基板清洗装置、基板处理装置及基板清洗方法

    公开(公告)号:CN118943054A

    公开(公告)日:2024-11-12

    申请号:CN202411054620.3

    申请日:2019-07-05

    Abstract: 本发明的基板清洗装置及基板清洗方法具备:与基板抵接来进行该基板的清洗的清洗部件;使清洗部件旋转的部件旋转部;将清洗部件按压于基板的部件驱动部;对清洗部件的按压负荷进行测量的负荷测量部;以及基于负荷测量部的测量值对基于部件驱动部产生的清洗部件的按压量进行控制,以使得清洗部件的按压负荷为设定负荷的控制部。控制部将负荷测量部的测量值与设定负荷进行比较,并重复以下步骤直到差值为第一阈值以下:在差值比第一阈值大且为第二阈值以下的情况下,以第一移动量变更清洗部件的按压量,以使得差值减少;在差值比第二阈值大的情况下,以比第一移动量大的第二移动量变更清洗部件的按压量,以使得差值减少。

    基板清洗装置及基板清洗方法

    公开(公告)号:CN110690141A

    公开(公告)日:2020-01-14

    申请号:CN201910603136.4

    申请日:2019-07-05

    Abstract: 本发明的基板清洗装置及基板清洗方法具备:与基板抵接来进行该基板的清洗的清洗部件;使清洗部件旋转的部件旋转部;将清洗部件按压于基板的部件驱动部;对清洗部件的按压负荷进行测量的负荷测量部;以及基于负荷测量部的测量值对基于部件驱动部产生的清洗部件的按压量进行控制,以使得清洗部件的按压负荷为设定负荷的控制部。控制部将负荷测量部的测量值与设定负荷进行比较,并重复以下步骤直到差值为第一阈值以下:在差值比第一阈值大且为第二阈值以下的情况下,以第一移动量变更清洗部件的按压量,以使得差值减少;在差值比第二阈值大的情况下,以比第一移动量大的第二移动量变更清洗部件的按压量,以使得差值减少。

    用于基板输送系统的示教装置及示教方法

    公开(公告)号:CN110600397A

    公开(公告)日:2019-12-20

    申请号:CN201910502824.1

    申请日:2019-06-11

    Abstract: 本发明能够不受进行示教作业的作业人员的技能影响进行示教。提供用于基板输送系统的示教装置,基板输送系统具有构成为能对基板进行保持的基板输送装置及构成为能从基板输送装置接收基板的基板接收装置,示教装置具有:构成为保持于基板输送装置的示教基板;能被安装于示教基板的摄影机;及用于控制保持着示教基板的基板输送装置及/或基板接收装置的动作的控制装置,控制装置具有:接收由摄影机拍摄的图像的接收部;根据接收的图像计算基板输送装置与基板接收装置的相对的位置关系的解析部;及根据由解析部计算的基板输送装置与基板接收装置的相对的位置关系,确定基板输送装置及/或基板接收装置的停止位置的确定部。

    基板清洗装置及基板清洗方法

    公开(公告)号:CN110690141B

    公开(公告)日:2024-09-06

    申请号:CN201910603136.4

    申请日:2019-07-05

    Abstract: 本发明的基板清洗装置及基板清洗方法具备:与基板抵接来进行该基板的清洗的清洗部件;使清洗部件旋转的部件旋转部;将清洗部件按压于基板的部件驱动部;对清洗部件的按压负荷进行测量的负荷测量部;以及基于负荷测量部的测量值对基于部件驱动部产生的清洗部件的按压量进行控制,以使得清洗部件的按压负荷为设定负荷的控制部。控制部将负荷测量部的测量值与设定负荷进行比较,并重复以下步骤直到差值为第一阈值以下:在差值比第一阈值大且为第二阈值以下的情况下,以第一移动量变更清洗部件的按压量,以使得差值减少;在差值比第二阈值大的情况下,以比第一移动量大的第二移动量变更清洗部件的按压量,以使得差值减少。

    基板处理装置
    8.
    发明公开
    基板处理装置 审中-实审

    公开(公告)号:CN118213309A

    公开(公告)日:2024-06-18

    申请号:CN202410349319.9

    申请日:2018-08-09

    Abstract: 基板处理装置具有配置为上下两层的第一处理单元及第二处理单元。第一处理单元及第二处理单元分别具有:多个处理槽,该多个处理槽串联排列;隔壁,该隔壁划分出在多个处理槽的外侧沿排列方向延伸的输送空间;输送机构,该输送机构配置于输送空间,且在各处理槽之间沿着排列方向输送基板;以及导风管道,该导风管道在输送空间以沿着所述排列方向延伸的方式设置。在导风管道连接有风扇过滤单元。在各处理槽连接有排气管道。在导风管道中的与各处理槽相对的部分分别形成有开口。第一处理单元的输送空间和第二处理单元的输送空间被隔壁上下分离。

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