基板浸渍于镀覆液；及控制装置，该控制装置用于控制在所述阳极与所述基板之间流动的电流。所述基板保持器具有多个供电部件，该多个供电部件沿着所述多边形基板的各边而配置。所述控制装置被构成为，能够以可同时对所述多个供电部件供给至少2个不同值的电流的方式来控制电流。