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公开(公告)号：CN102924341A
公开(公告)日：2013-02-13
申请号：CN201210274523.6
申请日：2012-08-03
Applicant: 住友化学株式会社
IPC: C07C309/17 , C07C303/32 , C07C381/12 , C07D327/08 , C07D327/06 , C07D333/46 , C07D307/33 , C07D307/00 , C07C25/18 , C07C17/35 , G03F7/004 , G03F7/00
CPC classification number: C07C309/17 , C07C381/12 , C07C2603/74
Abstract: 本发明提供盐、光致抗蚀剂组合物和用于生产光致抗蚀剂图案的方法。所述盐由式(I)表示，其中：Q1和Q2各自独立表示氟原子或C1-C6全氟烷基；L1表示C1-C20三价脂肪族饱和烃基，其中与脂肪族饱和烃链部分的亚甲基结合的氢原子可以被氟原子或羟基代替并且其中亚甲基可以被氧原子、-NR2-或羰基代替，其中R2表示氢原子或C1-C6烷基，L1-OH的羟基位于L1的脂肪族饱和烃链部分；W表示C3-C36脂环烃基，其中亚甲基可以被氧原子、硫原子、羰基或磺酰基代替，并且其中氢原子可以被羟基、C1-C12烷基、C1-C12烷氧基、C3-C18脂环烃基或C6-C14芳香族烃基代替；和Z+表示有机阳离子。
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公开(公告)号：CN102786419A
公开(公告)日：2012-11-21
申请号：CN201210152086.0
申请日：2012-05-16
Applicant: 住友化学株式会社
IPC: C07C69/757 , C07C69/54 , C07C69/76 , C08F222/14 , C08F220/18 , C08F220/28 , C08F222/20 , C08F122/18 , G03F7/004 , G03F7/00
CPC classification number: C08F122/20 , C07C69/757 , C07C2603/74 , G03F7/0045 , G03F7/0046 , G03F7/0397 , G03F7/2041
Abstract: 本发明提供化合物、树脂、光致抗蚀剂组合物和用于制备光致抗蚀剂图案的方法。所述化合物是由式(I)表示的化合物，其中，T1表示单键或C6-C14芳族烃基；L1表示C1-C17二价饱和烃基，其中亚甲基可以被氧原子或羰基代替；L2和L3各自独立地表示单键或C1-C6二价饱和烃基，其中亚甲基可以被氧原子或羰基代替；环W1和环W2各自独立地表示C3-C36烃环；R1和R2各自独立地表示氢原子、羟基或C1-C6烷基；R3和R4各自独立地表示羟基或C1-C6烷基；R5表示羟基或甲基；m表示0或1；并且t和u各自独立地表示0至2的整数。
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公开(公告)号：CN101003591A
公开(公告)日：2007-07-25
申请号：CN200610168220.0
申请日：2006-12-26
Applicant: 住友化学株式会社
CPC classification number: C08F220/38 , C08F220/18 , C08F220/28 , C08J3/075
Abstract: 本发明提供一种树脂，该树脂通过照射产生酸并且是有机阳离子和阴离子聚合物的盐，其中阴离子聚合物没有碳－碳不饱和键。本发明还提供包含该树脂的化学放大光刻胶组合物。
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公开(公告)号：CN1955844A
公开(公告)日：2007-05-02
申请号：CN200610121843.2
申请日：2006-08-25
Applicant: 住友化学株式会社
IPC: G03F7/039
CPC classification number: C07C309/17 , C07C381/12 , C07C2601/14
Abstract: 本发明提供一种式(I)的盐，式中X表示含有1至30个碳原子的无环烃的二价或三价残基，或者含有单环或双环的含有3至30个碳原子的烃的二价或三价残基，其中所述烃中的－CH2－可以被－O－取代，并且X中的一个或多个氢原子任选被含有1至6个碳原子的烷氧基、含有1至4个碳原子的全氟烷基、含有1至6个碳原子的羟烷基、羟基或氰基取代；Q1和Q2各自独立地表示氟原子或者含有1至6个碳原子的全氟烷基；A+表示有机抗衡离子；Y表示羟基、氰基或甲氧基；并且n表示1或2。本发明还提供一种包含式(I)的盐的化学放大型抗蚀剂组合物。
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公开(公告)号：CN1971421B
公开(公告)日：2012-05-30
申请号：CN200610149463.X
申请日：2006-11-17
Applicant: 住友化学株式会社
IPC: G03F7/039
CPC classification number: G03F7/0045 , C07C309/17 , C07C381/12 , C07C2601/08 , C07C2601/14 , C07C2603/74 , G03F7/0397
Abstract: 本发明提供式(I)的盐，其中环X表示含有3至30个碳原子的单环或多环烃基，并且单环或多环烃基中的一个或多个氢原子任选被含有1至10个碳原子的烷基、含有1至10个碳原子的烷氧基、含有1至4个碳原子的全氟烷基、含有1至10个碳原子的羟基烷基或氰基取代；Q1和Q2各自独立地表示氟原子或者含有1至6个碳原子的全氟烷基；A+表示有机抗衡离子。本发明还提供包含所述式(I)的盐的化学放大型抗蚀剂组合物。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101967116A
公开(公告)日：2011-02-09
申请号：CN201010239691.2
申请日：2010-07-27
Applicant: 住友化学株式会社
IPC: C07C381/12 , C07C309/17 , C07C303/32 , C07D333/46 , G03F7/039
CPC classification number: C07C381/12 , C07C309/17 , C07C2601/14 , C07C2603/74 , C07D307/77 , C07D333/46 , G03F7/0045 , G03F7/0046 , G03F7/0392 , G03F7/0397
Abstract: 本发明提供分辨率和光罩错误增强因子优异的化学增幅型抗蚀剂组合物。当在抗蚀剂组合物中使用式(A1)所示盐作为酸产生剂时，可以达成上述目的。[式(A1)中，Z+表示有机阳离子；Q1和Q2各自独立地表示氟原子或全氟烷基；Ra1表示2价的环式脂肪族烃基等；Ra2为式(II-1)或式(II-2)所示的离去基团；式(II-1)和式(II-2)中，Ra3和Ra4表示氢原子或脂肪族烃基；Ra5表示脂肪族烃基；Ra6表示2价的脂肪族烃基；Ra7表示脂肪族烃基。]
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公开(公告)号：CN101891612A
公开(公告)日：2010-11-24
申请号：CN201010127644.9
申请日：2010-03-09
Applicant: 住友化学株式会社
IPC: C07C69/54 , C07C69/767 , C07C69/78 , C07C69/653 , C07C67/14 , C08F220/30 , G03F7/039
CPC classification number: C07C69/00 , C07C69/78 , C07C2603/24 , C08F12/24 , C08F212/14 , C08F220/30 , G03F7/0045 , G03F7/0397 , C08F220/18 , C08F2220/185 , C08F2220/303
Abstract: 本发明公开化合物和化学放大型正性抗蚀剂组合物。本发明提供由式(I)表示的化合物；包含衍生自由式(I)表示的化合物的结构单元的聚合物；和，包含所述聚合物、至少一种酸生成剂和至少一种溶剂的化学放大型正性抗蚀剂组合物，在式(I)中，R1表示氢原子等，R2和R3各自独立地表示氢原子等，R4表示C1-C8二价烃基，R5表示单键等，并且R6表示未取代或取代的C6-C20芳族烃基。
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公开(公告)号：CN101121679A
公开(公告)日：2008-02-13
申请号：CN200710138246.5
申请日：2007-07-31
Applicant: 住友化学株式会社
IPC: C07C321/12 , C07C323/10 , C07C309/17 , G03F7/039
CPC classification number: C07C381/12 , C07C309/17 , C07C2603/74 , C07D307/77 , G03F7/0045 , G03F7/0046 , G03F7/0395 , G03F7/0397 , Y10S430/122 , Y10S430/123
Abstract: 本发明提供一种式(I)表示的盐，其中，P1、P2、P3、Q1、Q2和R具有与权利要求书和说明书中定义的相同含义，并且还提供一种含有上述式(I)所示的盐的化学放大型抗蚀剂组合物。
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公开(公告)号：CN1971421A
公开(公告)日：2007-05-30
申请号：CN200610149463.X
申请日：2006-11-17
Applicant: 住友化学株式会社
IPC: G03F7/039
CPC classification number: G03F7/0045 , C07C309/17 , C07C381/12 , C07C2601/08 , C07C2601/14 , C07C2603/74 , G03F7/0397
Abstract: 本发明提供式(I)的盐，其中环X表示含有3至30个碳原子的单环或多环烃基，并且单环或多环烃基中的一个或多个氢原子任选被含有1至10个碳原子的烷基、含有1至10个碳原子的烷氧基、含有1至4个碳原子的全氟烷基、含有1至10个碳原子的羟基烷基或氰基取代；Q1和Q2各自独立地表示氟原子或者含有1至6个碳原子的全氟烷基；A+表示有机抗衡离子。本发明还提供包含所述式(I)的盐的化学放大型抗蚀剂组合物。
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公开(公告)号：CN1955846A
公开(公告)日：2007-05-02
申请号：CN200610142477.9
申请日：2006-10-26
Applicant: 住友化学株式会社
IPC: G03F7/039
CPC classification number: C07C381/12 , C07C25/18 , C07C309/17 , C07C2601/14 , C07C2602/42 , C07D333/46 , G03F7/0045 , G03F7/0046 , G03F7/0395 , G03F7/0397
Abstract: 本发明提供式(I)的盐，其中环X表示含有3至30个碳原子的单环或双环烃基，并且环X中的一个或多个氢原子任选被含有1至6个碳原子的烷基、含有2至6个碳原子的烯基、含有2至6个碳原子的烷氧基或含有1至4个碳原子的全氟烷基取代；Q1和Q2各自独立地表示氟原子或者含有1至6个碳原子的全氟烷基；A+表示有机抗衡离子；并且n表示1至12的整数。本发明还提供包含所述式(I)的盐的化学放大型抗蚀剂组合 物。
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