附有滑动台之致动器
    11.
    发明公开

    公开(公告)号:CN1105109A

    公开(公告)日:1995-07-12

    申请号:CN94117100.0

    申请日:1994-10-12

    Abstract: 本发明之目的系在于提供一种滑动台之变位量之增加无关连而可将该滑动台之长度方向设定于规定长度,而且即使上述滑动台之变位量增加也不会使滑动台挠曲的刚性高的附有滑动台之致动器。在附有滑动台之气缸10,沿着切除部26a(26b)而变位之活塞杆34a(34b)前端部,系借设于滑动台16之一端部端板36相连接,而随上述活塞杆34a(34b)之变位,滑动台16也同时向缸体12之轴线方向变位。当上述滑动台16位在其中一方之移动终端位置时,依工件及滑动台16之重量所产生之载重经由导轨14直接加载于缸体12。

    带有除静电装置的空气浮起装置

    公开(公告)号:CN1799964B

    公开(公告)日:2012-03-07

    申请号:CN200510138126.6

    申请日:2005-12-22

    CPC classification number: B65G51/03 B65G51/02

    Abstract: 本发明的课题为,在借助空气的喷射使板状工件浮起的空气浮起装置上,削减除去由工件浮起用的空气产生的静电的除静电装置的设置空间。其解决方案为,在使工件(6)浮起的工件的浮起面(2a)上设置多个空气喷射孔(3)、借助空气的喷射使该工件(6)浮起的装置中,在上述板状工件浮起用的空气供应流路上,设置使所述空气离子化用的离子化装置(5),除去由喷射出来的工件浮起用的空气产生的静电。

    伺服气缸装置及其控制方法

    公开(公告)号:CN100458187C

    公开(公告)日:2009-02-04

    申请号:CN200510059377.5

    申请日:2005-03-29

    CPC classification number: F15B15/2815 F15B9/09

    Abstract: 本发明提供一种伺服气缸装置及其控制方法,用控制器控制分别与气缸的头侧压力室及杆侧压力室连接着的伺服阀,由此进行使活塞前进到目标位置的前进步骤、之后进行使该活塞产生所需加压力的加压步骤,在上述前进步骤中,把头侧伺服阀朝给气侧全开,同时将杆侧伺服阀朝排气侧开放,开始了活塞的驱动后,使杆侧伺服阀的开度变化成与活塞的现在位置和目标位置的偏差相应的开度,这样,使活塞的速度随着接近上述目标位置而平滑地减速。

    带除静电装置的浮起装置及该浮起装置中的除静电方法

    公开(公告)号:CN1799964A

    公开(公告)日:2006-07-12

    申请号:CN200510138126.6

    申请日:2005-12-22

    CPC classification number: B65G51/03 B65G51/02

    Abstract: 本发明的课题为,在借助空气的喷射使板状工件浮起的空气浮起装置上,削减除去由工件浮起用的空气产生的静电的除静电装置的设置空间。其解决方案为,在使工件(6)浮起的工件的浮起面(2a)上设置多个空气喷射孔(3)、借助空气的喷射使该工件(6)浮起的装置中,在上述国家去年浮起用的空气供应流路上,设置使所述空气离子化用的离子化装置(5),除去由喷射出来的工件浮起用的空气产生的静电。

    带有滑动台的致动器
    16.
    发明授权

    公开(公告)号:CN1048439C

    公开(公告)日:2000-01-19

    申请号:CN94117100.0

    申请日:1994-10-12

    Abstract: 本发明的目的在于提供一种带滑动台的致动器,其中可以在与滑动台的位移量增加无关的情况下来设定滑动台长度方向的长度量,即使滑动台的位移量增大也不会发生变形而具有良好的刚性。在带滑动台的气缸10中,活塞杆34a(34b)沿切除部26a(26b)移动,其前端部与位于滑动台16一端的端板36相连,随着活塞杆34a(34b)的移动,滑动台16也沿缸体12的轴向运动,当滑动台16抵达一个终端位置时,工件及滑动台16的重量负荷经导轨14而加在缸体12上。

    闸阀
    18.
    外观设计
    闸阀 失效

    公开(公告)号:CN301940913S

    公开(公告)日:2012-05-30

    申请号:CN201130377834.1

    申请日:2011-10-19

    Abstract: 1.本外观设计的产品名称:闸阀。2.本外观设计产品的用途:用于使流路打开或关闭。3.本外观设计的设计要点:产品的形状。4.最能表明设计要点的视图:立体图1。

    闸阀
    19.
    外观设计
    闸阀 失效

    公开(公告)号:CN301777564S

    公开(公告)日:2011-12-28

    申请号:CN201130167627.3

    申请日:2011-05-31

    Abstract: 1.本外观设计产品的名称:闸阀。2.本外观设计产品的用途:用于对半导体制造装置的加工腔连通开口进行开闭。3.本外观设计的设计要点:产品的形状。4.最能表明设计要点的图片或者照片:立体图1。

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