-
公开(公告)号:CN102598221A
公开(公告)日:2012-07-18
申请号:CN201080049331.4
申请日:2010-10-20
Applicant: 中央硝子株式会社
IPC: H01L21/304
CPC classification number: H01L21/02068 , C11D1/002 , C11D1/004 , C11D1/04 , C11D1/40 , C11D11/0047 , H01L21/02057 , H01L21/0212 , H01L21/027 , H01L21/306 , H01L21/31127
Abstract: 本发明公开了一种晶片的拒水性保护膜形成用化学溶液,其特征在于,其为包含拒水性保护膜形成剂的化学溶液,所述拒水性保护膜形成剂用于在表面形成有微细的凹凸图案且该凹凸图案的至少凹部表面的一部分包含选自由钛、氮化钛、钨、铝、铜、锡、氮化钽、钌以及硅组成的组中的至少1种物质的晶片的清洗时至少在前述凹部表面形成拒水性保护膜,该拒水性保护膜形成剂为非水溶性的表面活性剂。利用该化学溶液形成的拒水性保护膜可以防止清洗工序中的晶片的图案倾塌。
-
公开(公告)号:CN101675133A
公开(公告)日:2010-03-17
申请号:CN200880014943.2
申请日:2008-04-28
Applicant: 中央硝子株式会社
IPC: C09D183/04 , C03C17/25 , C09D1/00 , C09D183/02 , C09D183/10
CPC classification number: C09D1/00 , C03C1/008 , C03C17/25 , C03C2217/213 , C03C2218/113 , C09D183/04
Abstract: 本发明涉及一种涂布液,其为用于获得溶胶凝胶膜的涂布液,该涂布液含有固体成分和溶剂,该固体成分具有烷氧基硅烷在酸性水溶液中水解和缩聚而获得的氧化硅低聚物,该溶剂具有沸点为100℃以上且粘度为3.5mPa·s以下的有机溶剂和前述酸性水溶液,其中,前述氧化硅低聚物的聚苯乙烯换算的数均分子量为500~4000,涂布液中的固体成分的含量为8~30重量%,固体成分中的氧化硅低聚物的含量为10重量%以上。通过本发明,即使用手工涂布等无需设备就可涂布的涂布方法,也可获得具有硬度、以透明性为首的外观、透视变形、膜厚等方面优良品质的溶胶凝胶膜。
-
公开(公告)号:CN101098945A
公开(公告)日:2008-01-02
申请号:CN200580025049.1
申请日:2005-08-01
Applicant: 中央硝子株式会社
IPC: C09K3/18 , C09D183/04 , C09D5/00 , B05D5/00 , B05D7/24 , C08L83/04 , C08K5/5419 , C03C17/30 , C03C23/00
CPC classification number: C03C17/3405 , C03C17/30 , C03C2217/76 , C03C2218/32 , C03C2218/33 , C08G77/24 , C08K5/5406 , C09D5/00 , C09D183/04 , C09D183/08 , C09D183/14 , C09K3/18
Abstract: 本发明是关于用于得到滑水性被膜的处理剂,该处理剂是混合在至少一个末端具有2个或3个可水解的官能基且二甲基硅氧烷单元(Si(CH3)2O)数是30~400的直链状聚二甲基硅氧烷,具有可水解的官能基且氟碳单元(CF2或者CF3)数是6~12的氟烷基硅烷,以及含有有机溶剂、酸和水的溶液而构成的。该处理剂相对处理剂的总量,按重量浓度,混合0.2~3.0重量%上述直链状聚二甲基硅氧烷、0.2~2.0重量%上述氟烷基硅烷、而且0.5~3.5重量%上述直链状聚二甲基硅氧烷和上述氟烷基硅烷的总量。
-
公开(公告)号:CN112585098B
公开(公告)日:2023-09-26
申请号:CN201980054665.1
申请日:2019-08-15
Applicant: 中央硝子株式会社
IPC: C03B37/083
Abstract: 本发明的用于制造玻璃纤维的漏板具备底板与多个排列在上述底板上的排出玻璃熔液的喷嘴,其中,上述底板具备水平截面为扁平状的底孔,上述喷嘴具备喷嘴壁与喷嘴孔,所述喷嘴壁沿上述底孔的轮廓从上述底板突出,所述喷嘴孔从上述底孔贯穿至上述喷嘴壁的前端且维持上述底孔的形状,上述喷嘴壁具有没有从上述底板突出的一对缺口,上述一对缺口隔着上述喷嘴孔的长边方向的中心轴相对且相向,上述缺口的宽度为上述喷嘴孔的长边方向的中心轴的长度的10%以上、95%以下。
-
公开(公告)号:CN110546717A
公开(公告)日:2019-12-06
申请号:CN201880025647.6
申请日:2018-02-13
Applicant: 中央硝子株式会社
IPC: H01B5/14 , H01B1/22 , H01B13/00 , C03C25/46 , C03B37/022 , C08K9/02 , C08L101/00
Abstract: 本发明的课题在于,提供一种容易配混至树脂中且树脂的导电性赋予也良好的导电性填料。本发明的导电性填料包含玻璃纤维的粉粒体,前述玻璃纤维在玻璃纤维的长度方向上具备金属覆盖层,前述玻璃纤维具有纤维长度分布,个数基准的累积分布10%处的纤维长度(L10)为20μm~200μm,个数基准的累积分布97%处的纤维长度(L97)为400μm~1000μm,前述玻璃纤维的平均纤维直径为1~40μm。
-
公开(公告)号:CN105612606B
公开(公告)日:2018-09-21
申请号:CN201480054698.3
申请日:2014-09-08
Applicant: 中央硝子株式会社
IPC: H01L21/304 , C07C211/07 , C07F9/38
Abstract: 本发明的晶片的清洗方法是表面形成有凹凸图案且该凹凸图案的凹部表面具有钛、钨、铝、铜、锡、钽和钌之中的至少1种元素的晶片的清洗方法,该方法至少具备:前处理工序,在凹凸图案的至少凹部保持清洗液;保护膜形成工序,在上述前处理工序后,在凹凸图案的至少凹部保持保护膜形成用化学溶液;以及干燥工序,通过干燥而从凹凸图案去除液体,上述保护膜形成用化学溶液是包含拒水性保护膜形成剂的化学溶液,所述拒水性保护膜形成剂用于在至少上述凹部表面形成拒水性保护膜,若上述保护膜形成用化学溶液为碱性则上述清洗液为酸性,若上述保护膜形成用化学溶液为酸性则上述清洗液为碱性。
-
公开(公告)号:CN107068540A
公开(公告)日:2017-08-18
申请号:CN201611162059.6
申请日:2011-12-20
Applicant: 中央硝子株式会社
Abstract: 本发明提供一种晶片的清洗方法。[课题]提供在表面具有凹凸图案的晶片的制造方法中用于改善容易诱发图案倾塌的清洗工序的清洗方法。[解决方法]所述清洗方法是表面具有凹凸图案的晶片的清洗方法,其至少具有以下工序:用清洗液(8)清洗上述晶片(1)的工序;用拒水性化学溶液(9)置换在清洗后保持于晶片(1)的凹部(4)的清洗液(8)的工序;干燥晶片(1)的工序,上述清洗液(8)包含80质量%以上的沸点为55~200℃的溶剂,通过使上述置换的工序中供给的拒水性化学溶液(9)的温度为40℃以上且低于该拒水性化学溶液(9)的沸点,从而至少使上述凹部表面拒水化。
-
公开(公告)号:CN107068538A
公开(公告)日:2017-08-18
申请号:CN201611028598.0
申请日:2010-10-20
Applicant: 中央硝子株式会社
IPC: H01L21/02 , H01L21/306
Abstract: 本发明涉及保护膜形成用化学溶液。本发明公开了一种晶片的拒水性保护膜形成用化学溶液,其特征在于,其为包含拒水性保护膜形成剂的化学溶液,所述拒水性保护膜形成剂用于在表面形成有微细的凹凸图案且该凹凸图案的至少凹部表面的一部分包含选自由钛、氮化钛、钨、铝、铜、锡、氮化钽、钌以及硅组成的组中的至少1种物质的晶片的清洗时至少在前述凹部表面形成拒水性保护膜,该拒水性保护膜形成剂为非水溶性的表面活性剂。利用该化学溶液形成的拒水性保护膜可以防止清洗工序中的晶片的图案倾塌。
-
公开(公告)号:CN102934207B
公开(公告)日:2016-04-06
申请号:CN201180028305.8
申请日:2011-06-03
Applicant: 中央硝子株式会社
IPC: H01L21/304 , H01L21/027
CPC classification number: H01L21/306 , G03F7/40
Abstract: 公开了一种用于在清洗表面具有微细凹凸图案(2)且该凹凸图案(2)的至少一部分含有硅元素的晶片(1)时在该凹凸图案(2)的至少凹部表面形成拒水性保护膜(10)的化学溶液。该化学溶液包含通式:R1aSi(H)bX4-a-b所示的硅化合物A和酸A,该酸A选自由三氟乙酸三甲基硅酯、三氟甲磺酸三甲基硅酯、三氟乙酸二甲基硅酯、三氟甲磺酸二甲基硅酯、三氟乙酸丁基二甲基硅酯、三氟甲磺酸丁基二甲基硅酯、三氟乙酸己基二甲基硅酯、三氟甲磺酸己基二甲基硅酯、三氟乙酸辛基二甲基硅酯、三氟甲磺酸辛基二甲基硅酯、三氟乙酸癸基二甲基硅酯和三氟甲磺酸癸基二甲基硅酯组成的组中的至少1种。
-
公开(公告)号:CN101489947B
公开(公告)日:2014-07-30
申请号:CN200780027552.X
申请日:2007-08-22
Applicant: 中央硝子株式会社
CPC classification number: C09D183/06 , C03C1/008 , C03C17/008 , C03C17/009 , C03C2217/213 , C03C2217/231 , C03C2217/445 , C03C2217/475 , C03C2217/476 , C03C2217/485 , C03C2217/948 , C03C2218/113 , C08L83/04 , C09D1/00 , C09D5/004 , C09D5/24 , C09D183/04 , Y10T428/256 , Y10T428/259 , Y10T428/265 , Y10T428/31612
Abstract: 开发热射线屏蔽玻璃,该热射线屏蔽玻璃显示可用于具有升降功能的车辆玻璃的膜强度,不会产生由于升降运动造成的摩擦而引起的异常噪音。车辆用热射线屏蔽玻璃为包含车辆玻璃和叠置在其至少一个主表面的包含导电性氧化物超细颗粒和二氧化硅粘结剂的热射线屏蔽膜,其中所述二氧化硅粘结剂由通过四烷氧基硅烷和三烷氧基硅烷的水解和缩聚产生的固成分组成,且其中由所述四烷氧基硅烷产生的固成分和由所述三烷氧基硅烷产生的固成分的重量比在55∶45至85∶15的范围内,且其中导电性氧化物超细颗粒与二氧化硅粘结剂的重量比在35∶65至70∶30的范围内。
-
-
-
-
-
-
-
-
-