公开(公告)号：CN108695203A

公开(公告)日：2018-10-23

申请号：CN201810281777.8

申请日：2018-03-29

Applicant: 株式会社荏原制作所

Inventor： 丰增富士彦 ,  国泽淳次

IPC: H01L21/67

Abstract: 本发明提供液体供给装置以及液体供给方法，该液体供给装置能够判断CLC是否能适当地使用。该液体供给装置用于将来自液体源的液体向清洗装置供给。该液体供给装置具有：流量控制装置，其测量来自所述液体源的液体的流量，并基于测量值控制流量；内侧压力计，其设置于所述液体源与所述流量控制装置之间；外侧压力计，其设置在所述流量控制装置与所述清洗装置之间。

公开(公告)号：CN107546155A

公开(公告)日：2018-01-05

申请号：CN201710499862.7

申请日：2017-06-27

Applicant: 株式会社荏原制作所

Inventor： 前田幸次 ,  下元博 ,  山口都章 ,  青野弘 ,  八嶋哲也 ,  矶川英立 ,  新海健史 ,  稻叶充彦 ,  桥本幸一 ,  国泽淳次 ,  宫崎充 ,  丰增富士彦

IPC: H01L21/67

CPC classification number: H01L21/02096 ,  H01L21/0201 ,  H01L21/02046 ,  H01L21/02068 ,  H01L21/02076 ,  H01L21/02085 ,  H01L21/02087 ,  H01L21/67017 ,  H01L21/67046 ,  H01L21/67051 ,  H01L21/6719 ,  H01L21/67219

Abstract: 本发明提供一种可减轻更换不同种类的清洗模块的作业所造成的负担的清洗装置及基板处理装置。本发明采用包含下述构件的结构：多种清洗模块(31(31A、31B))，进行清洗处理；第1收纳部，可收纳多种清洗模块(31)；及流体供给部(60)，经由配管(63)对收纳于第1收纳部的清洗模块(31)供给流体；多种清洗模块(31)分别具备与配管(63)的连接位置共用的配管连接部(70)。

公开(公告)号：CN105280525A

公开(公告)日：2016-01-27

申请号：CN201510306666.4

申请日：2015-06-05

Applicant: 株式会社荏原制作所

Inventor： 丰增富士彦 ,  丸山徹 ,  国泽淳次

IPC: H01L21/67 ,  H01L21/306

Abstract: 本发明提供一种能够与稀释比例的变更灵活地相对应，且能够抑制装置尺寸大型化的清洗药液供给装置、清洗药液的供给方法及清洗单元，清洗药液供给装置具有：第1直列式混合器，将第1清洗药液供给到清洗装置；第2直列式混合器，将第2清洗药液供给到基板清洗装置；第1药液CLC箱，对供给到第1直列式混合器的第1药液的流量进行控制；第2药液CLC箱，对供给到第2直列式混合器的第2药液的流量进行控制；以及DIWCLC箱，对供给到第1直列式混合器或第2直列式混合器的稀释水的流量进行控制，且清洗药液供给装置构成为：将稀释水的供给目的地从第1直列式混合器切换到第2直列式混合器，或从第2直列式混合器切换到第1直列式混合器。