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公开(公告)号：CN102810626A
公开(公告)日：2012-12-05
申请号：CN201110149611.9
申请日：2011-06-03
Applicant: 清华大学
Abstract: 本发明公开了属于功能材料的微加工和器件集成领域的一种基于精密机械加工的微型热电器件制作方法。该工艺的核心是热电堆(热电臂阵列)的制作，具体步骤为：先利用精密切割法分别在P、N型热电块体薄片上加工出一系列平行凹槽，然后在环氧树脂的润滑下插嵌复合，待固化后再沿垂直于这些沟槽的方向切割出一系列平行凹槽并填入环氧树脂，待再固化后经过抛光就可以制作出二维排布的热电臂阵列。通过后续的电极制作和封装工艺，就可以制作出适用于便携式电源或微区制冷的毫米尺度的微型热电器件。
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公开(公告)号：CN101905972A
公开(公告)日：2010-12-08
申请号：CN200910142378.4
申请日：2009-06-04
Applicant: 清华大学
IPC: C04B35/453 , C04B35/622 , C04B35/64
Abstract: 一种铝掺杂的氧化锌基热电材料及其制备方法，属于环境友好的新能源材料领域。该氧化锌基热电材料化学组成为Zn1-xAlxO(0≤x≤0.20)；其电导率为65～1100S·cm-1，热导率为8～35W·m-1·k-1。制备该铝掺杂的氧化锌基热电材料采用Zn(OH)2和Al(OH)3粉末按照Zn1-xAlxO化学计量配比，0≤x≤0.20；将配比好的原料粉末进行球磨混合；放入刚玉坩埚100～550℃焙烧；将焙烧后的粉末装入石墨模具烧结，烧结温度为500～1200℃，即得到所述铝掺杂的氧化锌基热电材料。本发明更容易地实现掺杂；能获得高致密度的材料；获得的材料具有良好的机械性能和热电性能。
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公开(公告)号：CN100551875C
公开(公告)日：2009-10-21
申请号：CN200610112893.4
申请日：2006-09-06
Applicant: 清华大学 , 日本丰田汽车株式会社
IPC: C04B35/64 , C04B35/495
Abstract: 本发明公开了一种抑制碱金属挥发制备铌酸盐压电陶瓷材料的方法。该方法简称为双层坩埚法：在常用氧化铝陶瓷外坩埚里内置一个与烧结材料相似成分的碱金属铌酸盐内坩埚，并在内坩埚周围充填碱金属铌酸盐埋粉。具体方法是将碱金属铌酸盐陶瓷预烧后的压制坯体放入与其成分相似的碱金属铌酸盐内坩埚中，再将其埋入盛有与待烧结陶瓷相似成分的碱金属铌酸盐埋粉的外坩埚中，在大气中进行无压烧结。该方法能有效抑制烧结过程中的碱金属挥发，并能得到高致密度的陶瓷块体制品，其压电常数比只用埋粉烧结的碱金属铌酸盐陶瓷有较大幅度的提高。
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公开(公告)号：CN101436641A
公开(公告)日：2009-05-20
申请号：CN200810239624.3
申请日：2008-12-12
Applicant: 清华大学
IPC: H01L35/34
Abstract: 本发明公开了一种制备具有高纵横比热电臂的微型热电器件的方法。该方法利用机械加工在玻璃薄片上制作出凹槽，并通过加压烧结成功制成具有30～150微米微孔阵列的玻璃模板；通过利用光刻和磁控溅射技术在单晶硅衬底上面制作叉指电极来分别控制P型和N型热电材料的电化学沉积，从而制作出交替排列的P型、N型热电阵列；在电化学法填充N型Bi2Te3材料的过程中，设计出一种反向脉冲沉积的工艺，从而实现纵横比超过10的填充生长。
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公开(公告)号：CN101269800A
公开(公告)日：2008-09-24
申请号：CN200810105572.0
申请日：2008-04-30
Applicant: 清华大学
IPC: C01B19/04
Abstract: 一种非均质Bi2Te3热电材料及制备方法，属于能源材料技术领域。该方法分化合物粉末的合成和成型制备两部分，首先将高纯Bi和Te元素单质按照原子质量配比，采用机械合金化工艺通过不同的球磨时间分别获得不同粒径的Bi2Te3粗细粉末。然后将粗细粉末分别按照不同的成分进行混合，将混合好的粉料通过放电等离子烧结制备显微结构非均质的Bi2Te3块体材料。通过对Bi2Te3的显微结构进行非均质设计，在提高了材料的电传输性能的同时降低了材料的热导率，最终显著提高了材料的热电性能。该方法具有工艺简便、时间短、成本低和实用性强等优点。
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公开(公告)号：CN101255265A
公开(公告)日：2008-09-03
申请号：CN200810103886.7
申请日：2008-04-11
Applicant: 清华大学
IPC: C08L63/00 , C08J5/10 , C04B35/495 , C04B35/622 , B29C70/26
Abstract: 一种无铅压电陶瓷/聚合物1－3结构复合材料及其加工方法，属于功能陶瓷材料及其制造技术领域。复合材料由(Na，K)NbO3基无铅压电陶瓷与环氧树脂组成，陶瓷柱分散在环氧树脂基体中，利用机械加工得到的压电陶瓷微柱阵列排列分布在聚合物基体中，压电陶瓷的微柱的截面宽度40－100um，纵横比3～10。被加工成截面宽度40～100um的微柱阵列形式分布在聚合物的基体中。在切割压电陶瓷的过程中，通过在第一次平行切割后填入树脂大大增强被加工样品的强韧性和微柱阵列的完整性，从而将压电陶瓷柱状阵列的精细加工尺度提高了一个数量级。具有微细结构的1－3型有序复合压电材料可用于高频医疗超声成像技术。
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公开(公告)号：CN1669986A
公开(公告)日：2005-09-21
申请号：CN200510063084.4
申请日：2005-04-06
Applicant: 清华大学
IPC: C04B35/491 , C04B35/622 , H01L41/187
Abstract: 本发明公开了属于功能陶瓷材料及其制造技术领域的一种压电陶瓷膜的制备方法。此方法利用电泳沉积法与溶胶浸润法相结合的两步法在导电性基板制备陶瓷厚膜。采用两步法进行压电陶瓷膜的制备。首先将陶瓷粉末制成稳定带电的悬浮液，在导电或者附有导电电极的衬底上进行电泳沉积，随后对干燥后的粉末沉积体进行溶胶浸润，再进行热处理和低温烧结得到致密的陶瓷膜。本发明结合电泳沉积法和溶胶凝胶法的优点，可降低烧结温度，可以在形状复杂和表面多孔基板上制备均匀的10－100um的范围内的厚膜，膜的致密度较高，制备方法简单快捷，陶瓷沉积层，比传统方法更加经济。可用于制备微型机电系统(MEMS)中微驱动器部件。
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公开(公告)号：CN117320532A
公开(公告)日：2023-12-29
申请号：CN202311277647.4
申请日：2023-09-28
Applicant: 清华大学
IPC: H10N10/852 , H10N10/01 , C01G3/00
Abstract: 本发明公开了一种硒化亚铜基热电材料及其制备方法和应用，该硒化亚铜基热电材料的化学组成为：Cu2‑xSe‑n AgSbF6，其中，0≤x≤0.25，0＜n≤2％。该硒化亚铜基热电材料的功率因子保持在较高水平，热导率较低，同时能够限制铜离子长程迁移，从而具有较高的热电性能和较强的稳定性。
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公开(公告)号：CN112028632B
公开(公告)日：2021-06-04
申请号：CN202010792151.0
申请日：2020-08-08
Applicant: 清华大学
IPC: C04B35/547 , C04B35/622 , H01L35/16
Abstract: 本发明属于能源材料技术领域，具体涉及一种非化学计量比碲化铋基热电材料及其制备方法。本发明材料具有下列通式所示的化学组成：BixSb2‑xTe3+y，制备方法为：首先按照通式的化学组成称取Bi单质粉末、Sb单质颗粒和Te单质粉末原料，进行球磨处理，得到粉末；然后将所得的粉末进行循环次数为1至5次的循环放电等离子体烧结处理得到块体样品。本发明制得的碲化铋基热电材料结晶性良好、结构致密，相较于传统机械合金化结合烧结方法制备的样品晶粒明显增大且引入了大量位错，从而电学性能提升且晶格热导率降低，具有优异的热电性能。同时，制备工艺操作简便、周期短、无高温危险性、能耗少，具有广阔的应用前景。
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公开(公告)号：CN111925208A
公开(公告)日：2020-11-13
申请号：CN202010782448.9
申请日：2020-08-06
Applicant: 清华大学 , 浙江清华长三角研究院 , 歌尔股份有限公司
IPC: C04B35/495 , C04B35/622 , C04B41/88
Abstract: 本发明公布了一种铌酸锂钠基无铅压电陶瓷及其制备方法，所述铌酸锂钠基无铅压电陶瓷由下列所示的化学通式所组成(1-x)LiαNa1-αNbO3-xBaTiO3；在制备过程中，将Li2CO3、Na2CO3、Nb2O5、TiO2、BaCO3混合加入无水乙醇球磨，烘干得到混合粉料，将该粉料进行预烧结；对预烧结后的粉料进行二次球磨，然后冷压成型得到陶瓷粗坯；陶瓷粗坯在空气气氛中高温烧结得到陶瓷样品，最后对样品进行极化处理得到铌酸锂钠基无铅压电陶瓷。本发明制备的铌酸锂钠基无铅压电陶瓷不仅具有高压电系数、高介电常数和高机电耦合系数的特点，同时还具有原料易于获得、成分简单不含剧毒元素铅、减少环境负担的优点；且制备工艺简单，耗时短。本发明具有广阔的应用前景。
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