公开(公告)号：CN101172540B

公开(公告)日：2012-04-18

申请号：CN200710152972.2

申请日：2007-09-29

Applicant: SMC株式会社

Inventor： 杨清海 ,  高桥克彰 ,  细野正行 ,  中野和夫

IPC: B65G49/05 ,  B65H5/22 ,  B25J15/06 ,  H01L21/677

CPC classification number: H01L21/6838 ,  B65G49/061 ,  B65G2249/045

Abstract: 本发明公开一种非接触式运送装置。具有供给端口(46)的内部构件(14)被安装到壳体(12)的内部，壳体(12)与内部构件(14)通过连接螺栓(16)连接到一起。空气被输送到内部构件(14)的供给端口(46)，并经连通通道(50)被引流到环形通道(48)中。而后，空气被从与环形通道(48)连通的多个引出孔(64)沿旋流方向向外引流到面对着工件(W)的环形凹槽(62)中。此外，通过使空气沿环形凹槽(62)流动，可将工件保持在相对于内部构件(14)的支持表面(40)不接触的状态下，其中，环形凹槽的横截面被制成大体上为梯形。

公开(公告)号：CN1821587B

公开(公告)日：2010-10-06

申请号：CN200610004442.9

申请日：2006-02-14

Applicant: SMC株式会社

Inventor： 杨清海 ,  畠山正俊 ,  中野和夫 ,  宫地博

IPC: F15B9/09 ,  F15B11/024 ,  F15B11/06 ,  G05D3/00 ,  G05D3/12

CPC classification number: F15B15/1423 ,  F15B15/262 ,  F15B2211/6336 ,  F15B2211/6656 ,  F15B2211/7053 ,  F15B2211/8616

Abstract: 在定位控制用气压缸中，通过极简单的手段，有效地控制在定位目标位置附近等处产生的活塞的微振动。在通过定位控制使活塞(5)停止于目标位置处的气压缸(1)的活塞杆(6)上设有微振动抑制机构(20)。所述微振动抑制机构(20)具有由与活塞杆(6)接触的一对密封件(21a)形成的摩擦件(21)，利用该摩擦件(21)形成向杆(6)的周围供给的压缩空气的空气滞留部(22)，并且，设置向所述空气滞留部(22)给排压缩空气的空气流道(23)，其中，所述压缩空气用于经由所述摩擦件(21)在与活塞杆(6)之间产生抑制微振动的滑动摩擦。

公开(公告)号：CN101025630A

公开(公告)日：2007-08-29

申请号：CN200710005259.5

申请日：2007-02-12

Applicant: SMC株式会社

Inventor： 杨清海 ,  中野和夫 ,  藤原伸广 ,  宮地博 ,  畠山正俊

IPC: G05D3/12

CPC classification number: G05B13/04 ,  G05B11/36

Abstract: 一种定位控制系统(10)，包括用于由受控对象(P)的气缸(12)的位移距离(Y)来估计扰动(D)、并反馈该估计扰动的扰动观测器(46)。该定位控制系统(10)还包括设置在包括有扰动观测器(46)的反馈环中的饱和元件(48)和低通元件(Q)，以及用于根据偏差(ε)来改变饱和元件(48)的饱和值(L)的饱和值改变器(50)。饱和元件(48)被设置在正反馈副环(70)的前向路径中，而低通元件(Q)被设置在该正反馈副环(70)的反馈路径中。

公开(公告)号：CN100527034C

公开(公告)日：2009-08-12

申请号：CN200710005259.5

申请日：2007-02-12

Applicant: SMC株式会社

Inventor： 杨清海 ,  中野和夫 ,  藤原伸广 ,  宮地博 ,  畠山正俊

IPC: G05D3/12 ,  G05B13/02 ,  G05B11/36

CPC classification number: G05B13/04 ,  G05B11/36

Abstract: 一种定位控制系统(10)，包括用于由受控对象(P)的气缸(12)的位移距离(Y)来估计扰动(D)、并反馈该估计扰动的扰动观测器(46)。该定位控制系统(10)还包括设置在包括有扰动观测器(46)的反馈环中的饱和元件(48)和低通元件(Q)，以及用于根据偏差(ε)来改变饱和元件(48)的饱和值(L)的饱和值改变器(50)。饱和元件(48)被设置在正反馈副环(70)的前向路径中，而低通元件(Q)被设置在该正反馈副环(70)的反馈路径中。

公开(公告)号：CN1821587A

公开(公告)日：2006-08-23

申请号：CN200610004442.9

申请日：2006-02-14

Applicant: SMC株式会社

Inventor： 杨清海 ,  畠山正俊 ,  中野和夫 ,  宫地博

IPC: F15B9/09 ,  F15B11/024 ,  F15B11/06 ,  G05D3/00 ,  G05D3/12

CPC classification number: F15B15/1423 ,  F15B15/262 ,  F15B2211/6336 ,  F15B2211/6656 ,  F15B2211/7053 ,  F15B2211/8616

Abstract: 在定位控制用气压缸中，通过极简单的手段，有效地控制在定位目标位置附近等处产生的活塞的微振动。在通过定位控制使活塞(5)停止于目标位置处的气压缸(1)的活塞杆(6)上设有微振动抑制机构(20)。所述微振动抑制机构(20)具有由与活塞杆(6)接触的一对密封件(21a)形成的摩擦件(21)，利用该摩擦件(21)形成向杆(6)的周围供给的压缩空气的空气滞留部(22)，并且，设置向所述空气滞留部(22)给排压缩空气的空气流道(23)，其中，所述压缩空气用于经由所述摩擦件(21)在与活塞杆(6)之间产生抑制微振动的滑动摩擦。

公开(公告)号：CN101172540A

公开(公告)日：2008-05-07

申请号：CN200710152972.2

申请日：2007-09-29

Applicant: SMC株式会社

Inventor： 杨清海 ,  高桥克彰 ,  细野正行 ,  中野和夫

IPC: B65G49/05 ,  B65H5/22 ,  B25J15/06 ,  H01L21/677

CPC classification number: H01L21/6838 ,  B65G49/061 ,  B65G2249/045

Abstract: 本发明公开一种非接触式运送装置。具有供给端口(46)的内部构件(14)被安装到壳体(12)的内部，壳体(12)与内部构件(14)通过连接螺栓(16)连接到一起。空气被输送到内部构件(14)的供给端口(46)，并经连通通道(50)被引流到环形通道(48)中。而后，空气被从与环形通道(48)连通的多个引出孔(64)沿旋流方向向外引流到面对着工件(W)的环形凹槽(62)中。此外，通过使空气沿环形凹槽(62)流动，可将工件保持在相对于内部构件(14)的支持表面(40)不接触的状态下，其中，环形凹槽的横截面被制成大体上为梯形。