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公开(公告)号:CN102220980A
公开(公告)日:2011-10-19
申请号:CN201110121383.4
申请日:2011-04-19
Applicant: 株式会社荏原制作所
CPC classification number: F04C25/02 , F01C21/007 , F04C28/08 , F04C29/045 , F04C29/047 , F04C2220/12 , F04C2240/30 , F04C2240/40 , F04C2240/403 , F04C2240/808
Abstract: 一种小尺寸的干式真空泵设备,因为其包括使用例如冷却水的冷却剂的高效冷却单元,该冷却单元用于冷却以变频器的切换部件为代表的自发热值高的大电流电路部件。该干式真空泵设备包括:干式真空泵,其包含泵单元和用于驱动该泵单元的电机;变频器,其用于将来自于交流电源的交流电转换为具有预定频率的交流电,并将该交流电提供给电机;电气设备壳体,在其内部容纳着包括该变频器的控制电路组件;泵壳,在其内部容纳着该干式真空泵和该干式真空泵的操作监测传感器;液冷式分隔件,其设置在该电气设备壳体和该泵壳之间,并在其内部具有循环的冷却剂;以及外壳,在其内部容纳着该电气设备壳体、该泵壳、以及该液冷式分隔件,并作为一体结构。
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公开(公告)号:CN114109832A
公开(公告)日:2022-03-01
申请号:CN202111445458.4
申请日:2018-03-13
Applicant: 株式会社荏原制作所
Abstract: 一种信息处理装置,具有:决定部,该决定部至少使用一个对象真空泵或其他真空泵的过去的对象状态量,来决定该对象状态量的正常变动范围或正常时间变动行为,所述对象状态量是根据流入真空泵内的气体负荷而变动的状态量;及比较部,该比较部对所述对象真空泵的当前的对象状态量和该正常变动范围或该正常时间变动行为进行比较,并输出比较结果。
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公开(公告)号:CN102220980B
公开(公告)日:2015-08-26
申请号:CN201110121383.4
申请日:2011-04-19
Applicant: 株式会社荏原制作所
CPC classification number: F04C25/02 , F01C21/007 , F04C28/08 , F04C29/045 , F04C29/047 , F04C2220/12 , F04C2240/30 , F04C2240/40 , F04C2240/403 , F04C2240/808
Abstract: 一种小尺寸的干式真空泵设备,因为其包括使用例如冷却水的冷却剂的高效冷却单元,该冷却单元用于冷却以变频器的切换部件为代表的自发热值高的大电流电路部件。该干式真空泵设备包括:干式真空泵,其包含泵单元和用于驱动该泵单元的电机;变频器,其用于将来自于交流电源的交流电转换为具有预定频率的交流电,并将该交流电提供给电机;电气设备壳体,在其内部容纳着包括该变频器的控制电路组件;泵壳,在其内部容纳着该干式真空泵和该干式真空泵的操作监测传感器;液冷式分隔件,其设置在该电气设备壳体和该泵壳之间,并在其内部具有循环的冷却剂;以及外壳,在其内部容纳着该电气设备壳体、该泵壳、以及该液冷式分隔件,并作为一体结构。
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公开(公告)号:CN101375063B
公开(公告)日:2011-04-27
申请号:CN200780003819.1
申请日:2007-01-29
Applicant: 株式会社荏原制作所
CPC classification number: F04C28/24 , F04C18/16 , F04C23/00 , F04C23/001 , F04C25/02 , F04C29/0085 , H02K7/11 , H02K16/00
Abstract: 本发明涉及能够获得大约1Pa的极限压力的干式真空泵单元。真空泵单元包括设置在外压力侧的主泵(15)和设置在真空侧的增压泵(16)。增压泵(16)和主泵(15)串联连接。增压泵(16)具有比主泵(15)泵抽速度更高的泵抽速度。主泵(15)和增压泵(16)包括一对泵转子(52a和52b),具有入口孔和出口孔的外壳(50),以及一对与泵转子对一起可旋转的磁转子(54和54)。
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公开(公告)号:CN100514007C
公开(公告)日:2009-07-15
申请号:CN200610077837.1
申请日:2006-05-10
Applicant: 株式会社荏原制作所
IPC: G01F1/24
Abstract: 本发明公开了一种流量计,其可以以高测量精度测量流体的小流量,尺寸小,可处理各种类型的试剂,且容易制造,成本低。所述流量计包括:壳体,其具有增大部分,并垂直布置;浮子,其封闭在所述壳体的增大部分中,且至少部分具有检测表面,所述检测表面从下面流过而进入壳体中以及向上流入壳体中的流体向上推;以及至少一个位移传感器,其设置在壳体的增大部分的外面,用于通过使浮子的检测表面磁化而检测浮子的轴向位移。
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公开(公告)号:CN101375063A
公开(公告)日:2009-02-25
申请号:CN200780003819.1
申请日:2007-01-29
CPC classification number: F04C28/24 , F04C18/16 , F04C23/00 , F04C23/001 , F04C25/02 , F04C29/0085 , H02K7/11 , H02K16/00
Abstract: 本发明涉及能够获得大约1Pa的极限压力的干式真空泵单元。真空泵单元包括设置在外压力侧的主泵(15)和设置在真空侧的增压泵(16)。增压泵(16)和主泵(15)串联连接。增压泵(16)具有比主泵(15)泵抽速度更高的泵抽速度。主泵(15)和增压泵(16)包括一对泵转子(52a和52b),具有入口孔和出口孔的外壳(50),以及一对与泵转子对一起可旋转的磁转子(54和54)。
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公开(公告)号:CN1862236A
公开(公告)日:2006-11-15
申请号:CN200610077837.1
申请日:2006-05-10
Applicant: 株式会社荏原制作所
IPC: G01F1/24
Abstract: 本发明公开了一种流量计,其可以以高测量精度测量流体的小流量,尺寸小,可处理各种类型的试剂,且容易制造,成本低。所述流量计包括:壳体,其具有增大部分,并垂直布置;浮子,其封闭在所述壳体的增大部分中,且至少部分具有检测表面,所述检测表面从下面流过而进入壳体中以及向上流入壳体中的流体向上推;以及至少一个位移传感器,其设置在壳体的增大部分的外面,用于通过使浮子的检测表面磁化而检测浮子的轴向位移。
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公开(公告)号:CN203272139U
公开(公告)日:2013-11-06
申请号:CN201320199734.8
申请日:2013-04-19
Applicant: 株式会社荏原制作所
Abstract: 本实用新型的真空泵,通过降低电动机转子的发热并提高电动机转子的冷却效率而改善电动机效率。该真空泵使一对相对置地配置的罗茨转子(2、2)同步旋转来进行排气,在罗茨转子(2、2)的吸入侧的主轴端(2a、2a)安装有环设永久磁铁(5a、5b)的电动机转子(5A、5B),并且用覆盖电动机转子(5A、5B)的外周及一侧的端面的壳(7、7)来密封泵部,在壳(7、7)的外周设置电动机定子(6),该电动机定子(6)的构成包括:水冷的电动机机架(9)、电动机定子铁芯(6a)以及绕组(8a、8b)。
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