微型机械及其制造方法
    13.
    发明公开

    公开(公告)号:CN1568284A

    公开(公告)日:2005-01-19

    申请号:CN03801273.1

    申请日:2003-08-08

    CPC classification number: H03H3/0076 H03H9/2463 H03H9/462 H03H2009/02511

    Abstract: 本发明提供了一种用于具有高Q值和更高频带的高频过滤器的微型机械。该微型机械(20)包括:设置在衬底(1)上的输出电极(7);包括第一绝缘薄膜(9)和第二绝缘薄膜(11)的夹层绝缘薄膜,所述第一和第二绝缘薄膜设置在衬底上以覆盖所述输出电极(7);孔图案(11a),设置在所述第二绝缘薄膜(11)中以到达所述输出电极(7);以及带状振动器电极(15),设置在所述第二绝缘薄膜(11)上,从而横过由所述孔图案(11a)内部构成的间隔部分(A)的上侧。

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