晶片的清洗方法
    2.
    发明授权

    公开(公告)号:CN103283004B

    公开(公告)日:2017-04-12

    申请号:CN201180063349.4

    申请日:2011-12-20

    CPC classification number: H01L21/02057 C11D3/162 C11D11/0047

    Abstract: [课题]提供在表面具有凹凸图案的晶片的制造方法中用于改善容易诱发图案倾塌的清洗工序的清洗方法。[解决方法]所述清洗方法是表面具有凹凸图案的晶片的清洗方法,其至少具有以下工序:用清洗液(8)清洗上述晶片(1)的工序;用拒水性化学溶液(9)置换在清洗后保持于晶片(1)的凹部(4)的清洗液(8)的工序;干燥晶片(1)的工序,上述清洗液(8)包含80质量%以上的沸点为55~200℃的溶剂,通过使上述置换的工序中供给的拒水性化学溶液(9)的温度为40℃以上且低于该拒水性化学溶液(9)的沸点,从而至少使上述凹部表面拒水化。

    晶片的清洗方法
    3.
    发明公开

    公开(公告)号:CN103283004A

    公开(公告)日:2013-09-04

    申请号:CN201180063349.4

    申请日:2011-12-20

    CPC classification number: H01L21/02057 C11D3/162 C11D11/0047

    Abstract: [课题]提供在表面具有凹凸图案的晶片的制造方法中用于改善容易诱发图案倾塌的清洗工序的清洗方法。[解决方法]所述清洗方法是表面具有凹凸图案的晶片的清洗方法,其至少具有以下工序:用清洗液(8)清洗上述晶片(1)的工序;用拒水性化学溶液(9)置换在清洗后保持于晶片(1)的凹部(4)的清洗液(8)的工序;干燥晶片(1)的工序,上述清洗液(8)包含80质量%以上的沸点为55~200℃的溶剂,通过使上述置换的工序中供给的拒水性化学溶液(9)的温度为40℃以上且低于该拒水性化学溶液(9)的沸点,从而至少使上述凹部表面拒水化。

    用于制造玻璃纤维的嘴头和玻璃纤维的制造方法

    公开(公告)号:CN110337422A

    公开(公告)日:2019-10-15

    申请号:CN201880014287.X

    申请日:2018-02-23

    Abstract: 用于制造玻璃纤维的嘴头包括:一对长边壁和一对短边壁,该一对长边壁和一对短边壁由铂或铂合金形成;以及嘴孔,其由所述长边壁和短边壁形成,用来排出玻璃熔体。所述嘴孔具有水平截面为扁平状的孔形状,各长边壁在玻璃熔体的排出侧具有缺口,所述缺口的宽度为所述嘴孔的扁平状的孔形状的长边方向中心轴线的长度的10%~55%,所述一对长边壁是以所述嘴孔的所述中心轴线为对称轴对称的形状。利用该嘴头,能够高效地制造具有期望的截面形状的玻璃纤维。

    加压输送容器、使用了其的保管方法以及移液方法

    公开(公告)号:CN104176393A

    公开(公告)日:2014-12-03

    申请号:CN201410214947.2

    申请日:2014-05-20

    CPC classification number: B65B31/00 H01L21/67017

    Abstract: 本发明提供一种即使在长时间保管保护膜形成用化学溶液、用于配制该化学溶液的保护膜形成用化学溶液组合试剂后,也能够确保该化学溶液或该化学溶液组合试剂等液体的洁净性,且能够抑制该液体的带电的加压输送容器、使用了其的保管方法以及移液方法。一种加压输送容器,其特征在于,其为以保管保护膜形成用化学溶液或保护膜形成用化学溶液组合试剂、且能够通过对内部进行加压来移液的方式构成的加压输送容器,所述保护膜形成用化学溶液用于在表面具有凹凸图案且该凹凸图案的至少一部分包含硅元素的晶圆的该凹凸图案的至少凹部表面形成拒水性保护膜,所述保护膜形成用化学溶液组合试剂通过混合而形成上述保护膜形成用化学溶液。

    保护膜形成用化学溶液
    7.
    发明公开

    公开(公告)号:CN103299403A

    公开(公告)日:2013-09-11

    申请号:CN201180064801.9

    申请日:2011-12-28

    CPC classification number: H01L21/02068 C11D11/0047

    Abstract: 本发明的课题在于提供一种形成拒水性保护膜(10)的保护膜形成用化学溶液,其用于改善容易诱发表面形成有凹凸图案且该凹凸图案的凹部(4)表面具有钛、钨、铝、铜、锡、钽和钌中的至少1种元素的晶片(金属系晶片)的图案倾塌的清洗工序。[解决方案]一种拒水性保护膜形成用化学溶液,其特征在于,其为包含下述拒水性保护膜形成剂和溶剂的化学溶液,所述拒水性保护膜形成剂用于在前述金属系晶片的清洗工序之后且干燥工序之前在至少凹部(4)表面形成拒水性保护膜(10),该拒水性保护膜形成剂为通式[1]表示的化合物。(R1是一部分或全部氢元素任选被氟元素取代的碳原子数为1~18的1价烃基,R2各自相互独立地是包含一部分或全部氢元素任选被氟元素取代的碳原子数为1~18的烃基的1价有机基团,a是0至2的整数。)

    用于制造玻璃纤维的嘴头和玻璃纤维的制造方法

    公开(公告)号:CN115259653B

    公开(公告)日:2023-08-25

    申请号:CN202210718411.9

    申请日:2018-02-23

    Abstract: 本发明涉及用于制造玻璃纤维的嘴头和玻璃纤维的制造方法。用于制造玻璃纤维的嘴头包括:一对长边壁和一对短边壁,该一对长边壁和一对短边壁由铂或铂合金形成;以及嘴孔,其由所述长边壁和短边壁形成,用来排出玻璃熔体。所述嘴孔具有水平截面为扁平状的孔形状,各长边壁在玻璃熔体的排出侧具有缺口,所述缺口的宽度为所述嘴孔的扁平状的孔形状的长边方向中心轴线的长度的10%~55%,所述一对长边壁是以所述嘴孔的所述中心轴线为对称轴对称的形状。利用该嘴头,能够高效地制造具有期望的截面形状的玻璃纤维。

    用于制造玻璃纤维的嘴头和玻璃纤维的制造方法

    公开(公告)号:CN115259653A

    公开(公告)日:2022-11-01

    申请号:CN202210718411.9

    申请日:2018-02-23

    Abstract: 本发明涉及用于制造玻璃纤维的嘴头和玻璃纤维的制造方法。用于制造玻璃纤维的嘴头包括:一对长边壁和一对短边壁,该一对长边壁和一对短边壁由铂或铂合金形成;以及嘴孔,其由所述长边壁和短边壁形成,用来排出玻璃熔体。所述嘴孔具有水平截面为扁平状的孔形状,各长边壁在玻璃熔体的排出侧具有缺口,所述缺口的宽度为所述嘴孔的扁平状的孔形状的长边方向中心轴线的长度的10%~55%,所述一对长边壁是以所述嘴孔的所述中心轴线为对称轴对称的形状。利用该嘴头,能够高效地制造具有期望的截面形状的玻璃纤维。

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