公开(公告)号：CN1681733A

公开(公告)日：2005-10-12

申请号：CN03821871.2

申请日：2003-07-14

Applicant: 索尼株式会社

Inventor： 多田正裕 ,  木下隆 ,  谷口武士 ,  池田浩一

IPC: B81B3/00 ,  B81C1/00

CPC classification number: H03H9/2463 ,  H03H3/0072

Abstract: 本发明公开一种用于具有高Q值和高频带的高频滤波器的微型机器(20)。在微型机器(20)中包括：设置在基片(4)上的输入电极(7b)、输出电极(7a)和支持电极(7c)；以及带状振动电极(15)，在穿过支持电极(7c)将振动电极(15)的两端部分支撑在输入电极(7b)和基片(4)上的状态下，通过穿过间隙部分(A)将梁(振动部分)16铺设在输出电极(7a)的上部形成振动电极(15)，其中在从端部至梁(16)的整个表面范围上，振动电极(15)的两端部分被完全地固定于所述输入电极(7b)和支持电极(7c)。

公开(公告)号：CN1268538C

公开(公告)日：2006-08-09

申请号：CN03801273.1

申请日：2003-08-08

Applicant: 索尼株式会社

Inventor： 多田正裕 ,  木下隆 ,  谷口武士 ,  池田浩一

IPC: B81B3/00 ,  B81C1/00

CPC classification number: H03H3/0076 ,  H03H9/2463 ,  H03H9/462 ,  H03H2009/02511

Abstract: 本发明提供了一种用于具有高Q值和更高频带的高频过滤器的微型机械。该微型机械(20)包括：设置在衬底(1)上的输出电极(7)；包括第一绝缘薄膜(9)和第二绝缘薄膜(11)的夹层绝缘薄膜，所述第一和第二绝缘薄膜设置在衬底上以覆盖所述输出电极(7)；孔(11a)，设置在所述第二绝缘薄膜(11)中以到达所述输出电极(7)；以及带状振动器电极(15)，设置在所述第二绝缘薄膜(11)上，从而横过由所述孔(11a)内部构成的间隔部分(A)的上侧。

公开(公告)号：CN100447074C

公开(公告)日：2008-12-31

申请号：CN03821871.2

申请日：2003-07-14

Applicant: 索尼株式会社

Inventor： 多田正裕 ,  木下隆 ,  谷口武士 ,  池田浩一

IPC: B81B3/00 ,  B81C1/00

CPC classification number: H03H9/2463 ,  H03H3/0072

Abstract: 本发明公开一种用于具有高Q值和高频带的高频滤波器的微型机器(20)。在微型机器(20)中包括：设置在基片(4)上的输入电极(7b)、输出电极(7a)和支持电极(7c)；以及带状振动电极(15)，在穿过支持电极(7c)将振动电极(15)的两端部分支撑在输入电极(7b)和基片(4)上的状态下，通过穿过间隙部分(A)将梁(振动部分)16铺设在输出电极(7a)的上部形成振动电极(15)，其中在从端部至梁(16)的整个表面范围上，振动电极(15)的两端部分被完全地固定于所述输入电极(7b)和支持电极(7c)。

公开(公告)号：CN1568284A

公开(公告)日：2005-01-19

申请号：CN03801273.1

申请日：2003-08-08

Applicant: 索尼株式会社

Inventor： 多田正裕 ,  木下隆 ,  谷口武士 ,  池田浩一

IPC: B81B3/00 ,  B81C1/00

CPC classification number: H03H3/0076 ,  H03H9/2463 ,  H03H9/462 ,  H03H2009/02511

Abstract: 本发明提供了一种用于具有高Q值和更高频带的高频过滤器的微型机械。该微型机械(20)包括：设置在衬底(1)上的输出电极(7)；包括第一绝缘薄膜(9)和第二绝缘薄膜(11)的夹层绝缘薄膜，所述第一和第二绝缘薄膜设置在衬底上以覆盖所述输出电极(7)；孔图案(11a)，设置在所述第二绝缘薄膜(11)中以到达所述输出电极(7)；以及带状振动器电极(15)，设置在所述第二绝缘薄膜(11)上，从而横过由所述孔图案(11a)内部构成的间隔部分(A)的上侧。