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公开(公告)号：CN109072974A
公开(公告)日：2018-12-21
申请号：CN201780023048.6
申请日：2017-04-12
Abstract: 提供一种绝缘轴承，其包括：互相以同心配置的一对滚道圈；滚动自如地配置在一对滚道圈之间的滚动体。在一对滚道圈的至少一方形成有绝缘层。形成有绝缘层的滚道圈在其两端面形成有截面为圆弧状的环状凹槽，且至少从该滚道圈的非滚道面侧周面到环状凹槽为止的表面被绝缘层覆盖。优选的是，所述绝缘层是陶瓷热喷涂层。
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公开(公告)号：CN107109612A
公开(公告)日：2017-08-29
申请号：CN201580070942.X
申请日：2015-12-24
Abstract: 绝缘轴承具备：至少一者是金属制的外圈和内圈、以及在所述外圈和所述内圈之间自由滚动的多个滚动体，并且，用绝缘膜覆盖了所述外圈和内圈的至少单方，其中，所述绝缘膜是将作为添加物的碳化硅和/或氮化铝分散在由氧化铝构成的基材中的混合物，并且，所述添加物的含量是混合物总量的1～40质量％。
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公开(公告)号：CN107002217A
公开(公告)日：2017-08-01
申请号：CN201580058305.0
申请日：2015-10-28
Abstract: 本发明的喷镀用粉末含有选自W和Mo的第一元素、选自Co、Ni和Fe的第二元素、选自C和B的第三元素和选自Al和Mg的第四元素作为构成元素，以20摩尔％以上的量含有第二元素。喷镀用粉末中的第四元素相对于第二元素的摩尔比为0.05以上且0.5以下。喷镀用粉末具有包含Co/Ni/Fe、W和C的晶相，或者喷镀用粉末具有包含Co/Ni/Fe、W/Mo、和B的晶相。喷镀用粉末的X射线衍射光谱上的归属于Co、Ni或Fe的峰的强度是在同一X射线衍射光谱上显示出的最大峰的强度的0.1倍以下。
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公开(公告)号：CN104272450B
公开(公告)日：2016-11-23
申请号：CN201380023475.6
申请日：2013-03-22
Applicant: 东华隆株式会社
IPC: H01L21/683 , H02N13/00
CPC classification number: H01L21/6833 , C23C4/01 , C23C4/11 , C23C4/12 , H01L21/67103 , H01L21/6831 , H02N13/00
Abstract: 本发明提供一种静电夹具和静电夹具的制造方法，其不存在采用粘接剂的场合的缺陷，并且设计自由度高。一种静电夹具(1)，包括：基材部(2)，其构成夹具主体；第1绝缘层(3)，其由形成于基材部(2)的表面(2a)上的喷镀覆膜构成；加热部(4)，其由导电体构成，该导电体通过涂敷导电性糊的方式形成于第1绝缘层(3)的表面(3a)上；第2绝缘层(5)，其由按照覆盖加热部(4)的方式形成于第1绝缘层(3)的表面(3a)上的喷镀覆膜构成；电极部(6)，其通过喷镀于第2绝缘层(5)的表面(5a)上形成；以及电介体层(7)，其由按照覆盖电极部(6)的方式形成于第2绝缘层(5)的表面(5a)上的喷镀覆膜构成，该静电夹具(1)不采用粘接剂，降低了加热部(4)的体积电阻率。
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公开(公告)号：CN105428195A
公开(公告)日：2016-03-23
申请号：CN201510578768.1
申请日：2015-09-11
Applicant: 东京毅力科创株式会社 , 东华隆株式会社
CPC classification number: C23C4/134 , C23C4/005 , C23C4/01 , C23C4/02 , C23C4/06 , C23C4/105 , C23C4/11 , C23C4/127 , C23C4/131 , C23C28/042
Abstract: 本发明的课题在于抑制从氟化钇制的喷镀被膜产生微粒。本发明的解决方法在于提供一种在等离子体处理装置内被暴露于等离子体中的部件。该部件具有基材和被膜。基材例如为铝制或铝合金制。可以在基材的表面形成耐酸铝膜。被膜通过在包括基材或设置于该基材上的层的基底的表面上喷镀氟化钇而形成。该部件的被膜内的气孔率为4％以下，该被膜的表面的算术平均粗糙度(Ra)为4.5μm以下。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN105324341A
公开(公告)日：2016-02-10
申请号：CN201480034557.5
申请日：2014-06-13
CPC classification number: C23C4/10 , C03B35/181 , C23C4/18
Abstract: 在金属制的辊母材表面由陶瓷热喷涂膜覆盖的、经常在高温下使用的玻璃运送用辊中，进一步抑制从该陶瓷热喷涂膜的粒子脱落及该陶瓷热喷涂膜自身的剥离。一种玻璃运送用辊，其为金属制的辊母材表面由陶瓷热喷涂膜覆盖的玻璃运送用辊，其特征在于，将500～750℃的温度范围内的所述辊母材的线性热膨胀系数设为αs、将500～750℃的温度范围内的所述陶瓷热喷涂膜的线性热膨胀系数设为αc时，αs-αc≤2×10-6/℃，且8×10-6/℃≤αc≤14×10-6/℃；所述陶瓷热喷涂膜的从常温至750℃的由热膨胀引起的伸长率为0.6％～1.05％；所述陶瓷热喷涂膜的厚度为100μm～500μm；所述陶瓷热喷涂膜的利用截面图像分析法得到的孔隙率为2％以下。
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公开(公告)号：CN105051240A
公开(公告)日：2015-11-11
申请号：CN201480016798.7
申请日：2014-01-07
Applicant: 东华隆株式会社
Inventor： 虻川志向
CPC classification number: C23C4/18 , C23C4/11 , C23C4/134 , F16C19/06 , F16C19/52 , F16C33/62 , F16C33/64 , F16C2223/42
Abstract: 一种防电腐蚀用滚动轴承(1)，其具备金属制的外轮(2)和藉由多个滚动体(5)所配置的金属制的内轮(3)，在外轮(2)或内轮(3)的外表面(21)、(31)通过等离子体喷镀法形成有防电腐蚀用的陶瓷喷镀皮膜(10)。使被覆的外轮(2)或内轮(3)的外表面(21)、(31)的表面粗糙度为Ra：0.5μm～2.0μm，使陶瓷喷镀皮膜(10)的组成为铝氧化物的含量：98.0重量％～99.5重量％、钛氧化物的含量：0.5重量％～2重量％，使陶瓷喷镀皮膜(10)的膜厚为50μm～100μm，使陶瓷喷镀皮膜(10)的体积电阻率为1013Ωcm～1016Ωcm，使绝缘击穿电压为35kV/mm以上。
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公开(公告)号：CN104272450A
公开(公告)日：2015-01-07
申请号：CN201380023475.6
申请日：2013-03-22
Applicant: 东华隆株式会社
IPC: H01L21/683 , H02N13/00
CPC classification number: H01L21/6833 , C23C4/01 , C23C4/11 , C23C4/12 , H01L21/67103 , H01L21/6831 , H02N13/00
Abstract: 本发明提供一种静电夹具和静电夹具的制造方法，其不存在采用粘接剂的场合的缺陷，并且设计自由度高。一种静电夹具(1)，包括：基材部(2)，其构成夹具主体；第1绝缘层(3)，其由形成于基材部(2)的表面(2a)上的喷镀覆膜构成；加热部(4)，其由导电体构成，该导电体通过涂敷导电性糊的方式形成于第1绝缘层(3)的表面(3a)上；第2绝缘层(5)，其由按照覆盖加热部(4)的方式形成于第1绝缘层(3)的表面(3a)上的喷镀覆膜构成；电极部(6)，其通过喷镀于第2绝缘层(5)的表面(5a)上形成；以及电介体层(7)，其由按照覆盖电极部(6)的方式形成于第2绝缘层(5)的表面(5a)上的喷镀覆膜构成，该静电夹具(1)不采用粘接剂，降低了加热部(4)的体积电阻率。
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公开(公告)号：CN104204267A
公开(公告)日：2014-12-10
申请号：CN201280071515.X
申请日：2012-11-28
Applicant: 东华隆株式会社
Abstract: 本发明提供一种氟化物喷涂覆膜覆盖部件以及用于获得其的方法，该氟化物喷涂覆膜覆盖部件通过在基材表面覆盖碳化物金属陶瓷，并通过介设该金属陶瓷，牢固地密接氟化物喷涂覆膜，从而形成。通过在基材表面使用喷涂枪以高速喷洒碳化物金属陶瓷材料，从而形成使碳化物金属陶瓷颗粒的前端部埋没在基材中、同时呈膜状覆盖而成的碳化物金属陶瓷的底涂层或底漆部，然后通过在其上喷涂氟化物颗粒而形成氟化物喷涂覆膜。
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公开(公告)号：CN101074473B
公开(公告)日：2012-05-30
申请号：CN200710100607.7
申请日：2007-03-19
Applicant: 东京毅力科创株式会社 , 东华隆株式会社
CPC classification number: C23C28/042 , C23C4/02 , C23C4/11 , C23C4/18 , C23C26/00
Abstract: 本发明谋求在强腐蚀性环境下，提高进行等离子体蚀刻加工的半导体加工用装置等的容器内配设的部件的耐久性。提供一种陶瓷覆盖部件，在金属制或非金属制基材表面，直接具有或隔着底涂层具有由周期表IIIB族氧化物的喷镀膜构成的多孔质层，在该层上，形成有通过照射处理电子束或激光束等高能量形成的二次再结晶层。
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