公开(公告)号：CN1955845B

公开(公告)日：2012-06-13

申请号：CN200610142439.3

申请日：2006-10-26

Applicant: 住友化学株式会社

Inventor： 原田由香子 ,  吉田勋 ,  山口训史

IPC: G03F7/039

CPC classification number: C07C309/12 ,  C07C2603/74 ,  C07D333/46

Abstract: 本发明提供一种式(I)的盐，其中环X表示含有三环或更多环并且含有10至30个碳原子的多环烃基，并且环X中的一个或多个氢原子任选被含有1至6个碳原子的烷基、含有1至6个碳原子的烷氧基、含有1至4个碳原子的全氟烷基或氰基取代；Q1和Q2各自独立地表示氟原子或者含有1至6个碳原子的全氟烷基；n表示1至12的整数；并且A+表示选自由下列式(IIa)、(IIb)和(IIc)的阳离子组成的组中的阳离子。本发明还提供一种包含所述式(I)的盐的化学放大型抗蚀剂组合物。

公开(公告)号：CN1991585B

公开(公告)日：2011-06-01

申请号：CN200610172455.7

申请日：2006-12-25

Applicant: 住友化学株式会社

Inventor： 山口训史 ,  吉田勋 ,  原田由香子

IPC: G03F7/039 ,  G03F7/004 ,  H01L21/027

CPC classification number: G03F7/0045 ,  C07C25/18 ,  C07C309/17 ,  C07C381/12 ,  C07C2603/18 ,  G03F7/0397 ,  Y10S430/122

Abstract: 本发明提供式(I)的盐，其中X表示亚烷基或取代的亚烷基；Q1和Q2各自独立地表示氟原子或者含有1至6个碳原子的全氟烷基；A+表示有机抗衡离子；并且n表示0或1。本发明还提供一种化学放大型抗蚀剂组合物，其包含所述式(I)的盐和树脂，所述树脂包含具有酸-不稳定基团的结构单元，并且所述树脂本身不溶于或难溶于碱性水溶液，但是通过酸的作用变得可溶于碱性水溶液。

公开(公告)号：CN101334588A

公开(公告)日：2008-12-31

申请号：CN200810128882.4

申请日：2008-06-24

Applicant: 住友化学株式会社

Inventor： 秋田诚 ,  吉田勋 ,  原田由香子

IPC: G03F7/039 ,  G03F7/029 ,  G03F7/004

CPC classification number: G03F7/0045 ,  G03F7/0392 ,  G03F7/0397 ,  Y10S430/106 ,  Y10S430/111 ,  Y10S430/122 ,  Y10S430/123

Abstract: 一种化学放大型正性抗蚀剂组合物，其包含(A)由式(I)表示的盐：A+－O3S－R (I)，其中R表示9，10－蒽醌基，所述9，10－蒽醌基可以被选自下列基团中的至少一个基团取代：C1－C4烷基，C1－C4烷氧基和羟基，并且所述的C1－C4烷基和所述的C1－C4烷氧基可以是取代的，并且A+表示有机抗衡阳离子，和(B)树脂，所述树脂包含具有酸－不稳定基团的结构单元，并且所述树脂本身不溶于或难溶于碱性水溶液，但是通过酸的作用变得可溶于碱性水溶液。

公开(公告)号：CN101125824A

公开(公告)日：2008-02-20

申请号：CN200710140077.9

申请日：2007-08-14

Applicant: 住友化学株式会社

Inventor： 坂本宏 ,  原田由香子

IPC: C07C309/02 ,  C07C381/12 ,  G03F7/039

CPC classification number: G03F7/0045 ,  C07C309/17 ,  C07C381/12 ,  C07D307/93 ,  G03F7/0046 ,  G03F7/0392 ,  Y10S430/122

Abstract: 本发明提供一种式(I)表示的锍化合物，其中Q1和Q2各自独立地表示氟原子或C1－C6全氟烷基，并且A+表示有机抗衡离子。

公开(公告)号：CN101086620A

公开(公告)日：2007-12-12

申请号：CN200710108240.3

申请日：2007-06-04

Applicant: 住友化学株式会社

Inventor： 原田由香子 ,  吉田勋 ,  山口训史

IPC: G03F7/039 ,  H01L21/027

CPC classification number: C07C309/17 ,  C07C381/12 ,  C07C2601/14 ,  C07C2603/74 ,  C07D333/46 ,  G03F7/0045 ,  G03F7/0046 ,  G03F7/0397 ,  Y10S430/106 ,  Y10S430/108 ,  Y10S430/111 ,  Y10S430/122 ,  Y10S430/123

Abstract: 本发明提供一种式(I)表示的盐，其中，X表示n－价连接基团，Y1和Y2各自独立地表示氟原子或C1－C6全氟烷基，n表示2或3，并且A+表示有机抗衡离子。本发明进一步提供一种含有上述式(I)表示的盐的化学放大型抗蚀剂组合物。

公开(公告)号：CN1991585A

公开(公告)日：2007-07-04

申请号：CN200610172455.7

申请日：2006-12-25

Applicant: 住友化学株式会社

Inventor： 山口训史 ,  吉田勋 ,  原田由香子

IPC: G03F7/039 ,  G03F7/004 ,  H01L21/027

CPC classification number: G03F7/0045 ,  C07C25/18 ,  C07C309/17 ,  C07C381/12 ,  C07C2603/18 ,  G03F7/0397 ,  Y10S430/122

Abstract: 本发明提供式(I)的盐，其中X表示亚烷基或取代的亚烷基；Q1和Q2各自独立地表示氟原子或者含有1至6个碳原子的全氟烷基；A+表示有机抗衡离子；并且n表示0或1。本发明还提供一种化学放大型抗蚀剂组合物，其包含所述式(I)的盐和树脂，所述树脂包含具有酸－不稳定基团的结构单元，并且所述树脂本身不溶于或难溶于碱性水溶液，但是通过酸的作用变得可溶于碱性水溶液。

公开(公告)号：CN1821875A

公开(公告)日：2006-08-23

申请号：CN200610067361.3

申请日：2006-02-15

Applicant: 住友化学株式会社

Inventor： 原田由香子 ,  武元一树 ,  户石好治

IPC: G03F7/004

CPC classification number: C07C309/17 ,  C07C381/12 ,  C07C2603/74

Abstract: 本发明提供了一种式(I)的盐，其中X代表－OH或－Y－OH，n表示1到9的整数，A+代表有机抗衡离子，Y代表具有1到6个碳原子的二价饱和脂肪烃基。本发明还提供了一种含有式(I)盐的化学放大型抗蚀剂组合物。